法人番号:1010801001748
株式会社荏原製作所
情報更新日:2024年08月31日
株式会社荏原製作所とは
株式会社荏原製作所（エバラセイサクショ）は、法人番号:1010801001748で東京都大田区羽田旭町11番1号に所在する法人として東京法務局城南出張所で法人登録され、2015年10月05日に法人番号が指定されました。代表者は、代表執行役浅見正男。設立日は1920年05月20日。資本金は804億8,900万円。従業員数は4,105人。登録情報として、調達情報が33件、表彰情報が6件、届出情報が11件、特許情報が1,293件、商標情報が55件、意匠情報が185件、職場情報が1件が登録されています。法人番号公表サイトでの最終更新日は2021年07月26日です。
インボイス番号:T1010801001748については、2023年10月01日に適格請求書発行事業者として登録されています。
この地域の労働局は東京労働局。大田労働基準監督署が所轄の労働基準監督署です。
名称の「株式会社」について(β版)
株式会社は、法人格を持つ組織形態の一つであり、株主が出資することによって設立されます。株式会社は、株主の出資額に応じた株式を発行し、経営を行います。株主は株式を所有することで、会社の経営に参加する権利を持ちます。また、株式会社は独立した法的存在であり、株主の責任は出資額に限定されます。株式会社は、経営の安定性や資金調達の容易さなどの利点を持ち、多くの企業がこの形態を選択しています。
株式会社荏原製作所の基本情報
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 商号又は名称 | 株式会社荏原製作所 |
| 商号又は名称（読み仮名）フリガナ | エバラセイサクショ |
| 法人番号 | 1010801001748 |
| 会社法人等番号 | 0108-01-001748 |
| 登記所 | 東京法務局城南出張所 ※法人設立時に登記が提出された登記所を表示しています。 |
| インボイス登録番号 ※2024年08月31日更新 インボイス番号 |
T1010801001748 ※2023年10月01日に適格請求書発行事業者として登録されました。 (2024年08月31日現在) |
| 法人種別 | 株式会社 |
| 郵便番号 | 〒144-0042 ※地方自治体コードは 13111 |
| 国内所在地（都道府県）都道府県 | 東京都 ※東京都の法人数は 1,320,419件 |
| 国内所在地（市区町村）市区町村 | 大田区 ※大田区の法人数は 43,206件 |
| 国内所在地（丁目番地等）丁目番地 | 羽田旭町11番1号 |
| 国内所在地（1行表示）1行表示 | 東京都大田区羽田旭町11番1号 |
| 国内所在地（読み仮名）読み仮名 | トウキョウトオオタクハネダアサヒチョウ |
| 英語表記 | EBARA CORPORATION |
| 国内所在地（英語表示）英語表示 | 11-1, Haneda Asahi-cho, Ota-ku, Tokyo |
| 代表者 | 代表執行役 浅見 正男 |
| 設立日 | 1920年05月20日 |
| 資本金 | 804億8,900万円 (2024年06月28日現在) |
| 従業員数 | 4,105人 (2024年09月16日現在) |
| 電話番号TEL | 03-3743-6111 |
| FAX番号FAX | 03-5736-3100 |
| ホームページHP | http://www.ebara.co.jp/ |
| 更新年月日更新日 | 2021年07月26日 |
| 変更年月日変更日 | 2015年10月05日 |
| 法人番号指定年月日指定日 | 2015年10月05日 ※2015年10月05日以前に設立された法人は、全て2015年10月05日で表示されます。 |
| 管轄の労働局労働局 | 東京労働局 〒102-8305～〒102-8307 東京都千代田区九段南1丁目2番1号 九段第3合同庁舎12階～14階 |
| 管轄の労働基準監督署労働基準監督署 | 大田労働基準監督署 〒144-8606 東京都大田区蒲田5-40-3TT蒲田駅前ビル8・9階 |
株式会社荏原製作所の場所
株式会社荏原製作所の補足情報
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 企業名 読み仮名 | カブシキガイシャ エバラセイサクショ |
| 企業名 英語 | EBARA CORPORATION |
| 上場・非上場 | 上場 |
| 資本金 | 794億5,100万円 |
| 業種 | 機械 |
| 証券コード | 63610 |
株式会社荏原製作所の登録履歴
| 日付 | 内容 |
|---|---|
| 2015年10月05日 | 【新規登録】 名称が「株式会社荏原製作所」で、「東京都大田区羽田旭町11番1号」に新規登録されました。 |
株式会社荏原製作所と同じ名称の法人
| 件数 | リンク |
|---|---|
| 2件 | ※「株式会社荏原製作所」と同じ名称の法人を探す |
株式会社荏原製作所の関連情報
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 情報名 | 株式会社荏原製作所 東京支社 |
| 情報名 読み | エバラセイサクショトウキョウシシャ |
| 住所 | 東京都大田区羽田旭町11-1 |
| 電話番号 | 03-6275-6500 |
株式会社荏原製作所の関連情報
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 情報名 | 株式会社荏原製作所 本社 |
| 情報名 読み | エバラセイサクショホンシャ |
| 住所 | 東京都大田区羽田旭町11-1 |
| 電話番号 | 03-3743-6111 |
株式会社荏原製作所の法人活動情報
株式会社荏原製作所の調達情報(33件)
| 期間 公表組織 |
活動名称 / 活動対象 / 金額 |
|---|---|
2023年08月30日 | 尾張西部国営施設機能保全事業 日光川河口排水機場補機・電気設備更新工事愛知県海部郡飛島村梅之郷地内令和5年8月30日～令和7年6月30日機械器具設置工事 1,026,080,000円 |
2023年08月21日 | 揖屋施設応急対策事業揖屋排水機場ポンプ設備整備(その3)工事(島根県松江市東出雲町錦浜地内)R5.9.21～R6.3.28機械器具設置工事 56,100,000円 |
2023年08月10日 | 油ポンプの点検整備 3,850,000円 |
2023年07月11日 | NEDO先導研究プログラムエネルギー・環境新技術先導研究プログラムガス循環によるメタンからの水素製造と二酸化炭素資源化 7,227,000円 |
2023年03月01日 | 宍道湖西岸農地整備事業論田川排水機場ポンプ設備製作据付工事(島根県出雲市平田町地内)R5.3.2～R7.11.10機械器具設置工事 1,258,345,000円 |
2022年12月20日 | 国営施設応急対策事業角田地区江尻排水機場ポンプ設備補修工事宮城県角田市江尻字巻向地内令和4年12月21日～令和8年3月10日機械器具設置工事 1,227,600,000円 |
2022年11月08日 | 土地改良施設突発事故復旧事業旧迫川地区米山揚水機場電動機復旧工事宮城県遠田郡涌谷町小里字岸ケ森地内令和4年11月9日～令和5年3月28日機械器具設置工事 92,180,000円 |
2021年09月10日 | 湖東平野農業水利事業宇曽川幹線水路揚水施設改修工事滋賀県犬上郡豊郷町地内令和3年9月11日～令和5年3月4日機械器具設置工事 194,040,000円 |
2021年06月30日 | 尾張西部国営施設機能保全事業 日光川河口排水機場5号ポンプ設備整備工事愛知県海部郡飛島村梅之郷地内令和3年6月30日～令和5年10月31日機械器具設置工事 654,500,000円 |
2021年06月28日 | 揖屋施設応急対策事業 揖屋排水機場ポンプ設備整備(その1)工事(島根県松江市東出雲町錦浜地内)R3.6.29～R4.3.25機械器具設備工事 324,687,000円 |
2021年06月24日 | 令和3年度災害応急用ポンプ整備(高揚程水中ポンプ)製造 4,246,000円 |
2021年06月22日 | 水素利用等先導研究開発事業エネルギーキャリアシステム調査・研究水素キャリアシステムの高性能化と課題解決のための基盤流体技術の構築 7,361,200円 |
2020年11月11日 | 三島町揚水機場ポンプ設備他製作据付工事新潟県長岡市上岩井地内令和2年11月12日から令和4年6月10日機械器具設置工事 円 |
2020年11月11日 | 三島町揚水機場ポンプ設備他製作据付工事新潟県長岡市上岩井地内令和2年11月12日から令和4年6月10日機械器具設置工事 244,420,000円 |
2020年10月29日 | 令和2年度水中ポンプ4台購入 円 |
2020年10月29日 | 令和2年度水中ポンプ4台購入 2,893,000円 |
2020年10月15日 | 第1揚水機場ポンプ設備改修工事岩手県一関市弥栄地内令和2年10月16日～令和4年9月30日機械器具設置工事 円 |
2020年10月15日 | 第1揚水機場ポンプ設備改修工事岩手県一関市弥栄地内令和2年10月16日～令和4年9月30日機械器具設置工事 781,000,000円 |
2020年09月07日 | 令和2年度筑後川下流福岡国営施設機能保全事業昭代4号線排水機場ポンプ設備改修工事福岡県柳川市昭南町地内R2.9.7～R3.3.15機械器具設置工事 126,500,000円 |
2020年06月22日 | 白根排水機場ガスタービン復旧工事新潟県新潟市南区下塩俵地内令和2年6月22日から令和3年3月19日機械器具設置工事 229,900,000円 |
2020年05月27日 | 令和元年度東播用水二期農業水利事業大川瀬導水路(北神戸幹線水路)流況安定対策工事その2工事兵庫県三木市吉川町奥谷地内及び神戸市西区淡河町北僧尾地内令和2年5月28日～令和3年3月3日機械器具設置工事 255,200,000円 |
2019年12月04日 | 鎧潟第4排水機場ポンプ設備製作据付工事新潟県新潟市西蒲区矢島地内令和元年12月5日から令和3年3月25日機械器具設置工事 426,580,000円 |
2019年12月03日 | 揚水機場付帯設備更新工事石川県かほく市湖北地内令和元年12月4日から令和2年3月19日機械器具設置工事 35,084,500円 |
2019年11月26日 | 令和元年度災害応急用ポンプ設備他購入 4,290,000円 |
2019年10月10日 | 下車力機場ポンプ設備改修工事青森県つがる市豊富町中牡丹地内令和元年10月11日～令和5年3月24日機械器具設置工事 825,000,000円 |
2019年09月24日 | 芦野揚水機場ポンプ設備改修工事青森県北津軽郡中泊町大字芦野字福泊地内令和元年9月25日～令和3年9月30日機械器具設置工事 533,500,000円 |
2019年09月18日 | NEDO先導研究プログラム新産業創出新技術先導研究プログラムポスト・ムーア時代の次世代配線開発 8,250,000円 |
2019年09月12日 | 出崎機場ポンプ設備改修工事青森県つがる市稲垣町沼館田光地内令和元年9月13日～令和4年3月25日機械器具設置工事 399,300,000円 |
2017年12月27日 | P-3C用機体洗浄装置の修理 8,532,000円 |
2017年11月20日 | 平成29年度災害応急用ポンプ(φ250水中ポンプ)購入2台 2,376,000円 |
2017年11月13日 | 配水施設補修 1,188,000円 |
2016年12月22日 | 油ポンプの点検整備 1,922,400円 |
2016年06月08日 | 西部揚水機場ポンプ設備他工事石川県かほく市湖北地内平成28年6月9日から成29年3月15日施設機械電気通信 152,280,000円 |
株式会社荏原製作所の表彰情報(6件)
| 日付 公表組織 |
活動名称 / 活動対象 |
|---|---|
2024年09月16日 | えるぼし-認定 |
2021年12月22日 | 令和3年度近畿農政局所管農業農村整備事業等優良工事等の受注者の表彰 優良工事 東播用水二期農業水利事業大川瀬導水路(北神戸幹線水路)流況安定対策その2工事 |
2023年01月27日 | 令和4年度東北農政局所管農業農村整備事業等優良工事等の受注者等の表彰 優良工事 津軽北部二期農業水利事業芦野揚水機場ポンプ設備改修工事 |
2017年12月05日 | ポジティブ・アクション |
2017年12月04日 | 女性の活躍推進企業 |
2017年12月04日 | 両立支援のひろば 一般事業主行動計画公表 |
株式会社荏原製作所の届出情報(11件)
| 日付 公表組織 |
活動名称 / 活動対象 |
|---|---|
2023年08月28日 | スチュワードシップ・コードの受入れ表明をした機関投資家のリスト - 企業 |
2023年04月01日 | DX認定制度 - |
2023年03月27日 | 競争参加資格 - 企業(施設課経理係) |
2021年04月01日 | DX認定制度 - |
2021年04月01日 | 競争参加資格 - 企業(施設課経理係) |
2019年04月01日 | 競争参加資格 - 企業(施設課経理係) |
2017年11月29日 | 支店:株式会社荏原製作所 藤沢事業所 PRTR届出データ / PRTR - 一般機械器具製造業(経済産業大臣) |
2017年11月29日 | 支店:株式会社荏原製作所 袖ヶ浦事業所 PRTR届出データ / PRTR - 一般機械器具製造業(経済産業大臣) |
2017年11月29日 | 支店:株式会社荏原製作所 栃木事業所 PRTR届出データ / PRTR - 一般機械器具製造業(経済産業大臣) |
2017年11月29日 | 支店:株式会社荏原製作所 富津事業所 PRTR届出データ / PRTR - 一般機械器具製造業(経済産業大臣) |
- | 代表者:代表執行役 浅見 正男 全省庁統一資格 / - |
株式会社荏原製作所の特許情報(1293件)
| 日付 公表組織 / 種類 |
活動対象 / 分類等 |
|---|---|
2023年09月25日 特許庁 / 特許 | めっき装置およびめっき液排出方法 FI分類-C25D 21/04, FI分類-C25D 17/00 C, FI分類-C25D 17/00 H, FI分類-C25D 17/06 C |
2023年08月23日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-H01L 21/02 D |
2023年04月27日 特許庁 / 特許 | めっき装置及びめっき方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 21/10 301 |
2023年03月17日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-C25D 21/00 G, FI分類-C25D 21/12 C |
2023年03月02日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 7/00 J, FI分類-C25D 17/00 K, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/08 S, FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-C25D 21/12 A, FI分類-C25D 21/12 Z, FI分類-C25D 21/10 301 |
2022年12月28日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ及び基板処理装置 FI分類-C25D 17/06 A, FI分類-C25D 17/08 G, FI分類-C25D 17/08 R |
2022年12月21日 特許庁 / 特許 | ガス生成装置 FI分類-C01B 13/11 G |
2022年12月21日 特許庁 / 特許 | ガス生成装置 FI分類-C01B 13/11 G |
2022年12月20日 特許庁 / 特許 | めっき装置およびめっき装置の動作方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/08 S, FI分類-C25D 21/10 301 |
2022年12月16日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-C25D 21/12 C, FI分類-C25D 21/10 301 |
2022年12月16日 特許庁 / 特許 | めっき装置およびめっき方法 FI分類-C25D 5/18, FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 5/02 B, FI分類-C25D 21/10 301 |
2022年12月09日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/00 K, FI分類-C25D 21/10 301 |
2022年12月07日 特許庁 / 特許 | 搬送装置および基板処理装置 FI分類-H01L 21/68 A |
2022年11月08日 特許庁 / 特許 | 養殖管理装置および養殖管理システム FI分類-A01K 61/85, FI分類-G06Q 50/02, FI分類-A01K 63/00 C |
2022年08月26日 特許庁 / 特許 | 基板状態測定装置、めっき装置、及び基板状態測定方法 FI分類-C25D 7/00 J, FI分類-C25D 21/12 C, FI分類-H01L 21/66 P |
2022年08月26日 特許庁 / 特許 | 基板状態測定装置、めっき装置、及び基板状態測定方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 5/02 H, FI分類-C25D 17/00 K, FI分類-H01L 21/66 P |
2022年08月10日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ、めっき装置及び基板の位置決め方法 FI分類-C25D 17/06 A, FI分類-C25D 17/08 R |
2022年08月09日 特許庁 / 特許 | めっき装置、及び、めっき方法 FI分類-C25D 17/00 K, FI分類-C25D 17/06 H, FI分類-C25D 21/00 D, FI分類-C25D 21/00 G |
2022年08月08日 特許庁 / 特許 | プリウェットモジュール FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/00 L, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 647 Z, FI分類-H01L 21/304 648 K |
2022年08月02日 特許庁 / 特許 | めっき方法、及び、めっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/06 J, FI分類-C25D 21/00 D |
2022年07月01日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ、めっき装置、及びめっき方法 FI分類-C25D 21/08, FI分類-C25D 17/00 L, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/08 R, FI分類-C25D 21/00 A, FI分類-C25D 21/12 C |
2022年06月27日 特許庁 / 特許 | めっき装置、および、めっき方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-C25D 17/10 C, FI分類-C25D 21/12 A |
2022年06月20日 特許庁 / 特許 | アノード室の液管理方法、及びめっき装置 FI分類-C25D 17/00 C, FI分類-C25D 17/00 H, FI分類-C25D 21/00 D |
2022年06月17日 特許庁 / 特許 | リーク判定方法およびめっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 21/20, FI分類-C25D 17/00 K, FI分類-C25D 21/12 C |
2022年06月17日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 21/08, FI分類-C25D 17/00 D, FI分類-C25D 17/06 C |
2022年06月01日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 17/00 H, FI分類-C25D 17/10 C, FI分類-C25D 21/00 E |
2022年05月27日 特許庁 / 特許 | めっき装置用抵抗体、及び、めっき装置 FI分類-C25D 17/10 A |
2022年05月10日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-C25D 21/12 A, FI分類-C25D 21/12 C |
2022年04月22日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 17/08 S, FI分類-C25D 21/12 A, FI分類-C25D 21/12 C |
2022年04月21日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/00 H, FI分類-C25D 17/06 C |
2022年03月31日 特許庁 / 特許 | めっき装置及びめっき方法 FI分類-C25D 21/04, FI分類-C25D 17/00 H, FI分類-C25D 17/00 K |
2022年03月01日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-C25D 21/12 A, FI分類-C25D 21/12 C, FI分類-C25D 21/10 301 |
2022年02月16日 特許庁 / 特許 | めっき装置、及びめっき方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/10 A |
2022年02月07日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-C25D 21/10 301 |
2022年01月31日 特許庁 / 特許 | めっき装置、およびめっき方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/10 A |
2021年12月20日 特許庁 / 特許 | めっき装置のメンテナンス方法 FI分類-C25D 21/02, FI分類-C25D 21/10, FI分類-C25D 17/00 H, FI分類-C25D 21/00 D |
2021年12月06日 特許庁 / 特許 | めっき方法及びめっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 21/04, FI分類-H05K 3/18 N, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 21/10 301 |
2021年12月06日 特許庁 / 特許 | めっき方法及びめっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 21/10 301 |
2021年11月25日 特許庁 / 特許 | めっき装置、およびめっき方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/00 K, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/10 A |
2021年11月09日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/06 F, FI分類-C25D 17/06 H |
2021年11月05日 特許庁 / 特許 | めっき装置、及びめっき装置の製造方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-C25D 17/10 Z, FI分類-C25D 21/00 J |
2021年11月04日 特許庁 / 特許 | めっき装置および基板洗浄方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/00 K |
2021年11月04日 特許庁 / 特許 | めっき装置およびコンタクト洗浄方法 FI分類-C25D 21/08 |
2021年11月04日 特許庁 / 特許 | めっき装置および基板洗浄方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 21/08, FI分類-C25D 17/00 K, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 643 C, FI分類-H01L 21/304 648 A, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2021年10月28日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 21/04, FI分類-C25D 17/00 C, FI分類-C25D 17/00 H, FI分類-C25D 21/12 A |
2021年10月28日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 17/00 B, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 21/00 E |
2021年10月18日 特許庁 / 特許 | めっき処理方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 21/04 |
2021年10月18日 特許庁 / 特許 | めっき方法及びめっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/00 K, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 21/00 J |
2021年10月15日 特許庁 / 特許 | 生成物除去装置、処理システム及び生成物除去方法 FI分類-C23C 16/44 J, FI分類-H01L 21/31 B |
2021年10月14日 特許庁 / 特許 | プリウェット処理方法 FI分類-C25D 5/34, FI分類-C25D 17/06 C |
2021年09月28日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/00 H, FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-C25D 17/10 C |
2021年09月22日 特許庁 / 特許 | プリウェットモジュール、脱気液循環システム、およびプリウェット方法 FI分類-C25D 21/08, FI分類-C25D 17/00 K, FI分類-C25D 17/00 L, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/06 F, FI分類-C25D 21/12 C, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 642 A, FI分類-H01L 21/304 643 C |
2021年09月10日 特許庁 / 特許 | めっき装置及びリンス処理方法 FI分類-C25D 21/08, FI分類-C25D 17/06 F, FI分類-C25D 17/06 H, FI分類-C25D 21/00 B |
2021年06月18日 特許庁 / 特許 | めっき装置及びめっき方法 FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-C25D 17/10 C, FI分類-C25D 21/12 A |
2021年06月18日 特許庁 / 特許 | めっき装置及びめっき方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 7/00 J, FI分類-C25D 17/00 H, FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-C25D 17/10 C, FI分類-C25D 17/12 K |
2021年06月17日 特許庁 / 特許 | めっき装置及びめっき方法 FI分類-C25D 21/04, FI分類-C25D 17/00 H, FI分類-C25D 21/10 301 |
2021年06月17日 特許庁 / 特許 | 抵抗体、及び、めっき装置 FI分類-C25D 17/00 F, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/10 A |
2021年06月11日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 21/04, FI分類-C25D 17/06 Z |
2021年06月04日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 17/08 R, FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-C25D 21/12 C |
2021年06月01日 特許庁 / 特許 | めっき装置およびめっき方法 FI分類-C25D 17/00 H, FI分類-C25D 17/10 B, FI分類-C25D 17/10 C, FI分類-C25D 17/10 Z, FI分類-C25D 19/00 B, FI分類-C25D 21/00 J, FI分類-C25D 21/12 J |
2021年05月31日 特許庁 / 特許 | プリウェットモジュール、およびプリウェット方法 FI分類-C25D 7/12 |
2021年05月14日 特許庁 / 特許 | 洗浄装置および洗浄方法 FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 643 C, FI分類-H01L 21/304 647 Z, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2021年03月17日 特許庁 / 特許 | めっき装置及びめっき装置のコンタクト部材洗浄方法 FI分類-C25D 17/00 K, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 21/00 J |
2021年03月10日 特許庁 / 特許 | めっき装置及び気泡除去方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 21/04, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/06 H, FI分類-C25D 21/12 D, FI分類-C25D 21/10 301 |
2021年03月10日 特許庁 / 特許 | めっき装置及び気泡除去方法 FI分類-C25D 21/04, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/06 G |
2021年03月10日 特許庁 / 特許 | めっき装置、およびめっき方法 FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-C25D 21/10 301 |
2021年03月05日 特許庁 / 特許 | めっきモジュールを調整する方法 FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-C25D 21/00 K, FI分類-C25D 21/12 D, FI分類-C25D 21/10 302 |
2021年03月03日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ、めっき装置、及びめっき装置の製造方法 FI分類-C25D 17/06 C |
2021年02月26日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダの保管方法、めっき装置 FI分類-C25D 17/00 K, FI分類-C25D 17/06 J, FI分類-H01L 21/288 E |
2021年02月25日 特許庁 / 特許 | めっき装置及びめっき装置の気泡除去方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/06 F, FI分類-C25D 21/10 301 |
2021年02月22日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 17/06 Z |
2021年01月20日 特許庁 / 特許 | めっき装置及び基板の膜厚測定方法 FI分類-C25D 21/12, FI分類-G01B 7/06 M, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/08 R, FI分類-C25D 17/08 S |
2021年01月14日 特許庁 / 特許 | AM装置に使用されるDEDノズルおよびDEDノズルに着脱可能なアダプタ FI分類-B23K 26/34, FI分類-B33Y 10/00, FI分類-B33Y 30/00, FI分類-B23K 26/21 Z |
2021年01月08日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ、めっき装置、めっき方法、及び記憶媒体 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 7/00 J, FI分類-C25D 17/08 R, FI分類-C25D 17/08 S, FI分類-C25D 21/00 J, FI分類-C25D 21/12 A, FI分類-C25D 21/12 C |
2021年01月08日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ、めっき装置、めっき方法、及び記憶媒体 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 7/00 J, FI分類-C25D 17/08 R, FI分類-C25D 17/08 S, FI分類-C25D 21/12 C |
2020年12月28日 特許庁 / 特許 | めっき装置、およびめっき装置の動作制御方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 19/00 D |
2020年12月28日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 17/00 H |
2020年12月28日 特許庁 / 特許 | 基板の接液方法、およびめっき装置 FI分類-C25D 5/08, FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/06 F, FI分類-C25D 17/06 H, FI分類-C25D 17/08 A, FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-C25D 21/10 301 |
2020年12月25日 特許庁 / 特許 | めっき装置、めっき装置の制御方法 FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 21/12 D |
2020年12月23日 特許庁 / 特許 | めっき装置、およびめっき処理方法 FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/06 F, FI分類-C25D 17/06 H, FI分類-C25D 21/12 C |
2020年12月22日 特許庁 / 特許 | めっき装置、プリウェット処理方法及び洗浄処理方法 FI分類-C25D 17/06 A |
2020年12月21日 特許庁 / 特許 | 可変速運転スラリーポンプ FI分類-F04D 15/00 A |
2020年12月21日 特許庁 / 特許 | めっき装置及びめっき液の撹拌方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 21/10 301 |
2020年12月16日 特許庁 / 特許 | 洗浄部材用洗浄装置、洗浄部材の洗浄方法及び基板洗浄方法 FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 644 Z, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2020年12月11日 特許庁 / 特許 | ガス発生装置 FI分類-C01B 13/11 A |
2020年12月09日 特許庁 / 特許 | めっき装置、および基板ホルダ操作方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/06 C |
2020年12月08日 特許庁 / 特許 | めっき装置及びめっき処理方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 21/04, FI分類-C25D 17/00 H |
2020年12月03日 特許庁 / 特許 | めっき装置、およびめっき方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/06 C |
2020年12月01日 特許庁 / 特許 | 洗浄薬液供給装置および洗浄薬液供給方法 FI分類-H01L 21/304 647 Z, FI分類-H01L 21/304 648 G, FI分類-H01L 21/304 648 K |
2020年11月24日 特許庁 / 特許 | 研磨方法 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/013, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2020年11月19日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置および基板処理方法 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/12 D, FI分類-B25J 13/00 Z, FI分類-B24B 37/005 Z, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 R, FI分類-H01L 21/304 622 S, FI分類-H01L 21/304 622 Y |
2020年11月16日 特許庁 / 特許 | プレート、めっき装置、及びプレートの製造方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 7/00 J, FI分類-C25D 17/10 A |
2020年10月30日 特許庁 / 特許 | 軸封装置、回転機械、および軸封装置の組み立て方法 FI分類-F04D 29/12, FI分類-F16C 33/76 Z, FI分類-F16J 15/44 C |
2020年10月30日 特許庁 / 特許 | 軸封装置、回転機械、および軸封装置の組み立て方法 FI分類-F04D 29/12, FI分類-F16C 33/76 Z, FI分類-F16J 15/44 C |
2020年10月23日 特許庁 / 特許 | 加工面判定装置、加工面判定プログラム、加工面判定方法、及び、加工システム FI分類-G06N 3/08, FI分類-G01B 11/30 Z, FI分類-G01N 21/88 J, FI分類-G06N 20/00 130, FI分類-G06T 7/00 350 C, FI分類-G06T 7/00 610 C |
2020年10月20日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 17/08 A, FI分類-C25D 17/08 S, FI分類-C25D 17/10 B, FI分類-C25D 17/12 C, FI分類-C25D 21/00 J, FI分類-C25D 21/12 A |
2020年10月02日 特許庁 / 特許 | ポンプシステム FI分類-E03B 3/00 B, FI分類-F04D 13/08 U |
2020年10月01日 特許庁 / 特許 | ポンプ用電動機およびポンプ装置 FI分類-F16C 33/16, FI分類-F16C 17/02 Z, FI分類-F16C 17/04 A, FI分類-F16C 17/04 B, FI分類-F16C 33/20 A, FI分類-H02K 5/167 B, FI分類-F04D 29/046 C, FI分類-F04D 29/046 D |
2020年10月01日 特許庁 / 特許 | めっき装置、気泡除去方法、および気泡除去方法をめっき装置のコンピュータに実行させるためのプログラムを格納した記憶媒体 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 21/04, FI分類-C25D 17/00 C, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 21/12 A |
2020年09月30日 特許庁 / 特許 | 機械学習装置、摺動面診断装置、推論装置、機械学習方法、機械学習プログラム、摺動面診断方法、摺動面診断プログラム、推論方法、及び、推論プログラム FI分類-F16C 17/24, FI分類-F16C 41/00, FI分類-F16N 29/04, FI分類-F16N 29/00 A, FI分類-G01H 17/00 Z, FI分類-G01M 99/00 Z, FI分類-G06N 20/00 130 |
2020年09月29日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、および研磨パッドの交換時期を決定する方法 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/18, FI分類-B24B 53/00 A, FI分類-B24B 53/017 Z, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 F |
2020年09月29日 特許庁 / 特許 | 接点構造、基板ホルダ、めっき装置、及び基板に給電する方法 FI分類-C25D 17/08 G, FI分類-C25D 17/08 R, FI分類-C25D 21/00 A |
2020年09月24日 特許庁 / 特許 | カバー FI分類-H02M 7/48 Z, FI分類-H05K 7/20 H, FI分類-F04D 13/16 D, FI分類-F04D 29/58 D, FI分類-F04D 29/58 F |
2020年09月02日 特許庁 / 特許 | 遠心圧縮機 FI分類-F04D 29/44 L, FI分類-F04D 29/46 B |
2020年08月31日 特許庁 / 特許 | 減肉量を予測するための方法、プログラム、及び装置 FI分類-G01N 17/00, FI分類-G05B 23/02 V, FI分類-G06N 7/00 150 |
2020年08月28日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置 FI分類-F04D 15/00 B, FI分類-F04D 15/00 L |
2020年08月25日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置、基板処理装置、基板洗浄方法及びデバイスを製造する方法 FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 644 Z, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2020年08月14日 特許庁 / 特許 | AM装置 FI分類-B22F 3/16, FI分類-B22F 3/105, FI分類-B33Y 30/00, FI分類-B22F 5/00 Z |
2020年08月03日 特許庁 / 特許 | 基板処理システム、基板処理システムの制御装置及び基板処理システムの運転方法 FI分類-H01L 21/02 Z |
2020年07月29日 特許庁 / 特許 | 流体機械 FI分類-F04D 29/16, FI分類-F16J 15/447, FI分類-F04D 29/08 B |
2020年07月28日 特許庁 / 特許 | 水封式モータ FI分類-H02K 5/10 Z, FI分類-H02K 9/19 Z |
2020年07月15日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置、基板処理装置、基板洗浄方法およびノズル FI分類-B05B 7/04, FI分類-B05B 7/08, FI分類-B08B 3/02 A, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 643 C, FI分類-H01L 21/304 647 Z, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2020年06月29日 特許庁 / 特許 | 研磨方法、研磨装置、およびプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/013, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2020年06月29日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置、基板処理方法、および基板処理方法を基板処理装置のコンピュータに実行させるためのプログラムを格納した記憶媒体 FI分類-B24B 49/08, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 49/16, FI分類-B24B 37/32 Z, FI分類-B24B 37/005 Z, FI分類-H01L 21/304 622 G |
2020年06月26日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置および基板処理方法 FI分類-B24B 1/04 D, FI分類-B24B 55/08 B, FI分類-B24B 9/00 601 G, FI分類-H01L 21/304 621 E |
2020年06月26日 特許庁 / 特許 | 樹脂モールドロータ、キャンドモータ、キャンドモータポンプ、ファンスクラバー、真空ポンプ装置 FI分類-F04D 25/06, FI分類-H02K 5/128, FI分類-H02K 1/28 A, FI分類-B01D 47/06 B, FI分類-F04D 13/06 H, FI分類-F04D 29/70 N, FI分類-H02K 1/27 501 D |
2020年06月11日 特許庁 / 特許 | キャビテーション抑制装置および渦巻ポンプ FI分類-F04D 1/00, FI分類-F04D 29/44 E, FI分類-F04D 29/66 F |
2020年05月28日 特許庁 / 特許 | 研磨方法および研磨装置 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 49/14, FI分類-B24B 37/015, FI分類-B24B 37/005 Z, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2020年05月27日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、処理システム、および研磨方法 FI分類-B24B 41/02, FI分類-B24B 55/06, FI分類-B24B 41/047, FI分類-B24B 37/30 A, FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-B24B 37/005 A, FI分類-H01L 21/304 621 D |
2020年05月26日 特許庁 / 特許 | 金属担持不織布及びその製造方法、触媒、不飽和化合物の水素化方法、並びに炭素-窒素結合の形成方法 FI分類-B01J 37/34, FI分類-D06M 11/49, FI分類-D06M 14/10, FI分類-D06M 14/14, FI分類-B01J 31/28 Z, FI分類-D06M 10/00 J, FI分類-B01J 37/02 101 A, FI分類-B01J 37/02 101 C |
2020年05月26日 特許庁 / 特許 | 金属担持不織布及びその製造方法、触媒、不飽和化合物の水素化方法、並びに炭素-窒素結合の形成方法 FI分類-B01J 37/16, FI分類-B01J 37/34, FI分類-D06M 11/83, FI分類-D06M 14/10, FI分類-B01J 31/06 Z, FI分類-D06M 10/00 J, FI分類-D06M 11/00 130, FI分類-B01J 37/02 101 Z |
2020年05月20日 特許庁 / 特許 | AM装置およびAM方法 FI分類-B33Y 10/00, FI分類-B33Y 30/00, FI分類-B29C 64/141, FI分類-B29C 64/209, FI分類-B29C 64/236, FI分類-B29C 64/268 |
2020年05月15日 特許庁 / 特許 | 放射温度計を較正する方法、およびシステム FI分類-B24B 49/14, FI分類-B24B 37/015, FI分類-G01J 5/00 E, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2020年05月12日 特許庁 / 特許 | プレート、めっき装置、及びプレートの製造方法 FI分類-C25D 17/00 Z, FI分類-C25D 17/10 A |
2020年05月11日 特許庁 / 特許 | 温度監視システム、回転機システム、携帯端末、温度監視方法 FI分類-F04B 51/00, FI分類-F04D 15/00 L, FI分類-F04B 49/10 311 |
2020年05月08日 特許庁 / 特許 | パッド温度調整装置、パッド温度調整方法、および研磨装置 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/14, FI分類-B24B 37/015, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2020年05月08日 特許庁 / 特許 | 表示システム、表示装置及び表示方法 FI分類-F04B 51/00, FI分類-F04D 15/00 Z, FI分類-F04B 49/10 311, FI分類-G09G 5/00 510 C, FI分類-G09G 5/36 510 A, FI分類-G05B 23/02 301 Q, FI分類-G05B 23/02 301 X |
2020年04月30日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置の管理装置、ポンプ装置、表示方法、及び管理方法 FI分類-F04B 49/06 311, FI分類-F04B 49/10 311, FI分類-H04M 11/00 301 |
2020年04月28日 特許庁 / 特許 | 配管用加熱装置 FI分類-F16L 53/35, FI分類-F16L 59/02 |
2020年04月28日 特許庁 / 特許 | モータポンプ FI分類-F04D 13/02 D, FI分類-F04D 29/62 A |
2020年04月28日 特許庁 / 特許 | 熱交換器に使用されるシートの積層構造体、およびシートの積層構造体の製造方法 FI分類-B32B 3/28 Z, FI分類-F28F 25/08 A |
2020年04月27日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置 FI分類-F04D 15/02, FI分類-F04D 15/00 D, FI分類-F04D 15/00 J |
2020年04月27日 特許庁 / 特許 | センサ認証登録システム FI分類-G05B 23/02 Z, FI分類-G08C 17/00 Z, FI分類-G08C 25/00 F |
2020年04月27日 特許庁 / 特許 | データ収集システム及びデータ収集方法 FI分類-H04Q 9/02, FI分類-H04M 1/00 U |
2020年04月22日 特許庁 / 特許 | 羽根車、水力機械 FI分類-F04D 29/36 H, FI分類-F04D 29/70 G |
2020年03月30日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置 FI分類-F04D 13/06 C, FI分類-F04D 29/046 A, FI分類-F04D 29/047 A |
2020年03月30日 特許庁 / 特許 | ケーシング組立体およびポンプ装置 FI分類-F04D 1/08 A, FI分類-F04D 29/42 C, FI分類-F04D 29/42 F |
2020年03月30日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置、給水装置、およびポンプ装置のメンテナンス方法 FI分類-F04D 29/42 A, FI分類-F04D 29/42 E, FI分類-F04D 29/42 G |
2020年03月26日 特許庁 / 特許 | 研磨ヘッドシステムおよび研磨装置 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 37/00 K, FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-B24B 37/32 A, FI分類-B24B 37/005 A, FI分類-H01L 21/304 622 K, FI分類-H01L 21/304 622 L, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2020年03月24日 特許庁 / 特許 | ワークピースの化学機械研磨システム、演算システム、および化学機械研磨のシミュレーションモデルを作成する方法 FI分類-B24B 37/005 Z, FI分類-B24B 53/017 Z, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2020年03月19日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、情報処理システム及びプログラム FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 49/14, FI分類-B24B 49/16, FI分類-B24B 37/005 Z, FI分類-H01L 21/304 621 B, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2020年03月19日 特許庁 / 特許 | 処理システム、処理部交換装置、処理部判定装置、及び処理システムを用いてグラインダの処理部を交換する方法 FI分類-B23Q 3/155 F, FI分類-B23Q 3/155 K, FI分類-B24B 27/00 A, FI分類-B24B 45/00 A, FI分類-B25J 15/04 A |
2020年03月09日 特許庁 / 特許 | 研磨方法、研磨装置、およびプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 49/16, FI分類-B24B 37/013, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-B24B 37/005 A, FI分類-H01L 21/304 622 K, FI分類-H01L 21/304 622 R, FI分類-H01L 21/304 622 S, FI分類-H01L 21/304 622 X |
2020年03月04日 特許庁 / 特許 | 研磨ヘッドシステムおよび研磨装置 FI分類-B24B 37/30 C, FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-H01L 21/304 622 K |
2020年03月04日 特許庁 / 特許 | 粘弾性可変装置 FI分類-H01F 7/02 Z, FI分類-F16F 15/03 D |
2020年03月04日 特許庁 / 特許 | めっき装置および抵抗体 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-C25D 21/10 301 |
2020年02月27日 特許庁 / 特許 | 水位検知システム及び排ガス処理装置 FI分類-B01D 53/46, FI分類-B01D 53/78, FI分類-B01D 53/18 150, FI分類-G01F 23/62 ZABJ |
2020年02月25日 特許庁 / 特許 | 洗浄方法及び洗浄装置 FI分類-C25D 21/08, FI分類-B08B 3/02 B, FI分類-B08B 3/08 Z, FI分類-B08B 3/10 Z, FI分類-C25D 17/00 L, FI分類-C25D 17/06 J, FI分類-C25D 21/00 Z, FI分類-H01L 21/304 642 Z, FI分類-H01L 21/304 643 Z, FI分類-H01L 21/304 647 A |
2020年02月25日 特許庁 / 特許 | 回転機械の防振システム、ポンプ設備 FI分類-F04D 29/60 D, FI分類-F04D 29/66 D, FI分類-F16F 15/02 D, FI分類-F16F 15/04 A, FI分類-F16F 15/04 E |
2020年02月21日 特許庁 / 特許 | ポンプ、ポンプ機場及びポンプ点検方法 FI分類-F04D 29/60 D, FI分類-F04D 29/60 E, FI分類-F04D 29/043 Z |
2020年02月21日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置の状態を表示する表示方法、ポンプ装置、ポンプシステム、コンピュータプログラム、および表示器 FI分類-F04D 15/00 Z, FI分類-F04B 49/06 311, FI分類-F04B 49/10 311 |
2020年02月20日 特許庁 / 特許 | パドル、該パドルを備えた処理装置、および該パドルの製造方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-B33Y 10/00, FI分類-B33Y 50/00, FI分類-B29C 64/386, FI分類-C25D 21/10 301 |
2020年02月20日 特許庁 / 特許 | 電動機組立体 FI分類-H02K 5/18, FI分類-H02K 5/20, FI分類-H02K 5/22, FI分類-H02K 11/33, FI分類-H02K 11/35, FI分類-H02K 9/02 B, FI分類-H02K 9/06 D, FI分類-H02M 7/48 Z |
2020年02月20日 特許庁 / 特許 | メンテナンス部材、基板保持モジュール、めっき装置、および、メンテナンス方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/00 Z, FI分類-C25D 21/00 E, FI分類-C25D 21/12 C, FI分類-H01L 21/68 N |
2020年02月20日 特許庁 / 特許 | 基板保持装置 FI分類-B25J 15/06 A, FI分類-B25J 15/06 Z, FI分類-C25D 17/06 H, FI分類-C25D 17/06 J, FI分類-H01L 21/68 C |
2020年02月19日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-F04D 13/14, FI分類-F04D 13/06 E, FI分類-F04D 29/58 F |
2020年02月12日 特許庁 / 特許 | エッジコンピュータ FI分類-F04D 15/00 D, FI分類-F04D 15/00 Z, FI分類-G05B 23/02 T, FI分類-F04B 49/06 311, FI分類-F04B 49/10 311, FI分類-F04B 49/06 321 B |
2020年02月10日 特許庁 / 特許 | 基板乾燥装置 FI分類-C25D 21/00 B, FI分類-F26B 15/12 E, FI分類-H01L 21/304 651 G, FI分類-H01L 21/304 651 L |
2020年02月10日 特許庁 / 特許 | めっき方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-G01R 31/50, FI分類-H05K 3/18 N, FI分類-C25D 21/00 A, FI分類-C25D 21/12 C, FI分類-H01L 21/92 604 B |
2020年02月07日 特許庁 / 特許 | 単相誘導電動機 FI分類-H02P 1/44 |
2020年02月06日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置および基板処理方法 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-B24B 49/02 Z, FI分類-H01L 21/68 G, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-B24B 37/005 Z, FI分類-H01L 21/304 622 N |
2020年02月06日 特許庁 / 特許 | ガス溶解液製造装置 FI分類-B01F 1/00 A |
2020年02月05日 特許庁 / 特許 | 研磨ヘッドおよび研磨装置 FI分類-B24B 41/047, FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-H01L 21/304 621 B, FI分類-H01L 21/304 621 E |
2020年02月05日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置および基板処理方法 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 37/013, FI分類-B24B 37/005 A, FI分類-H01L 21/304 621 D |
2020年02月03日 特許庁 / 特許 | 乾燥装置、基板処理装置及び基板ホルダの乾燥方法 FI分類-F26B 21/00 A, FI分類-F26B 25/00 A |
2020年01月31日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置および基板処理方法 FI分類-B24B 37/34, FI分類-B24B 49/08, FI分類-H01L 21/304 621 D |
2020年01月27日 特許庁 / 特許 | 遠心ポンプ FI分類-F04D 29/22 A, FI分類-F04D 29/22 F, FI分類-F04D 29/42 D, FI分類-F04D 29/44 C, FI分類-F04D 29/44 E, FI分類-F04D 29/66 B |
2020年01月17日 特許庁 / 特許 | めっき支援システム、めっき支援装置、めっき支援プログラムおよびめっき実施条件決定方法 FI分類-G06N 5/04, FI分類-G06N 20/00, FI分類-C25D 21/12 C, FI分類-C25D 21/12 D, FI分類-G06F 17/18 Z, FI分類-G05B 19/418 Z |
2020年01月06日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置、および基板処理方法 FI分類-C25D 17/00 K, FI分類-C25D 17/06 B, FI分類-C25D 17/06 D, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/68 F |
2019年12月27日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-F04B 53/20 A, FI分類-F04D 15/00 A, FI分類-F04D 15/00 L, FI分類-F04D 29/70 D, FI分類-F04B 49/10 311 |
2019年12月26日 特許庁 / 特許 | 洗浄装置、研磨装置 FI分類-B08B 1/04, FI分類-B24B 55/06, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 B, FI分類-H01L 21/304 644 C |
2019年12月26日 特許庁 / 特許 | 洗浄装置、研磨装置 FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 643 C, FI分類-H01L 21/304 644 B, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2019年12月26日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置、ポンプ機場 FI分類-F04D 7/06 D, FI分類-F04D 13/08 Z, FI分類-F04D 27/00 K, FI分類-F04B 49/06 331 Z |
2019年12月25日 特許庁 / 特許 | 給水装置および給水装置のメンテナンス方法 FI分類-F04D 29/62 A, FI分類-F04D 29/66 A |
2019年12月25日 特許庁 / 特許 | 洗浄装置、研磨装置、洗浄装置において基板の回転速度を算出する装置および方法 FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2019年12月25日 特許庁 / 特許 | アンチモン吸着材並びにアンチモン含有液の処理装置及び処理方法 FI分類-C02F 1/28 F, FI分類-B01J 20/06 A, FI分類-G21F 9/12 501 D, FI分類-G21F 9/12 501 J, FI分類-G21F 9/12 501 K |
2019年12月24日 特許庁 / 特許 | 材料の残存寿命を推定する方法および装置 FI分類-G01N 17/00, FI分類-G01N 23/203, FI分類-G01M 99/00 Z, FI分類-G01N 23/2055 310, FI分類-G01N 33/2045 100 |
2019年12月24日 特許庁 / 特許 | 研磨ユニット、基板処理装置、および研磨方法 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 55/00, FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-H01L 21/304 621 D |
2019年12月23日 特許庁 / 特許 | インバータ一体型モータ FI分類-H02P 27/06, FI分類-H02M 7/48 Z |
2019年12月20日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置および基板処理方法 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 49/12, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2019年12月18日 特許庁 / 特許 | パッド温度調整装置、パッド温度調整方法、研磨装置、および研磨システム FI分類-G06N 3/04, FI分類-G06N 3/08, FI分類-B24B 37/34, FI分類-B24B 49/14, FI分類-B24B 37/015, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2019年12月18日 特許庁 / 特許 | プッシャ、基板搬送装置、および基板処理装置 FI分類-B24B 37/30, FI分類-B24B 37/30 A, FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/304 622 L |
2019年12月18日 特許庁 / 特許 | 流体供給装置用切替システム及び流体供給システム FI分類-F04D 15/00 G, FI分類-F04B 49/10 311 |
2019年12月17日 特許庁 / 特許 | レジスト除去システムおよびレジスト除去方法 FI分類-G03F 7/42, FI分類-H01L 21/30 572 B, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 643 C, FI分類-H01L 21/304 647 Z, FI分類-H01L 21/304 648 G, FI分類-H01L 21/304 651 B, FI分類-H01L 21/304 651 L |
2019年12月17日 特許庁 / 特許 | レジスト除去システムおよびレジスト除去方法 FI分類-G03F 7/42, FI分類-H01L 21/30 572 B, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 648 G, FI分類-H01L 21/304 651 B |
2019年12月16日 特許庁 / 特許 | 冷却ファン、電動機組立体 FI分類-H02K 9/06 E |
2019年12月16日 特許庁 / 特許 | 渦電流センサの出力信号処理回路および出力信号処理方法 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 49/10, FI分類-G01N 27/90, FI分類-B24B 49/02 Z, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2019年12月16日 特許庁 / 特許 | 渦電流センサの出力信号処理回路および出力信号処理方法 FI分類-B24B 49/10, FI分類-G01N 27/90, FI分類-B24B 37/013, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2019年12月13日 特許庁 / 特許 | 羽根車及び水力機械 FI分類-F04D 29/58 A, FI分類-F04D 29/66 B, FI分類-F04D 29/18 101 Z |
2019年12月13日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ FI分類-C25D 17/08 G, FI分類-C25D 17/08 R, FI分類-C25D 21/00 E, FI分類-H01L 21/68 N |
2019年12月13日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ FI分類-C25D 17/08 G, FI分類-C25D 17/08 Z, FI分類-C25D 21/00 E, FI分類-H01L 21/68 N |
2019年12月11日 特許庁 / 特許 | 立形多段ポンプ FI分類-F04D 29/42 A, FI分類-F04D 29/42 E, FI分類-F04D 29/66 A |
2019年12月10日 特許庁 / 特許 | 給水装置、制御装置及びインバータ FI分類-H02M 7/48 F, FI分類-H02M 7/48 M |
2019年12月10日 特許庁 / 特許 | 研磨方法および研磨装置 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-B24B 37/005 Z, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2019年12月10日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置及びポンプシステム FI分類-F04D 15/02, FI分類-F04D 15/00 L, FI分類-F04D 15/00 Z, FI分類-G05B 23/02 F, FI分類-F04B 49/10 311, FI分類-F04B 49/06 321 A |
2019年12月09日 特許庁 / 特許 | パッドの表面温度を調整するためのシステムおよび研磨装置 FI分類-B24B 49/14, FI分類-B24B 57/02, FI分類-B24B 37/015, FI分類-B24B 37/00 K, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2019年12月06日 特許庁 / 特許 | ポンプ設備の制御盤監視システム、制御盤 FI分類-E03F 5/22, FI分類-G01J 5/10 C, FI分類-G01J 5/48 A, FI分類-G01J 5/00 101 Z |
2019年12月03日 特許庁 / 特許 | 研磨装置および研磨方法 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/005 Z, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2019年12月02日 特許庁 / 特許 | 研磨装置および研磨方法 FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 9/00 601 G, FI分類-H01L 21/304 622 Y |
2019年11月28日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-E03B 5/00 B, FI分類-G05D 16/20 A, FI分類-F04B 49/02 311, FI分類-F04B 49/06 311, FI分類-F04B 49/08 311 |
2019年11月28日 特許庁 / 特許 | 学習機能付き給水装置、学習機能付き給水システム FI分類-E03B 5/00 B, FI分類-G05B 23/02 Z, FI分類-F04B 49/06 311 |
2019年11月27日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置、インバータ及び制御方法 FI分類-F04D 15/00 A, FI分類-F04D 15/00 D, FI分類-F04D 15/00 J, FI分類-F04B 49/06 341 G |
2019年11月22日 特許庁 / 特許 | 漏液ガイド装置、ポンプ、および漏液ガイド装置を取り付ける方法 FI分類-F04D 29/12 A, FI分類-F04D 29/70 F |
2019年11月21日 特許庁 / 特許 | 微小気泡個数制御システム FI分類-B01F 5/06, FI分類-B01F 3/04 Z, FI分類-H01L 21/304 647 Z, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2019年11月20日 特許庁 / 特許 | 温度制御システム FI分類-G05D 23/13, FI分類-F25D 17/02 301 |
2019年11月20日 特許庁 / 特許 | 冷却システム FI分類-F25B 7/00 E, FI分類-F25B 1/00 397 B, FI分類-F25B 1/00 399 Y |
2019年11月19日 特許庁 / 特許 | 基板を保持するためのトップリングおよび基板処理装置 FI分類-B24B 37/30 A, FI分類-B24B 37/30 D, FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-B24B 37/30 Z, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 H |
2019年11月15日 特許庁 / 特許 | ポンプを備えるシステムの制御パラメータを変更する方法、制御パラメータを管理する管理方法、表示方法、管理装置、およびシステム FI分類-G05B 23/02 F |
2019年11月15日 特許庁 / 特許 | ポンプを備えるシステムの制御パラメータを変更する方法、制御パラメータを管理する管理方法、表示方法、管理装置、およびシステム FI分類-F04B 49/06 311 |
2019年11月15日 特許庁 / 特許 | ポンプを備えるシステムの制御パラメータを変更する方法、制御パラメータを管理する管理方法、表示方法、管理装置、およびシステム FI分類-G05B 23/02 F, FI分類-H04N 1/00 350, FI分類-F04B 49/06 311, FI分類-H04N 1/00 127 A |
2019年11月13日 特許庁 / 特許 | 軸受装置および真空ポンプ装置 FI分類-F16N 9/02, FI分類-F16C 19/16, FI分類-F16C 19/54, FI分類-F16C 33/80, FI分類-F16N 13/20, FI分類-F04B 37/16 Z, FI分類-F04B 39/02 R, FI分類-F04C 25/02 K, FI分類-F04C 29/00 G, FI分類-F16C 33/66 Z, FI分類-F16C 33/78 D, FI分類-F16C 33/78 Z, FI分類-F16N 31/00 B, FI分類-F04B 39/00 103 Q |
2019年11月13日 特許庁 / 特許 | 制御システムおよびポンプ装置 FI分類-F04B 49/06 311, FI分類-F04B 49/10 311 |
2019年11月08日 特許庁 / 特許 | 温度制御システム、及び統合温度制御システム FI分類-G05D 23/00 A |
2019年11月08日 特許庁 / 特許 | 温度制御システム、及び統合温度制御システム FI分類-G05D 23/00 A |
2019年11月05日 特許庁 / 特許 | ポンプケーシングおよびポンプ装置 FI分類-F04D 13/00 F, FI分類-F04D 29/44 E |
2019年10月30日 特許庁 / 特許 | アノード組立体 FI分類-C25D 17/12 C |
2019年10月25日 特許庁 / 特許 | 研磨方法および研磨装置 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 37/013, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2019年10月18日 特許庁 / 特許 | 電子線装置及び電極 FI分類-H01J 37/12, FI分類-H01J 37/06 A, FI分類-H01J 37/153 A, FI分類-H01J 37/153 B |
2019年10月16日 特許庁 / 特許 | 研磨装置 FI分類-B24B 37/34, FI分類-B24B 37/015, FI分類-B24B 55/02 B, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2019年10月15日 特許庁 / 特許 | ポンプ設備、ポンプ設備用診断装置、監視制御装置、監視制御方法、監視制御プログラム、ポンプ設備用診断方法、ポンプ設備用診断プログラム FI分類-E03F 5/22, FI分類-F04B 49/02 311 |
2019年10月15日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 B, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 644 G, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2019年10月15日 特許庁 / 特許 | 真空ポンプ装置 FI分類-F04C 25/02 K, FI分類-F04C 29/04 C |
2019年10月10日 特許庁 / 特許 | 排気システムおよび排気方法 FI分類-B01F 5/00 G, FI分類-B01F 3/02 ZAB |
2019年10月09日 特許庁 / 特許 | キャンドモータポンプ FI分類-F04D 13/06 J |
2019年10月04日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ及び基板処理装置 FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/06 H, FI分類-C25D 17/08 G, FI分類-C25D 17/08 R, FI分類-H01L 21/68 N |
2019年10月03日 特許庁 / 特許 | 基板研磨装置および膜厚マップ作成方法 FI分類-B24B 37/34, FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/013, FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-B24B 37/005 A, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2019年10月02日 特許庁 / 特許 | 搬送異常予測システム FI分類-B65G 43/02 Z, FI分類-H01L 21/68 A |
2019年10月02日 特許庁 / 特許 | 中間ケーシングおよびこれを備える水中ポンプ FI分類-F04D 13/08 Z, FI分類-F04D 29/08 C, FI分類-F04D 29/12 B, FI分類-F04D 29/62 A |
2019年10月01日 特許庁 / 特許 | 搬送治具 FI分類-B62B 3/06 Z, FI分類-B66F 3/08 Z, FI分類-B66F 9/06 A |
2019年09月26日 特許庁 / 特許 | 立形多段ポンプ FI分類-F04D 1/08 C, FI分類-F04D 29/44 C, FI分類-F04D 29/44 E, FI分類-F04D 29/66 F |
2019年09月18日 特許庁 / 特許 | 機械学習装置、基板処理装置、学習済みモデル、機械学習方法、機械学習プログラム FI分類-B24B 51/00, FI分類-G06N 20/00, FI分類-B24B 37/005 Z, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2019年09月11日 特許庁 / 特許 | めっき処理装置、前処理装置、めっき装置、めっき処理方法および前処理方法 FI分類-C25D 7/00 J, FI分類-C25D 17/00 K, FI分類-C25D 17/00 L, FI分類-C25D 21/10 301 |
2019年09月11日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置の状態を表示する表示方法、ポンプ装置、ポンプシステム、コンピュータプログラム、表示器、および試験方法 FI分類-F04B 51/00, FI分類-F04D 15/00 Z, FI分類-F04B 49/06 311 |
2019年09月10日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-C25D 17/12 C |
2019年09月10日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ及びそれを備えた基板めっき装置、並びに電気接点 FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/06 H, FI分類-C25D 17/08 G, FI分類-C25D 17/08 R, FI分類-C25D 17/12 Z |
2019年09月04日 特許庁 / 特許 | AM装置 FI分類-B22F 3/16, FI分類-B22F 3/105, FI分類-B33Y 10/00, FI分類-B33Y 30/00, FI分類-B29C 64/153, FI分類-B29C 64/209, FI分類-B29C 64/236, FI分類-B29C 64/245, FI分類-B29C 64/268 |
2019年09月03日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、研磨方法、および基板処理装置 FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 55/08 A, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 643 C, FI分類-H01L 21/304 647 Z, FI分類-H01L 21/304 651 B |
2019年08月29日 特許庁 / 特許 | 研磨装置および研磨方法 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/013, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-B24B 37/005 Z, FI分類-H01L 21/304 622 R, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2019年08月29日 特許庁 / 特許 | 弾性膜、および基板保持装置 FI分類-B24B 37/30 C, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 J |
2019年08月27日 特許庁 / 特許 | リテーナリングに局所荷重を伝達するローラーの異常検出方法および研磨装置 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 37/32 Z, FI分類-G01M 99/00 A, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2019年08月26日 特許庁 / 特許 | 電磁石制御装置および電磁石システム FI分類-H05H 1/24, FI分類-H01F 7/20 Z, FI分類-H05H 1/46 A, FI分類-H01L 21/302 101 G |
2019年08月22日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダおよびめっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-H05K 3/18 N, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/08 G, FI分類-C25D 17/10 A |
2019年08月22日 特許庁 / 特許 | 排ガス処理装置 FI分類-F04F 5/54, FI分類-B01D 53/18 150, FI分類-B01D 53/78 ZAB |
2019年08月20日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄方法および基板洗浄装置 FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 643 C |
2019年08月15日 特許庁 / 特許 | 羽根車、水力機械 FI分類-F04D 29/22 F, FI分類-F04D 29/66 B |
2019年08月05日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-B65G 49/07 H, FI分類-C25D 17/00 G, FI分類-C25D 17/00 L, FI分類-C25D 17/06 E, FI分類-C25D 17/06 H, FI分類-C25D 17/08 M, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 643, FI分類-H01L 21/304 642 A, FI分類-H01L 21/304 648 A, FI分類-H01L 21/304 648 H, FI分類-H01L 21/304 651 J, FI分類-H01L 21/304 651 L |
2019年07月26日 特許庁 / 特許 | 真空式液体搬送装置 FI分類-E03F 5/22 |
2019年07月24日 特許庁 / 特許 | 補助加圧ポンプ装置及び制御盤 FI分類-A62C 35/68, FI分類-A62C 37/08, FI分類-A62C 27/00 502 |
2019年07月22日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 B, FI分類-H01L 21/304 644 C |
2019年07月19日 特許庁 / 特許 | ガス溶解液製造装置 FI分類-B01F 1/00 A, FI分類-B01F 3/04 A, FI分類-B01F 5/02 Z, FI分類-B01D 19/00 A, FI分類-B01D 19/00 B |
2019年07月19日 特許庁 / 特許 | 水槽の状態を表示するための表示方法、ポンプ装置の水槽方式を設定するための設定方法、ポンプ装置、ポンプシステム、及び表示器 FI分類-F04D 15/00 H |
2019年07月19日 特許庁 / 特許 | シールシステム、および該シールシステムを備えたポンプシステム FI分類-F04D 7/02 A, FI分類-F16J 15/447, FI分類-F04D 29/12 B, FI分類-F16J 15/34 B, FI分類-F16J 15/34 K, FI分類-F16J 15/40 B |
2019年07月12日 特許庁 / 特許 | 調整方法及び電子線装置 FI分類-H01J 37/04 B |
2019年07月11日 特許庁 / 特許 | 研磨装置および研磨方法 FI分類-B24B 55/00, FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 55/02 Z, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 621 E, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 647 Z |
2019年07月09日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 17/00 H, FI分類-C25D 17/10 B, FI分類-C25D 21/12 A |
2019年07月03日 特許庁 / 特許 | 渦電流センサ FI分類-G01B 7/06 M |
2019年07月02日 特許庁 / 特許 | AM装置 FI分類-B22F 3/16, FI分類-B22F 3/105, FI分類-B33Y 10/00, FI分類-B33Y 30/00, FI分類-B33Y 40/00, FI分類-B33Y 50/02, FI分類-B29C 64/153, FI分類-B29C 64/268, FI分類-B29C 64/321, FI分類-B29C 64/393 |
2019年06月28日 特許庁 / 特許 | 電子ビーム照射装置 FI分類-H01J 37/305 Z |
2019年06月27日 特許庁 / 特許 | 排水機場 FI分類-E03F 5/14, FI分類-E03F 5/22 |
2019年06月27日 特許庁 / 特許 | 光学式膜厚測定装置の最適な動作レシピを決定する方法、装置、およびシステム FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/013, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2019年06月27日 特許庁 / 特許 | バンプ高さ測定装置、基板処理装置、バンプ高さ測定方法、記憶媒体 FI分類-H05K 3/00 Q, FI分類-G01B 11/02 G, FI分類-G01B 11/06 G, FI分類-H01L 21/66 J |
2019年06月25日 特許庁 / 特許 | 電子線検査装置の二次光学系を評価する方法 FI分類-H01J 37/26, FI分類-H01J 37/29 |
2019年06月24日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置の揺動部品用のカバー、基板処理装置の揺動部品、および、基板処理装置 FI分類-B08B 3/02 A, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 643 C, FI分類-H01L 21/304 644 B, FI分類-H01L 21/304 644 G |
2019年06月20日 特許庁 / 特許 | 液体供給装置の液抜き方法、液体供給装置 FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 648 G, FI分類-H01L 21/304 648 K |
2019年06月17日 特許庁 / 特許 | ポンプ用舌片部材、ポンプ装置及び舌部の補修方法 FI分類-F04D 29/66, FI分類-F04D 29/42 A, FI分類-F04D 29/42 F, FI分類-F04D 29/42 G |
2019年06月14日 特許庁 / 特許 | めっき方法、めっき装置、プログラムを記憶する不揮発性の記憶媒体 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 21/12 A, FI分類-H01L 21/288 E |
2019年06月13日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 17/08 A, FI分類-C25D 17/08 S, FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-C25D 21/12 A |
2019年06月13日 特許庁 / 特許 | 基板研磨装置、基板リリース方法および定量気体供給装置 FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-H01L 21/304 622 G, FI分類-H01L 21/304 622 L |
2019年06月12日 特許庁 / 特許 | 研磨ヘッド、当該研磨ヘッドを備える研磨装置、および当該研磨装置を用いた研磨方法 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 57/02, FI分類-B24B 37/00 K, FI分類-H01L 21/304 622 E |
2019年06月11日 特許庁 / 特許 | 洗浄部材の着脱用治具 FI分類-B08B 13/00, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 644 Z |
2019年06月11日 特許庁 / 特許 | 制御部、ポンプ装置、及びポンプ運転方法 FI分類-F04D 15/00 E, FI分類-F04D 15/00 J |
2019年06月10日 特許庁 / 特許 | アノードホルダ、及びめっき装置 FI分類-C25D 21/04, FI分類-C25D 17/00 H, FI分類-C25D 17/10 A |
2019年06月04日 特許庁 / 特許 | ガス溶解液供給装置およびガス溶解液供給方法 FI分類-B01F 1/00 A, FI分類-B01F 15/00 Z, FI分類-B01F 15/02 A, FI分類-C01B 13/10 D, FI分類-C01B 13/11 Z |
2019年05月31日 特許庁 / 特許 | 温度調整装置および研磨装置 FI分類-B24B 37/34, FI分類-B24B 37/015, FI分類-B24B 37/12 D, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2019年05月31日 特許庁 / 特許 | 制御盤および給水装置 FI分類-H02B 1/48, FI分類-H02B 1/38 A, FI分類-H05K 5/03 C, FI分類-F04B 53/00 J, FI分類-F04D 13/06 Z, FI分類-F04D 29/00 B |
2019年05月30日 特許庁 / 特許 | ポンプ設備 FI分類-E03F 5/16, FI分類-E03F 5/22, FI分類-C02F 1/28 T, FI分類-B01D 17/12 B, FI分類-F04B 49/10 311, FI分類-B01D 17/00 503 A |
2019年05月30日 特許庁 / 特許 | ダンパー制御システムおよびダンパー制御方法 FI分類-F24F 7/007 B, FI分類-H01L 21/304 622 Z, FI分類-H01L 21/304 648 L |
2019年05月27日 特許庁 / 特許 | 湿式基板処理装置 FI分類-B01F 7/00 A, FI分類-B01F 7/00 B, FI分類-B01F 7/18 B, FI分類-B01F 7/30 Z, FI分類-B01F 15/00 A, FI分類-C25D 17/00 K, FI分類-C25D 21/10 301 |
2019年05月27日 特許庁 / 特許 | 研磨パッド位置決め治具 FI分類-B24B 37/22, FI分類-B24B 37/013, FI分類-B24B 37/12 D, FI分類-B24B 45/00 Z, FI分類-H01L 21/304 622 F |
2019年05月24日 特許庁 / 特許 | ドローンシステム FI分類-B61B 7/04, FI分類-B64F 3/02, FI分類-B64C 27/08, FI分類-B64C 39/02, FI分類-B64D 27/24, FI分類-H02G 11/00, FI分類-B60L 5/00 A, FI分類-B60L 5/38 Z, FI分類-B61B 13/00 Z |
2019年05月24日 特許庁 / 特許 | 両吸込渦巻ポンプ FI分類-F04D 29/42 C |
2019年05月21日 特許庁 / 特許 | 造形物を製造するためのAM装置およびAM装置におけるビームの照射位置を試験する方法 FI分類-B22F 3/16, FI分類-B22F 3/105, FI分類-B23K 26/34, FI分類-B33Y 10/00, FI分類-B33Y 30/00, FI分類-B29C 64/153, FI分類-B29C 64/268, FI分類-B29C 64/393, FI分類-B23K 26/21 Z |
2019年05月17日 特許庁 / 特許 | めっき方法、めっき用の不溶性アノード、及びめっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/00 H, FI分類-C25D 17/12 K, FI分類-C25D 21/12 A, FI分類-H01L 21/88 J |
2019年05月10日 特許庁 / 特許 | コバルトイオン吸着材及びその製造方法 FI分類-B01J 20/30, FI分類-B01J 20/06 C, FI分類-G21F 9/12 501 D |
2019年04月23日 特許庁 / 特許 | 先行待機型ポンプ FI分類-F04D 13/00 D, FI分類-F04D 15/00 H, FI分類-F04D 29/58 E, FI分類-F04D 29/046 A |
2019年04月19日 特許庁 / 特許 | ポンプシステム、ポンプシステムの清掃方法 FI分類-F04B 49/22, FI分類-F04D 15/00 L, FI分類-F04D 29/70 H, FI分類-F04B 49/10 321 |
2019年04月17日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置、及びポンプ運転方法 FI分類-F04B 23/14, FI分類-F04D 13/12 Z |
2019年04月12日 特許庁 / 特許 | 検査装置 FI分類-H01J 37/05, FI分類-H01J 37/29, FI分類-H01J 37/073, FI分類-H01J 37/244, FI分類-H01J 37/20 H, FI分類-H01J 37/28 B, FI分類-H01L 21/66 J |
2019年04月12日 特許庁 / 特許 | 検査装置 FI分類-H01J 37/29, FI分類-H01J 37/06 A, FI分類-H01J 37/28 B, FI分類-H01L 21/66 J |
2019年04月09日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置および基板洗浄方法 FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 647 Z, FI分類-H01L 21/304 648 K |
2019年04月09日 特許庁 / 特許 | 液体供給装置、洗浄ユニット、基板処理装置 FI分類-H01L 21/304 648 G, FI分類-H01L 21/304 648 K |
2019年04月09日 特許庁 / 特許 | 搬送装置、ワーク処理装置、搬送装置の制御方法、プログラムを記憶する記録媒体 FI分類-B25J 5/00 E, FI分類-B25J 15/08 C, FI分類-H01L 21/68 A |
2019年04月04日 特許庁 / 特許 | 基板支持装置及び基板洗浄装置 FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2019年04月04日 特許庁 / 特許 | 研磨パッドの表面性状測定装置を備えた研磨装置および研磨システム FI分類-B24B 49/18, FI分類-B24B 53/00 A, FI分類-B24B 53/017 A, FI分類-H01L 21/304 622 M |
2019年04月04日 特許庁 / 特許 | 渦抑制装置を備えたポンプ FI分類-F04D 13/00 A, FI分類-F04D 29/66 F |
2019年04月02日 特許庁 / 特許 | 基板支持装置及び基板支持装置の制御方法 FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 644 C |
2019年04月02日 特許庁 / 特許 | 積層メンブレン、積層メンブレンを備える基板保持装置および基板処理装置 FI分類-B24B 37/12 D, FI分類-B24B 37/30 D, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 622 K |
2019年03月29日 特許庁 / 特許 | 熱交換器の洗浄装置、および研磨装置 FI分類-B24B 37/04, FI分類-B24B 37/34, FI分類-B24B 37/015, FI分類-H01L 21/304 622 F |
2019年03月28日 特許庁 / 特許 | セシウム及び/又はストロンチウムを含有する廃液の処理方法 FI分類-C02F 1/28 A, FI分類-B01J 20/10 C, FI分類-B01J 20/28 Z, FI分類-G21F 9/12 501 D |
2019年03月27日 特許庁 / 特許 | 立軸ポンプおよび摩耗量検出方法 FI分類-F04D 13/00 D, FI分類-F04D 29/04 U, FI分類-F04D 29/04 W, FI分類-F04D 29/046 A |
2019年03月26日 特許庁 / 特許 | 異物除去装置を備えたポンプ FI分類-F04D 29/70 G |
2019年03月11日 特許庁 / 特許 | 信号処理装置、信号処理方法 FI分類-G01M 13/045, FI分類-G01M 99/00 A |
2019年03月08日 特許庁 / 特許 | 光触媒を用いた基板処理装置および基板処理方法 FI分類-B01J 35/02 J, FI分類-H01L 21/304 621 B, FI分類-H01L 21/304 622 F |
2019年03月06日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/013, FI分類-B24B 37/00 Z, FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-B24B 53/017 A, FI分類-H01L 21/304 621 B, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2019年03月04日 特許庁 / 特許 | 研磨方法および研磨装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/013, FI分類-G01B 11/06 Z, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2019年03月01日 特許庁 / 特許 | 荷電粒子マルチビーム装置 FI分類-H01J 37/12, FI分類-H01J 37/28 B, FI分類-H01J 37/153 B |
2019年02月28日 特許庁 / 特許 | 多段カスケードポンプ装置、及び多段カスケードポンプ装置の羽根車隙間調整方法 FI分類-F04D 5/00 D, FI分類-F04D 5/00 F, FI分類-H02K 7/14 B, FI分類-F04D 13/06 E, FI分類-F04D 13/06 H, FI分類-F04D 13/06 J |
2019年02月28日 特許庁 / 特許 | スケジューラ、基板処理装置、及び基板搬送方法 FI分類-H01L 21/02 Z, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-G05B 19/418 Z |
2019年02月28日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-C25D 21/12 A |
2019年02月27日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、研磨方法、プログラムを格納した記憶媒体 FI分類-B24B 37/04, FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 37/013, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2019年02月22日 特許庁 / 特許 | 基板研磨システム及び方法並びに基板研磨装置 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 37/013, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2019年02月21日 特許庁 / 特許 | 電子線照射装置および電子ビームの位置合わせ方法 FI分類-G21K 5/04 E, FI分類-H01J 37/04 B, FI分類-H01J 37/28 B, FI分類-H01J 37/147 B, FI分類-H01J 37/22 502 B, FI分類-H01J 37/22 502 H |
2019年02月21日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、研磨方法、および研磨液供給位置決定プログラムを記録した記録媒体 FI分類-B24B 37/013, FI分類-B24B 37/00 K, FI分類-B24B 37/005 Z, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2019年02月20日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダおよび当該基板ホルダを備えるめっき装置 FI分類-C25D 17/08 G, FI分類-C25D 17/08 S, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/288 E |
2019年02月20日 特許庁 / 特許 | ドローンシステム FI分類-A62C 3/02, FI分類-B64D 1/22, FI分類-B64D 5/00, FI分類-B64F 3/02, FI分類-B64C 19/02, FI分類-B64C 27/08, FI分類-B64D 27/24, FI分類-A62C 27/00 507 |
2019年02月19日 特許庁 / 特許 | 洗浄部材用洗浄装置及び基板処理装置 FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 643 D, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 644 Z, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2019年02月18日 特許庁 / 特許 | 研磨装置および研磨方法 FI分類-B24B 37/013, FI分類-G01N 19/00 Z, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2019年02月18日 特許庁 / 特許 | 研磨装置および研磨方法 FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 21/18 Z, FI分類-B24B 55/04 Z, FI分類-B24B 55/08 A, FI分類-B24B 9/00 601 G |
2019年02月15日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ及びめっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/08 S, FI分類-C25D 21/00 J, FI分類-C25D 21/00 Z |
2019年02月07日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄方法および基板洗浄装置 FI分類-H01L 21/304 644 B, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2019年02月06日 特許庁 / 特許 | 表示操作器、給水装置、及び給水装置におけるポンプの運転方法 FI分類-F04D 15/00 F |
2019年02月01日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置、および基板処理方法 FI分類-B24B 47/02, FI分類-B24B 47/22, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 7/00 Z, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-G01B 11/27 H, FI分類-H01L 21/68 G, FI分類-H01L 21/68 K, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 621 E |
2019年02月01日 特許庁 / 特許 | 制御システム、制御システムのプログラムを記録した記録媒体、および制御システムの方法 FI分類-H01L 21/02 Z, FI分類-G05B 19/418 Z, FI分類-H01L 21/304 648 H |
2019年01月31日 特許庁 / 特許 | ダミーディスクおよびダミーディスクを用いた表面高さ測定方法 FI分類-B24B 47/22, FI分類-B24B 53/00 A, FI分類-B24B 53/00 J, FI分類-B24B 53/017 Z, FI分類-H01L 21/304 622 M, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2019年01月30日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置、基板処理装置、洗浄部材のセルフクリーニング方法 FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 C |
2019年01月29日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-F04B 53/22, FI分類-F04D 13/16 B, FI分類-F04D 29/00 B, FI分類-F04D 29/60 B |
2019年01月28日 特許庁 / 特許 | 研磨方法および研磨装置 FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-H01L 21/304 622 Y |
2019年01月24日 特許庁 / 特許 | 情報処理システム、情報処理方法、プログラム及び基板処理装置 FI分類-G06F 17/15, FI分類-B24B 37/005 Z, FI分類-G06N 99/00 153, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2019年01月22日 特許庁 / 特許 | 内燃機関始動用空気供給システム及びポンプ設備 FI分類-F04B 49/06 331 Z |
2019年01月22日 特許庁 / 特許 | 単相誘導電動機 FI分類-H02P 1/42, FI分類-H02P 25/04 |
2019年01月21日 特許庁 / 特許 | 希ガス回収システムおよび希ガス回収方法 FI分類-H01L 21/205, FI分類-C23C 16/44 E, FI分類-H01L 21/31 B, FI分類-H01L 21/31 C, FI分類-H01L 21/302 101 G |
2019年01月11日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置および基板処理装置において部分研磨されるべき領域を特定する方法 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/02 Z, FI分類-B24B 37/005 Z, FI分類-H01L 21/304 621 E, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2019年01月10日 特許庁 / 特許 | 研磨装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/015, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2019年01月09日 特許庁 / 特許 | 窒素酸化物を含むガスの処理装置、および処理方法 FI分類-B01D 53/82, FI分類-C01B 39/02, FI分類-F01N 3/08 A, FI分類-F01N 3/24 L, FI分類-C01B 13/10 Z, FI分類-B01D 53/56 100, FI分類-B01D 53/86 260, FI分類-F01N 3/08 ZABD |
2018年12月28日 特許庁 / 特許 | 研磨レシピ決定装置 FI分類-B24B 37/005 A, FI分類-H01L 21/304 622 K, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2018年12月28日 特許庁 / 特許 | 真空ポンプ装置 FI分類-F04C 25/02 B, FI分類-F04C 25/02 K, FI分類-F04C 29/00 G |
2018年12月28日 特許庁 / 特許 | めっき方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/08 Z, FI分類-C25D 21/00 Z, FI分類-C25D 21/12 C |
2018年12月28日 特許庁 / 特許 | 移載機及びベベル研磨装置 FI分類-B24B 21/08, FI分類-B24B 47/22, FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-B24B 9/00 601 G, FI分類-H01L 21/304 621 E |
2018年12月27日 特許庁 / 特許 | 研磨装置および静止リングの傾きを制御する方法 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-B24B 37/32 Z, FI分類-B24B 37/005 Z, FI分類-H01L 21/304 622 K |
2018年12月27日 特許庁 / 特許 | 研磨装置および研磨方法 FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-B24B 37/32 Z, FI分類-H01L 21/304 622 K |
2018年12月27日 特許庁 / 特許 | 渦抑制装置を備えたポンプ FI分類-F04D 13/00 A, FI分類-F04D 29/52 A, FI分類-F04D 29/66 F |
2018年12月26日 特許庁 / 特許 | 光学式膜厚測定システムの洗浄方法 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/013, FI分類-H01L 21/304 621 Z |
2018年12月26日 特許庁 / 特許 | 研磨装置及び研磨部材のドレッシング方法 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 53/00 A, FI分類-B24B 53/017 Z, FI分類-H01L 21/304 622 M |
2018年12月25日 特許庁 / 特許 | 回転機械装置 FI分類-F16C 19/52, FI分類-F16C 41/00, FI分類-G01M 13/04, FI分類-G01H 1/00 G, FI分類-F04D 29/00 B, FI分類-F16C 33/66 Z, FI分類-F16C 33/78 Z, FI分類-F04D 29/046 D |
2018年12月21日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダのシールから液体を除去するための方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/06 C |
2018年12月21日 特許庁 / 特許 | 研磨装置及び研磨部材のドレッシング方法 FI分類-B24B 53/14, FI分類-B24B 53/00 A, FI分類-B24B 53/017 Z, FI分類-H01L 21/304 622 M |
2018年12月19日 特許庁 / 特許 | 電動機組立体 FI分類-H02K 11/20, FI分類-H02K 11/33, FI分類-H02P 23/04, FI分類-H02M 7/48 E, FI分類-H02M 7/48 Z |
2018年12月19日 特許庁 / 特許 | 電動機組立体 FI分類-H02K 11/20, FI分類-H02K 11/33, FI分類-H02P 23/04, FI分類-H02M 7/48 E, FI分類-H02M 7/48 Z, FI分類-H02P 29/024 |
2018年12月19日 特許庁 / 特許 | 複数の電動機組立体を備えた駆動装置 FI分類-H02K 11/20, FI分類-H02K 11/33, FI分類-H02P 23/04, FI分類-H02M 7/48 E, FI分類-H02M 7/48 M, FI分類-H02P 5/46 J |
2018年12月19日 特許庁 / 特許 | 複数の電動機組立体を備えた駆動装置 FI分類-H02K 11/20, FI分類-H02K 11/33, FI分類-H02P 23/04, FI分類-H02M 7/48 E, FI分類-H02M 7/48 M, FI分類-H02P 29/024, FI分類-H02P 5/46 J |
2018年12月13日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置 FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2018年12月13日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダに使用するシール FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/08 G, FI分類-C25D 17/08 S, FI分類-H01L 21/68 U, FI分類-H01L 21/304 648 D |
2018年12月13日 特許庁 / 特許 | めっき可能な基板の枚数を予測する予測モデルを構築する方法、不具合を引き起こす構成部材を予想するための選択モデルを構築する方法、およびめっき可能な基板の枚数を予測する方法 FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/06 J, FI分類-C25D 21/12 C |
2018年12月07日 特許庁 / 特許 | すべり軸受装置及びポンプ FI分類-F04D 13/00 L, FI分類-F16C 17/02 Z, FI分類-F16C 27/06 A, FI分類-F16C 35/02 C, FI分類-F16F 15/04 A, FI分類-F04D 29/046 D |
2018年12月07日 特許庁 / 特許 | すべり軸受装置及びポンプ FI分類-F16C 35/07, FI分類-F16C 27/02 Z, FI分類-F16F 15/02 L, FI分類-F04D 29/046 D |
2018年11月30日 特許庁 / 特許 | 研磨装置 FI分類-B24B 57/02, FI分類-B24B 37/00 K, FI分類-B24B 37/30 Z, FI分類-B24B 53/017 Z, FI分類-H01L 21/304 622 E |
2018年11月29日 特許庁 / 特許 | 動翼、タービン、および動翼の製造方法 FI分類-F01D 5/14, FI分類-F01D 5/28, FI分類-F01D 5/30 |
2018年11月28日 特許庁 / 特許 | 温度調整装置及び研磨装置 FI分類-B24B 49/14, FI分類-B24B 37/015, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2018年11月21日 特許庁 / 特許 | 水素搬送装置、および水素搬送方法 FI分類-B64D 5/00, FI分類-B64C 27/08, FI分類-B64C 39/02 |
2018年11月21日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダに基板を保持させる方法 FI分類-C25D 17/08 G, FI分類-C25D 17/08 R, FI分類-C25D 17/08 S |
2018年11月20日 特許庁 / 特許 | 立軸ポンプ FI分類-F16C 17/14, FI分類-F16C 19/02, FI分類-F04D 29/047, FI分類-F04D 13/00 D, FI分類-F04D 13/00 L, FI分類-F16C 17/02 Z, FI分類-F04D 29/046 A, FI分類-F04D 29/046 C |
2018年11月16日 特許庁 / 特許 | 洗浄モジュール、洗浄モジュールを備える基板処理装置と洗浄方法 FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2018年11月15日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ、めっき装置および基板のめっき方法 FI分類-C25D 17/06 D, FI分類-C25D 17/06 G, FI分類-C25D 17/08 J, FI分類-C25D 17/08 Q |
2018年11月15日 特許庁 / 特許 | 羽根車、該羽根車を備えたポンプ、および該羽根車の製造方法 FI分類-F04D 29/22 A, FI分類-F04D 29/22 H, FI分類-F04D 29/62 A |
2018年11月13日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置の懸架方法、およびポンプ装置 FI分類-B64D 1/22, FI分類-B64C 27/08, FI分類-B64C 39/02, FI分類-A62C 33/00 Z, FI分類-F04D 13/00 C, FI分類-A62C 27/00 501 |
2018年11月13日 特許庁 / 特許 | ドローンを用いた消火システム FI分類-B64D 1/16, FI分類-B64D 1/22, FI分類-B64F 3/00, FI分類-B64C 19/02, FI分類-B64C 27/08, FI分類-B64C 39/02, FI分類-B64D 27/24, FI分類-B64C 29/00 B, FI分類-A62C 27/00 508 |
2018年11月09日 特許庁 / 特許 | 流体中の渦をアクティブ制御するためのシステムおよび方法 FI分類-F04D 29/66 A |
2018年11月08日 特許庁 / 特許 | 制御ユニット、及びポンプ装置 FI分類-F04D 15/02, FI分類-F04D 15/00 F |
2018年11月08日 特許庁 / 特許 | 制御ユニット、ポンプ装置、及び可変速制御器 FI分類-F04D 15/00 F, FI分類-F04D 15/00 J |
2018年11月08日 特許庁 / 特許 | 渦電流検出装置及び研磨装置 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 37/013, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-G01R 15/18 A, FI分類-G01R 33/02 B, FI分類-H01L 21/304 622 S, FI分類-H01L 21/304 622 X |
2018年11月06日 特許庁 / 特許 | ポンプケーシングおよびポンプ装置 FI分類-F04D 13/06 Z, FI分類-F04D 29/42 C |
2018年11月02日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置、ポンプシステム、及び無線通信方法 FI分類-F04D 15/00 D |
2018年10月25日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-F04B 23/04, FI分類-F04D 13/12, FI分類-F04B 53/10 A |
2018年10月25日 特許庁 / 特許 | ブレーカ用ロックアウトキー取付具 FI分類-H01H 9/28 |
2018年10月23日 特許庁 / 特許 | ポンプシステム FI分類-F16C 41/00, FI分類-F04D 29/00 B, FI分類-F04D 29/04 U, FI分類-F16C 17/02 Z, FI分類-G01M 99/00 A |
2018年10月18日 特許庁 / 特許 | 複数のポンプからなるポンプ群、およびポンプ選定装置 FI分類-F04D 13/14, FI分類-F04D 15/00 D, FI分類-F04D 29/28 J, FI分類-F04D 15/00 101 D |
2018年10月18日 特許庁 / 特許 | ポンプに使用される羽根車 FI分類-F04D 29/041, FI分類-F04D 29/22 E |
2018年10月17日 特許庁 / 特許 | 磁性素子、及びそれを用いた渦電流式センサ FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 37/013, FI分類-G01B 7/06 M, FI分類-G01R 33/02 B, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2018年10月15日 特許庁 / 特許 | 基板保持装置、および該基板保持装置を動作させる方法 FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 643 Z, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2018年10月12日 特許庁 / 特許 | 除害装置、除害装置の配管部の交換方法及び除害装置の配管の洗浄方法 FI分類-B01D 53/58, FI分類-B01D 53/78, FI分類-B01D 53/14 200, FI分類-B01D 53/18 150, FI分類-B01D 53/46 ZAB, FI分類-B01D 53/68 200, FI分類-B01D 53/68 220, FI分類-B08B 9/032 321 |
2018年10月12日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄部材および基板洗浄装置 FI分類-B08B 1/04, FI分類-B08B 3/02 B, FI分類-B08B 7/04 A, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 644 E, FI分類-H01L 21/304 644 G |
2018年10月10日 特許庁 / 特許 | 制御盤構造および給水装置 FI分類-H02B 1/50, FI分類-F04B 53/22, FI分類-H02B 1/30 H, FI分類-F04B 23/00 A |
2018年10月05日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダに基板を保持させるためおよび/又は基板ホルダによる基板の保持を解除するための装置、および同装置を有するめっき装置 FI分類-C25D 17/00 K, FI分類-C25D 17/06 A, FI分類-C25D 17/06 E, FI分類-C25D 17/06 F, FI分類-C25D 17/06 H, FI分類-C25D 17/08 G, FI分類-C25D 19/00 D, FI分類-C25D 21/12 C, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/68 N |
2018年10月05日 特許庁 / 特許 | 洗浄装置、これを備えためっき装置、及び洗浄方法 FI分類-C25D 21/08, FI分類-C23G 3/00 A, FI分類-C25D 17/00 K, FI分類-C25D 17/06 B, FI分類-C25D 17/06 J |
2018年10月05日 特許庁 / 特許 | 弾性膜のストレッチ動作プログラム、弾性膜のストレッチ動作方法、および研磨装置 FI分類-B24B 37/30 Z, FI分類-H01L 21/304 622 G |
2018年10月04日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置および基板処理方法 FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 644 G |
2018年10月03日 特許庁 / 特許 | 立形ポンプ FI分類-F04D 13/00 D, FI分類-F04D 29/12 B |
2018年10月03日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置 FI分類-F04D 29/12 B, FI分類-F04D 29/58 E, FI分類-F16J 15/34 H, FI分類-F04D 29/043 A |
2018年10月03日 特許庁 / 特許 | メカニカルシール及びポンプ装置 FI分類-F04D 25/16, FI分類-F04D 29/12 B, FI分類-F04D 29/58 E, FI分類-F16J 15/34 H, FI分類-F04D 29/043 A |
2018年10月02日 特許庁 / 特許 | 回転機械 FI分類-F04D 19/02, FI分類-F04D 1/08 A, FI分類-F04D 29/42 C, FI分類-F04D 29/42 K |
2018年10月02日 特許庁 / 特許 | ケーシングおよび回転機械 FI分類-F04D 29/42 C, FI分類-F04D 29/42 K, FI分類-F04D 29/44 A, FI分類-F04D 29/44 L, FI分類-F04D 29/60 E, FI分類-F04D 29/60 H |
2018年09月27日 特許庁 / 特許 | 制御盤および給水装置 FI分類-H02M 7/48 Z, FI分類-H05K 5/00 A, FI分類-F04D 13/06 Z, FI分類-F04D 29/00 B |
2018年09月27日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-H02M 7/48 Z, FI分類-H05K 7/20 G, FI分類-F04D 29/00 B, FI分類-F04D 29/58 D, FI分類-F04D 29/58 F |
2018年09月26日 特許庁 / 特許 | 気体移送装置および気体移送装置の使用方法 FI分類-F04D 29/058, FI分類-F04D 19/04 A, FI分類-F04D 19/04 G, FI分類-F04D 29/08 E, FI分類-F16C 32/04 Z, FI分類-H01L 21/31 C, FI分類-H01L 21/31 D, FI分類-F04D 29/057 Z, FI分類-H01L 21/302 101 G |
2018年09月21日 特許庁 / 特許 | 給水システム、および、給水システムの制御方法 FI分類-E03B 5/02, FI分類-F17D 1/14, FI分類-E03B 11/16 |
2018年09月21日 特許庁 / 特許 | 基板搬送装置および基板搬送装置を備える基板処理装置 FI分類-B65G 13/06, FI分類-B65G 13/00 A, FI分類-B65G 21/20 A, FI分類-H01L 21/68 A |
2018年09月20日 特許庁 / 特許 | 回転式流体機械 FI分類-F04C 15/00 K, FI分類-F04C 29/00 D, FI分類-F04D 29/22 C, FI分類-F04D 29/22 D |
2018年09月20日 特許庁 / 特許 | 研磨ヘッドおよび研磨装置 FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-H01L 21/304 622 G, FI分類-H01L 21/304 622 K |
2018年09月20日 特許庁 / 特許 | PVAブラシの洗浄方法及び装置 FI分類-A46D 9/04, FI分類-A46B 17/06, FI分類-H01L 21/304 644 Z, FI分類-H01L 21/304 647 A |
2018年09月19日 特許庁 / 特許 | 摺動部を具備する機械設備の運転管理方法 FI分類-F16N 7/22, FI分類-F16N 29/04, FI分類-G01N 33/30, FI分類-F16N 7/38 F, FI分類-F16N 29/00 D, FI分類-G01N 21/59 Z, FI分類-G01N 31/00 S |
2018年09月18日 特許庁 / 特許 | 情報処理システム、情報処理装置、通信端末、電子機器及び情報処理方法 FI分類-G06Q 10/00 300 |
2018年09月11日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置の制御ユニット、及びポンプ装置 FI分類-F04D 15/00 F, FI分類-F04D 15/00 J |
2018年09月05日 特許庁 / 特許 | 電動機の駆動装置 FI分類-H02P 21/24, FI分類-H02M 7/48 E |
2018年09月05日 特許庁 / 特許 | コバルトイオン吸着剤及びその製造方法並びにコバルトイオン含有液処理装置 FI分類-B01J 20/30, FI分類-C02F 1/28 B, FI分類-C02F 1/28 E, FI分類-C02F 1/28 F, FI分類-C02F 1/42 A, FI分類-C02F 1/42 B, FI分類-B01J 20/06 C, FI分類-B01J 20/28 Z, FI分類-C01G 23/00 C, FI分類-G21F 9/12 501 D, FI分類-G21F 9/12 501 J, FI分類-G21F 9/12 501 K |
2018年09月04日 特許庁 / 特許 | アウタロータ型のモータのためのロータ、当該ロータを備えるモータ、当該モータを備えるターボ分子ポンプおよび当該モータを備える基板回転装置 FI分類-H02K 1/22 Z, FI分類-F04D 19/04 D, FI分類-F04D 19/04 E, FI分類-H02K 17/16 Z |
2018年08月30日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、及び研磨方法 FI分類-B24B 37/013, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2018年08月23日 特許庁 / 特許 | 研磨パッド高さを決定する方法、および研磨システム FI分類-B24B 49/18, FI分類-B24B 53/017 Z, FI分類-H01L 21/304 622 M |
2018年08月22日 特許庁 / 特許 | 基板のめっきに使用される酸化銅固形物、該酸化銅固形物を製造する方法、およびめっき液をめっき槽まで供給するための装置 FI分類-C25D 21/14 E |
2018年08月21日 特許庁 / 特許 | 研磨装置および研磨方法 FI分類-B24B 7/04 Z, FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 53/00 J, FI分類-B24B 53/12 Z, FI分類-B24D 11/00 B, FI分類-H01L 21/304 621 B, FI分類-H01L 21/304 622 M |
2018年08月21日 特許庁 / 特許 | フッ素化合物除去装置、酸素除去装置 FI分類-B01J 20/30, FI分類-H01S 3/225, FI分類-C01B 7/19 A, FI分類-B01J 20/02 A, FI分類-B01J 20/18 E, FI分類-C01B 13/02 Z |
2018年08月21日 特許庁 / 特許 | 希ガス回収装置 FI分類-B01D 53/54, FI分類-B01D 53/82, FI分類-H01S 3/225, FI分類-C01B 23/00 Z, FI分類-B01D 53/14 100, FI分類-B01D 53/14 311, FI分類-B01D 53/46 ZAB, FI分類-B01D 53/68 200 |
2018年08月10日 特許庁 / 特許 | 基板回転装置、基板洗浄装置および基板処理装置ならびに基板回転装置の制御方法 FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 644 A, FI分類-H01L 21/304 648 Z |
2018年08月09日 特許庁 / 特許 | 基板用洗浄具、基板洗浄装置、基板処理装置、基板処理方法および基板用洗浄具の製造方法 FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 B, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 644 G |
2018年08月07日 特許庁 / 特許 | 液面検出センサと組み合わせて使用されるセンサターゲットカバー、および湿式処理装置 FI分類-G01F 23/292 B, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 E, FI分類-H01L 21/304 648 G, FI分類-H01L 21/304 648 K, FI分類-H01L 21/304 651 B |
2018年08月07日 特許庁 / 特許 | 位置調節装置 FI分類-H02K 5/26, FI分類-H02K 5/00 A |
2018年08月06日 特許庁 / 特許 | 基板保持装置および基板研磨装置 FI分類-B24B 37/30 A, FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-B24B 37/32 A, FI分類-B24B 37/005 A, FI分類-H01L 21/304 622 H |
2018年08月06日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、及び、研磨方法 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 57/02, FI分類-B24B 53/017 Z, FI分類-H01L 21/304 622 E |
2018年08月06日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、及び、研磨方法 FI分類-B24B 55/00, FI分類-B24B 37/00 K, FI分類-H01L 21/304 622 E |
2018年08月02日 特許庁 / 特許 | 基板を保持するためのトップリングおよび基板処理装置 FI分類-B24B 37/32 A, FI分類-H01L 21/304 622 H, FI分類-H01L 21/304 622 K |
2018年08月02日 特許庁 / 特許 | 研磨装置用の治具 FI分類-B24B 37/34, FI分類-B24B 37/30 Z, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-H01L 21/304 622 H |
2018年07月31日 特許庁 / 特許 | 球面軸受の軸受半径決定方法 FI分類-B24B 37/30 Z, FI分類-B24B 53/00 A, FI分類-B24B 53/12 Z, FI分類-B24B 53/017 Z, FI分類-H01L 21/304 622 G, FI分類-H01L 21/304 622 M |
2018年07月20日 特許庁 / 特許 | 排気ガスの排出構造および庇ユニット FI分類-F01N 1/24 E, FI分類-F01N 13/20 Z, FI分類-F23L 17/02 602 F |
2018年07月20日 特許庁 / 特許 | 研磨装置および研磨方法 FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 9/00 601 G, FI分類-H01L 21/304 621 E |
2018年07月17日 特許庁 / 特許 | ゲートバルブ FI分類-F16K 3/18 Z |
2018年07月13日 特許庁 / 特許 | 信号処理装置、信号処理システム及び探索方法 FI分類-G01H 17/00 Z, FI分類-H04R 3/00 320, FI分類-G10L 21/0264 A |
2018年07月13日 特許庁 / 特許 | 研磨装置およびキャリブレーション方法 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/14, FI分類-B24B 37/013, FI分類-G01B 7/06 M, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2018年07月13日 特許庁 / 特許 | 研磨装置および研磨方法 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/14, FI分類-B24B 37/013, FI分類-G01B 7/06 M, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2018年07月12日 特許庁 / 特許 | 基板搬送装置および基板搬送装置を備える基板処理装置 FI分類-B24B 37/26, FI分類-B24B 57/02, FI分類-B65G 39/04, FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/304 621 B, FI分類-H01L 21/304 622 K |
2018年07月09日 特許庁 / 特許 | 排ガス処理装置 FI分類-F23G 7/06 N, FI分類-F23G 7/06 101 D |
2018年07月06日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2018年07月05日 特許庁 / 特許 | 治具、及び治具を用いた設置方法 FI分類-H01L 21/68 P, FI分類-H01L 21/304 621 B, FI分類-H01L 21/304 622 J, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 B, FI分類-H01L 21/304 644 C |
2018年06月28日 特許庁 / 特許 | ポンプ選定装置、ポンプ選定システム、およびポンプ選定方法 FI分類-F04D 15/00 Z |
2018年06月28日 特許庁 / 特許 | ポンプ選定図作成装置、およびポンプ選定装置 FI分類-F04D 15/00 F |
2018年06月27日 特許庁 / 特許 | 基板研磨装置のための研磨パッドおよび当該研磨パッドを備える基板研磨装置 FI分類-B24B 37/20, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/013, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2018年06月27日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/08 G |
2018年06月27日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ FI分類-C25D 17/06 H, FI分類-C25D 17/08 G |
2018年06月26日 特許庁 / 特許 | ポンプシステム、およびポンプ駆動機用の冷却システム FI分類-F04D 13/00 F, FI分類-F04D 29/58 D |
2018年06月25日 特許庁 / 特許 | 流体の漏洩を確認する方法、および研磨装置 FI分類-B24B 37/34, FI分類-B24B 57/02, FI分類-G05D 7/06 Z, FI分類-B24B 37/00 K, FI分類-H01L 21/304 622 Z |
2018年06月25日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ及びめっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/08 S |
2018年06月22日 特許庁 / 特許 | 渦電流センサの軌道を特定する方法、基板の研磨の進行度を算出する方法、基板研磨装置の動作を停止する方法および基板研磨の進行度を均一化する方法、これらの方法を実行するためのプログラムならびに当該プログラムが記録された非一過性の記録媒体 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 37/013, FI分類-H01L 21/304 622 K, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2018年06月21日 特許庁 / 特許 | めっき装置、及びめっき方法 FI分類-C25D 17/08 R, FI分類-C25D 17/10 A |
2018年06月20日 特許庁 / 特許 | 研磨パッドの研磨面の温度を調整するための熱交換器、該熱交換器を備えた研磨装置、該熱交換器を用いた基板の研磨方法、および研磨パッドの研磨面の温度を調整するためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 FI分類-B24B 37/34, FI分類-B24B 37/015, FI分類-B24B 55/02 B, FI分類-H01L 21/304 622 F, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2018年06月20日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、研磨方法、及び研磨制御プログラム FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-B24B 37/005 A, FI分類-H01L 21/304 622 K |
2018年06月13日 特許庁 / 特許 | パージ方法、パージのための制御装置、および制御装置を備えるシステム FI分類-B01F 5/04, FI分類-C02F 1/78, FI分類-B01F 1/00 A, FI分類-C01B 15/10 Z |
2018年06月05日 特許庁 / 特許 | めっき方法、めっき装置、及び限界電流密度を推定する方法 FI分類-C25D 21/12 A |
2018年06月05日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置の羽根車隙間調整方法 FI分類-F04D 5/00 F, FI分類-F04D 29/60 B |
2018年06月05日 特許庁 / 特許 | 制御装置、制御システム、制御方法、プログラム及び機械学習装置 FI分類-F04B 37/16 A, FI分類-F04C 25/02 K, FI分類-F04C 25/02 M, FI分類-F04C 25/02 N, FI分類-F04B 49/06 341 E, FI分類-F04B 49/06 341 J |
2018年06月01日 特許庁 / 特許 | Ni-Fe基合金粉末、及び当該Ni-Fe基合金粉末を用いる合金皮膜の製造方法 FI分類-C23C 4/06, FI分類-C23C 4/18, FI分類-C22C 30/00, FI分類-B22F 1/00 M, FI分類-B22F 1/00 T, FI分類-B22F 7/04 G, FI分類-C22C 19/05 B, FI分類-C22C 38/00 302 X |
2018年05月31日 特許庁 / 特許 | ポンプ設備およびポンプ設備の点検方法 FI分類-F04D 13/00 A, FI分類-F04D 29/08 B, FI分類-F04D 29/60 D |
2018年05月31日 特許庁 / 特許 | ポンプ設備およびポンプ設備の維持管理方法 FI分類-B66C 1/62 A, FI分類-F04D 13/00 D, FI分類-F04D 13/16 Y, FI分類-F04D 29/08 B, FI分類-F04D 29/64 A |
2018年05月31日 特許庁 / 特許 | 給水装置を制御するための制御ユニット、及び給水装置 FI分類-F04D 15/00 G |
2018年05月31日 特許庁 / 特許 | 給水装置を制御するための制御ユニット、及び給水装置 FI分類-F04D 15/00 G |
2018年05月30日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-F04B 49/10 311 |
2018年05月29日 特許庁 / 特許 | 高高度到達装置 FI分類-B64B 1/02, FI分類-B64B 1/06, FI分類-B64B 1/40, FI分類-B64F 3/00, FI分類-B64F 3/02, FI分類-B64D 17/02, FI分類-B64D 25/00, FI分類-B64D 27/04, FI分類-B64D 27/10, FI分類-B64D 27/16, FI分類-B64D 27/24, FI分類-B64G 1/00 G, FI分類-B64G 1/00 H |
2018年05月29日 特許庁 / 特許 | ポンプシステム FI分類-E03F 5/22, FI分類-E03F 5/10 Z, FI分類-F04D 13/08 K, FI分類-F04D 15/00 B, FI分類-F04D 29/60 B |
2018年05月29日 特許庁 / 特許 | ポンプシステム FI分類-E03F 5/22, FI分類-E03F 5/10 Z, FI分類-F04D 13/08 G |
2018年05月29日 特許庁 / 特許 | ポンプ設備及びポンプ設備の管理方法 FI分類-F04D 13/16 X, FI分類-F04D 15/00 D, FI分類-F04D 15/00 H, FI分類-F04D 15/00 Z |
2018年05月21日 特許庁 / 特許 | 基板保持装置、基板研磨装置、弾性部材および基板保持装置の製造方法 FI分類-B24B 37/30 A, FI分類-H01L 21/304 622 J, FI分類-H01L 21/304 622 K |
2018年05月18日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 648 A |
2018年05月11日 特許庁 / 特許 | バンプ高さ検査装置、基板処理装置、バンプ高さ検査方法、記憶媒体 FI分類-C25D 21/12 C, FI分類-G01B 11/02 H, FI分類-H01L 21/304 651 B, FI分類-H01L 21/304 651 Z |
2018年05月10日 特許庁 / 特許 | 検査装置及び検査方法 FI分類-G06T 7/521, FI分類-G01B 11/25 H, FI分類-G01N 21/88 J, FI分類-G06T 7/00 130, FI分類-G06T 7/00 610, FI分類-G06T 7/00 350 C |
2018年05月08日 特許庁 / 特許 | 光透過性部材、研磨パッドおよび基板研磨装置 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 37/26, FI分類-B24B 37/013 |
2018年05月07日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/12 Z, FI分類-C25D 21/00 A, FI分類-C25D 21/00 C, FI分類-C25D 21/00 J, FI分類-C25D 21/10 301, FI分類-C25D 17/10 101 A |
2018年04月27日 特許庁 / 特許 | 検査方法、検査装置、及びこれを備えためっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/00 K, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 21/12 C, FI分類-C25D 21/12 D |
2018年04月27日 特許庁 / 特許 | 解析パラメータの推定方法 FI分類-G06Q 10/04, FI分類-G06Q 50/04, FI分類-G06F 17/50 604 A |
2018年04月27日 特許庁 / 特許 | 燃焼炉の燃焼状態の推定方法、燃焼炉の燃焼制御方法、および燃焼炉の燃焼制御装置 FI分類-F23G 5/50 C, FI分類-F23G 5/50 E, FI分類-F23G 5/50 N, FI分類-F23G 5/50 ZABQ |
2018年04月25日 特許庁 / 特許 | ポンプ設備に使用されるケーブル支持装置 FI分類-H02G 1/10, FI分類-H02G 9/00, FI分類-F04D 13/08 N, FI分類-F04D 13/08 V, FI分類-F04D 29/60 C |
2018年04月20日 特許庁 / 特許 | 電磁石制御装置および電磁石システム FI分類-H01F 7/20 Z, FI分類-H05H 1/46 A, FI分類-H01L 21/302 101 B, FI分類-H01L 21/302 101 G |
2018年04月19日 特許庁 / 特許 | ライナーリングを備えたポンプのケーシングの補修方法 FI分類-F04D 29/16 |
2018年04月18日 特許庁 / 特許 | 研磨装置及び基板処理装置 FI分類-B24B 49/14, FI分類-B24B 55/12, FI分類-B24B 37/013, FI分類-B24B 37/015, FI分類-B24B 37/12 A, FI分類-B24B 55/02 B, FI分類-H01L 21/304 622 F |
2018年04月17日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ及びめっき装置 FI分類-C25D 17/06 D, FI分類-C25D 17/08 G, FI分類-C25D 17/08 R, FI分類-C25D 17/08 S |
2018年04月17日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ及びめっき装置 FI分類-C25D 17/08 G, FI分類-C25D 17/08 R |
2018年04月16日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置および基板保持装置 FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 621 B, FI分類-H01L 21/304 622 H, FI分類-H01L 21/304 644 B, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 644 G, FI分類-H01L 21/304 644 Z |
2018年04月12日 特許庁 / 特許 | 有線ドローンシステム FI分類-B64F 3/02, FI分類-B64C 27/08, FI分類-B64C 39/02, FI分類-B64D 27/24, FI分類-B64D 47/00 |
2018年04月11日 特許庁 / 特許 | 有線ドローンシステム FI分類-B64C 27/08, FI分類-B64C 37/02, FI分類-B64D 27/24, FI分類-B64D 39/00 |
2018年04月05日 特許庁 / 特許 | 給水システム及び給水装置 FI分類-F04D 15/00 F, FI分類-F04B 49/08 311, FI分類-F04B 49/06 321 A |
2018年04月05日 特許庁 / 特許 | 洗浄液供給システム、基板処理装置および基板処理システム FI分類-H01L 21/304 648 F, FI分類-H01L 21/304 648 G, FI分類-H01L 21/304 648 K |
2018年04月05日 特許庁 / 特許 | 横軸ポンプ装置 FI分類-F04D 29/70 G, FI分類-F04D 29/046 B |
2018年03月28日 特許庁 / 特許 | 軸継手および該軸継手を備えた回転装置 FI分類-F16D 1/033, FI分類-F04D 29/044, FI分類-F16D 1/04 200, FI分類-F16D 1/05 100 |
2018年03月27日 特許庁 / 特許 | 回転機器のための保護カバー及びこれを備える回転機器 FI分類-F04C 15/00 K, FI分類-F04C 15/00 L, FI分類-F04D 13/02 Z, FI分類-F04D 29/42 E, FI分類-F04D 29/60 B |
2018年03月27日 特許庁 / 特許 | 基板保持装置およびドライブリングの製造方法 FI分類-B24B 37/32 A, FI分類-H01L 21/304 622 G |
2018年03月27日 特許庁 / 特許 | 洗浄装置、これを備えためっき装置、及び洗浄方法 FI分類-G01B 7/06 M, FI分類-C25D 19/00 D, FI分類-C25D 21/12 C, FI分類-H01L 21/304 648 G, FI分類-H01L 21/304 651 G |
2018年03月26日 特許庁 / 特許 | フランジ分解用押しボルト FI分類-B25B 27/16, FI分類-F16B 35/00 R, FI分類-F16B 35/00 T, FI分類-F16B 35/00 Y |
2018年03月22日 特許庁 / 特許 | ポンプ設備に使用されるケーブル保持装置 FI分類-H02G 9/00, FI分類-F04D 13/08 U |
2018年03月22日 特許庁 / 特許 | カスケードポンプ FI分類-F04D 5/00 G, FI分類-H02K 7/14 B, FI分類-F04D 13/06 J |
2018年03月20日 特許庁 / 特許 | 点検用の歩廊を備えたポンプシステム FI分類-F16M 1/00 N, FI分類-F04D 13/00 A, FI分類-F04D 29/60 D |
2018年03月15日 特許庁 / 特許 | 横軸ポンプ FI分類-F04D 29/70 G, FI分類-F16C 17/02 Z, FI分類-F16C 33/20 A, FI分類-F04D 29/046 A |
2018年03月15日 特許庁 / 特許 | 横軸ポンプ FI分類-F16C 17/14, FI分類-F16C 17/02 Z, FI分類-F16C 33/10 Z, FI分類-F16C 33/14 Z, FI分類-F16C 35/02 C, FI分類-F04D 29/046 A, FI分類-F04D 29/046 D |
2018年03月15日 特許庁 / 特許 | ポンプ設備及びポンプ設備の管理方法 FI分類-F02D 29/04 F, FI分類-F02D 45/00 358 K, FI分類-F02D 45/00 364 N, FI分類-F02D 45/00 364 Q, FI分類-F02M 37/00 301 B, FI分類-F02M 37/00 301 R |
2018年03月15日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置、及び基板洗浄方法 FI分類-B08B 1/00, FI分類-B08B 3/02 B, FI分類-B08B 3/04 A, FI分類-H01L 21/304 644 A, FI分類-H01L 21/304 644 Z |
2018年03月08日 特許庁 / 特許 | 真空用接続機構、電子光学装置 FI分類-H01J 37/16, FI分類-H01J 37/18, FI分類-F04D 19/04 G, FI分類-F04D 19/04 Z |
2018年03月08日 特許庁 / 特許 | 弾性膜、基板保持装置、及び研磨装置 FI分類-B24B 37/30 C, FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-H01L 21/304 622 H, FI分類-H01L 21/304 622 K |
2018年03月08日 特許庁 / 特許 | 多段ポンプ FI分類-F16L 55/05, FI分類-F04D 1/08 Z, FI分類-F04D 29/041, FI分類-F16L 55/045, FI分類-F04D 29/12 B, FI分類-F04D 29/60 B |
2018年03月05日 特許庁 / 特許 | ポンプ設備及びポンプ設備の運転方法 FI分類-F04D 15/00 D |
2018年03月02日 特許庁 / 特許 | 水中モータポンプ FI分類-H02K 5/22, FI分類-H02K 11/33, FI分類-H02K 5/128, FI分類-H02K 5/132, FI分類-H02K 7/14 B, FI分類-F04D 13/08 U |
2018年03月01日 特許庁 / 特許 | めっき液を撹拌するために用いるパドルおよびパドルを備えるめっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 21/10 301 |
2018年02月27日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置およびポンプ装置のメンテナンス方法 FI分類-F04D 29/08 C, FI分類-F04D 29/043 Z |
2018年02月26日 特許庁 / 特許 | 真空ポンプシステム、および真空ポンプシステムの制御方法 FI分類-F04B 49/06 341 J, FI分類-F04B 49/10 331 P |
2018年02月26日 特許庁 / 特許 | 湿式除害装置 FI分類-B01D 47/12, FI分類-B01D 53/78, FI分類-B01D 47/00 D, FI分類-B01D 47/02 B, FI分類-B01D 47/06 B, FI分類-B01D 47/06 Z, FI分類-F04B 37/16 H, FI分類-B01D 53/18 110, FI分類-B01D 53/18 150, FI分類-B01D 53/38 ZAB, FI分類-B01D 53/92 331 |
2018年02月26日 特許庁 / 特許 | 燃料供給システム、ポンプ設備、及び燃料供給システムの管理運転方法 FI分類-F02M 37/00 301 B, FI分類-F02M 37/00 311 H, FI分類-F02M 37/00 331 D |
2018年02月23日 特許庁 / 特許 | ガス溶解液製造装置 FI分類-B01F 1/00 A, FI分類-B01F 15/02 A |
2018年02月23日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 643 D, FI分類-H01L 21/304 644 C |
2018年02月23日 特許庁 / 特許 | 遠心ポンプ FI分類-F04D 7/04 D, FI分類-F04D 7/04 H, FI分類-F04D 29/42 A |
2018年02月23日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 FI分類-H01L 21/304 643 D, FI分類-H01L 21/304 644 C |
2018年02月22日 特許庁 / 特許 | インバータユニットおよび電動機組立体 FI分類-H02K 11/33, FI分類-H02K 9/22 Z, FI分類-H02M 7/48 Z |
2018年02月22日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 17/10 A |
2018年02月20日 特許庁 / 特許 | モータポンプ FI分類-H02K 5/04, FI分類-F04D 13/06 E, FI分類-F04D 13/06 J |
2018年02月15日 特許庁 / 特許 | 昇圧方法、昇圧システム、昇圧装置および昇圧プログラム FI分類-H01J 37/18, FI分類-H01J 37/248 B |
2018年02月14日 特許庁 / 特許 | ウィーンフィルタ、電子光学装置 FI分類-H01J 37/05 |
2018年02月13日 特許庁 / 特許 | 基板保持部材、基板処理装置、基板処理装置の制御方法、プログラムを格納した記憶媒体 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/02, FI分類-C25D 17/00 K, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/08 G, FI分類-C25D 17/08 S, FI分類-C25D 21/12 C, FI分類-H01L 21/68 N |
2018年02月06日 特許庁 / 特許 | 位置決めピンの位置調整に使用される治具セット FI分類-B23Q 3/18 B, FI分類-H01L 21/68 N |
2018年02月02日 特許庁 / 特許 | 情報処理装置、情報処理システム、情報処理方法、プログラム及び基板処理装置 FI分類-F04B 51/00 |
2018年01月31日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置の制御ユニット、ポンプ装置、および、ポンプ装置における可変速制御手段のセットアップ異常を判定する方法 FI分類-H02P 5/74, FI分類-H02P 27/06, FI分類-H02M 7/48 J, FI分類-F04D 15/00 A, FI分類-F04D 15/00 F |
2018年01月30日 特許庁 / 特許 | 渦抑制装置を備えたポンプ FI分類-F04D 13/00 A, FI分類-F04D 29/66 F |
2018年01月30日 特許庁 / 特許 | 渦抑制装置を備えたポンプ FI分類-F04D 13/00 A, FI分類-F04D 29/66 F |
2018年01月29日 特許庁 / 特許 | 自吸ポンプ及びポンプユニット FI分類-H02K 7/14 B, FI分類-F04D 15/00 F, FI分類-F04D 15/00 H, FI分類-F04D 9/02 101 B |
2018年01月29日 特許庁 / 特許 | 偏向感度算出方法および偏向感度算出システム FI分類-H01J 37/04 A, FI分類-G03F 7/20 504, FI分類-H01J 37/305 B, FI分類-H01L 21/30 541 D |
2018年01月29日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置、基板処理装置の制御装置、基板処理装置の制御方法、プログラムを格納した記憶媒体 FI分類-H01L 21/02 Z, FI分類-H01L 21/68 A |
2018年01月24日 特許庁 / 特許 | 研磨方法および研磨装置 FI分類-B24B 47/22, FI分類-B24B 49/00, FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 9/00 601 G, FI分類-H01L 21/304 622 Y |
2018年01月22日 特許庁 / 特許 | ライナーリング、および該ライナーリングを備えたポンプ、並びにライナーリングの交換方法 FI分類-F04D 29/16, FI分類-F04D 29/42 G, FI分類-F16J 15/00 C, FI分類-F16J 15/00 D |
2018年01月22日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置 FI分類-F04D 15/00 F, FI分類-F04D 15/00 J |
2018年01月22日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置 FI分類-F04D 15/00 F, FI分類-F04D 15/00 J |
2018年01月22日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置 FI分類-F04D 15/00 F, FI分類-F04D 15/00 J |
2018年01月22日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置 FI分類-F04D 15/00 F, FI分類-F04D 15/00 J |
2018年01月18日 特許庁 / 特許 | 研磨装置 FI分類-B24B 37/34, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/013, FI分類-G01B 11/06 G, FI分類-B24B 37/005 Z, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2018年01月18日 特許庁 / 特許 | 検査用基板を用いる電流測定モジュールおよび検査用基板 FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 21/00 E, FI分類-C25D 21/12 C |
2018年01月11日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置及び制御方法 FI分類-B24B 49/16, FI分類-B65H 26/08, FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 621 E |
2018年01月05日 特許庁 / 特許 | フェースアップ式の研磨装置のための研磨ヘッド、当該研磨ヘッドを備える研磨装置および当該研磨装置を用いた研磨方法 FI分類-B24B 57/02, FI分類-B24B 37/12 Z, FI分類-H01L 21/304 622 E |
2017年12月28日 特許庁 / 特許 | 粉体供給装置及びめっきシステム FI分類-B65G 65/46 B, FI分類-C25D 17/00 K, FI分類-C25D 21/14 E, FI分類-B01J 4/00 105 D |
2017年12月28日 特許庁 / 特許 | 電動機組立体 FI分類-H02P 29/028, FI分類-F04B 53/00 J, FI分類-F04D 15/00 A, FI分類-F04D 15/00 J, FI分類-F04B 49/02 331 F |
2017年12月28日 特許庁 / 特許 | 粉体供給装置及びめっきシステム FI分類-B65G 65/30 B, FI分類-C25D 17/00 L, FI分類-C25D 21/14 E, FI分類-C25D 21/14 F |
2017年12月28日 特許庁 / 特許 | 粉体供給装置及びめっきシステム FI分類-B65G 65/30 B, FI分類-C25D 17/00 L, FI分類-C25D 21/14 E, FI分類-C25D 21/14 F |
2017年12月26日 特許庁 / 特許 | 渦巻きポンプ用ケーシング及び渦巻きポンプ FI分類-F04D 7/04 H, FI分類-F04D 7/04 M, FI分類-F04D 29/42 A, FI分類-F04D 29/70 G |
2017年12月25日 特許庁 / 特許 | ガス溶解液製造装置 FI分類-B01F 5/10, FI分類-C02F 1/30, FI分類-B01F 1/00 A, FI分類-B01F 3/04 A, FI分類-B01F 5/00 D, FI分類-C02F 1/02 B, FI分類-C02F 1/58 H, FI分類-B01F 15/02 A, FI分類-B01F 15/04 A |
2017年12月25日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-F04B 51/00, FI分類-F04D 15/00 A, FI分類-F04D 15/00 D, FI分類-F04D 15/00 L, FI分類-F04B 49/10 311, FI分類-F04B 49/06 321 Z, FI分類-G05B 23/02 301 P |
2017年12月25日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-E03B 5/02, FI分類-F04B 23/00 Z |
2017年12月25日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置、めっき装置、及び基板処理方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C23C 18/18, FI分類-C23C 18/16 B, FI分類-C23C 18/31 E, FI分類-C25D 17/00 L, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/08 G, FI分類-C25D 17/08 R |
2017年12月25日 特許庁 / 特許 | カップリングガードおよび機械装置 FI分類-F16D 3/84 A, FI分類-F04D 29/04 Z, FI分類-F04D 29/62 A |
2017年12月25日 特許庁 / 特許 | カップリングガードおよび機械装置 FI分類-F16D 3/84 A, FI分類-F04D 29/04 Z, FI分類-F04D 29/62 A |
2017年12月22日 特許庁 / 特許 | センサデバイス、制御装置及び固有アドレス設定方法 FI分類-F04D 15/00 Z, FI分類-G01D 11/00 S, FI分類-G01D 21/00 Q |
2017年12月22日 特許庁 / 特許 | 液切リング及びこれを備えるポンプ FI分類-F16J 15/54, FI分類-F04D 29/08 B, FI分類-F04D 29/08 C, FI分類-F04D 29/10 Z |
2017年12月21日 特許庁 / 特許 | 羽根車及びこれを備えたポンプ FI分類-F04D 7/04 J, FI分類-F04D 7/04 S, FI分類-F04D 29/24 B, FI分類-F04D 29/24 C, FI分類-F04D 29/24 F, FI分類-F04D 29/70 G |
2017年12月21日 特許庁 / 特許 | 研磨パッドの温度を調整するためのパッド温調機構および研磨装置 FI分類-B24B 49/14, FI分類-B24B 37/015, FI分類-B24B 37/12 D, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2017年12月20日 特許庁 / 特許 | 研磨ヘッドおよび研磨装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 21/00 Z, FI分類-H01L 21/304 621 C |
2017年12月20日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置、基板処理装置の制御方法、プログラムを格納した記憶媒体 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-B24B 37/005 Z, FI分類-H01L 21/304 622 K |
2017年12月15日 特許庁 / 特許 | 非接触環状シール、遠心ポンプ、インペラリング、及びケーシングリング FI分類-F04D 29/16, FI分類-F16J 15/44 Z |
2017年12月15日 特許庁 / 特許 | パドルに取り付け可能な消波部材および消波部材を備えるめっき装置 FI分類-B01F 11/00 A, FI分類-C25D 21/00 D, FI分類-C25D 21/10 301 |
2017年12月14日 特許庁 / 特許 | 渦防止装置を備えたポンプ FI分類-F04D 13/00 A, FI分類-F04D 29/66 F |
2017年12月13日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置、基板処理装置の制御方法、プログラムを格納した記憶媒体 FI分類-C25D 17/00 K, FI分類-C25D 17/06 D, FI分類-H01L 21/02 Z, FI分類-H01L 21/68 F |
2017年12月11日 特許庁 / 特許 | 洗浄薬液供給装置、洗浄ユニット、及びプログラムを格納した記憶媒体 FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 648 G, FI分類-H01L 21/304 648 K |
2017年12月07日 特許庁 / 特許 | 画像生成装置および画像生成方法 FI分類-G06T 15/04 |
2017年12月06日 特許庁 / 特許 | 半導体製造装置の設計方法 FI分類-H01L 21/304 621 D |
2017年12月06日 特許庁 / 特許 | ポンプ設備 FI分類-F04D 13/00 A, FI分類-F04D 29/08 A, FI分類-F04D 29/60 D |
2017年12月05日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、及び研磨方法 FI分類-B24B 49/16, FI分類-B24B 37/013, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2017年12月05日 特許庁 / 特許 | 汚水用ポンプ FI分類-F04D 7/04 C, FI分類-F04D 7/04 H, FI分類-F04D 7/04 J, FI分類-F04D 7/04 M, FI分類-F04D 11/00 101 |
2017年11月30日 特許庁 / 特許 | 基板搬送システム、基板処理装置、ハンド位置調整方法 FI分類-B25J 9/22 Z, FI分類-B65G 49/07 C, FI分類-G05B 19/42 D, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/304 622 L |
2017年11月30日 特許庁 / 特許 | すべり軸受装置及びこれを備えたポンプ FI分類-F04D 13/00 D, FI分類-F04D 13/00 L, FI分類-F16C 33/20 A, FI分類-F04D 29/046 A |
2017年11月29日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-B24B 49/08, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-B24B 37/005 A, FI分類-H01L 21/304 622 K |
2017年11月22日 特許庁 / 特許 | 電気めっき装置における給電点の配置の決定方法および矩形の基板をめっきするための電気めっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 21/00 J |
2017年11月21日 特許庁 / 特許 | 弾性膜のヘッド本体への組み付け方法、組み付け治具、および組み付けシステム FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-H01L 21/304 622 H |
2017年11月20日 特許庁 / 特許 | 電動機 FI分類-H02K 5/20, FI分類-H02K 11/33, FI分類-H02K 9/06 C, FI分類-H02K 9/06 G |
2017年11月16日 特許庁 / 特許 | 研磨装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/013, FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 621 E, FI分類-H01L 21/304 622 S, FI分類-H01L 21/304 622 Y |
2017年11月16日 特許庁 / 特許 | ドローンを用いた計測システムおよび計測方法 FI分類-G01P 5/02, FI分類-G01P 5/12 A, FI分類-G01P 5/16 B, FI分類-G01P 5/24 A, FI分類-G01D 21/00 K |
2017年11月14日 特許庁 / 特許 | 検査装置、検査システム、プログラムを記憶した記憶媒体 FI分類-G01B 11/24 A, FI分類-G01B 21/20 101 |
2017年11月14日 特許庁 / 特許 | スクラブ部材の保存容器及びそのパッケージ FI分類-B65D 51/16 100, FI分類-H01L 21/304 644 C |
2017年11月13日 特許庁 / 特許 | ストロンチウムイオン吸着材及びその製造方法 FI分類-B01J 20/30, FI分類-B01J 20/06 C, FI分類-B01J 20/28 Z, FI分類-G21F 9/12 501 D |
2017年11月13日 特許庁 / 特許 | 基板を平坦化するための装置および方法 FI分類-B24B 55/06, FI分類-B24B 53/017, FI分類-B24B 37/00 H, FI分類-B24B 37/00 Z, FI分類-H01L 21/304 601 S, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 X |
2017年11月13日 特許庁 / 特許 | 基板保持装置および基板保持装置を備える基板処理装置 FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-H01L 21/68 G, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 622 G |
2017年11月09日 特許庁 / 特許 | 軸受カバー、カップリングガード、および機械装置 FI分類-F04D 29/044, FI分類-F16D 3/84 A |
2017年11月08日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置および基板処理方法 FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/304 621 B, FI分類-H01L 21/304 621 E, FI分類-H01L 21/304 622 L, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 648 A |
2017年11月07日 特許庁 / 特許 | めっき解析方法、めっき解析システム、及びめっき解析のためのコンピュータプログラム FI分類-C25D 21/12 C, FI分類-G01N 27/26 371 Z, FI分類-G01N 27/416 300 F, FI分類-G01N 27/416 341 B |
2017年11月07日 特許庁 / 特許 | デバイスが形成された基板を個々のチップに分割するための方法および装置 FI分類-B24B 57/00, FI分類-B23K 26/364, FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-H01L 21/78 B, FI分類-H01L 21/78 F, FI分類-H01L 21/78 Q, FI分類-H01L 21/78 V, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 601 Z, FI分類-H01L 21/304 621 D |
2017年11月07日 特許庁 / 特許 | 基板研磨装置および研磨方法 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 39/06, FI分類-B24B 27/00 A, FI分類-B24B 37/12 D, FI分類-B24B 37/005 A, FI分類-H01L 21/304 622 H |
2017年11月06日 特許庁 / 特許 | 研磨方法および研磨装置 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 37/34, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 49/16, FI分類-B24B 37/005 A, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2017年10月31日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-B24B 49/16, FI分類-B24B 37/013, FI分類-B24B 37/005 Z, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2017年10月31日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、および研磨具を押圧する押圧パッド FI分類-B24B 21/08, FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 621 E |
2017年10月31日 特許庁 / 特許 | めっき装置及びめっき方法 FI分類-C25D 17/00 K, FI分類-C25D 21/10 301 |
2017年10月31日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置およびフィルター構造体 FI分類-F04D 13/06 A, FI分類-F04D 29/70 E, FI分類-F04D 29/70 G |
2017年10月27日 特許庁 / 特許 | 基板保持装置並びに基板保持装置を備えた基板処理装置および基板処理方法 FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 622 Q |
2017年10月26日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-E03B 5/02, FI分類-E03B 11/12, FI分類-F04B 49/04, FI分類-E03B 5/00 B, FI分類-F04D 15/00 H, FI分類-F04D 15/00 J, FI分類-F04B 49/02 311 |
2017年10月25日 特許庁 / 特許 | 研磨装置 FI分類-B24B 21/06, FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 621 B |
2017年10月24日 特許庁 / 特許 | 研磨方法および研磨装置 FI分類-B24B 37/34, FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/005 A, FI分類-H01L 21/304 622 R, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2017年10月20日 特許庁 / 特許 | ポンプ、ポンプ装置、及びポンプ装置の分解方法 FI分類-F04D 29/044, FI分類-F04D 29/60 E, FI分類-F04D 29/043 A |
2017年10月19日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、及び研磨方法 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 57/00, FI分類-B24B 37/013, FI分類-G01B 11/06 G, FI分類-H01L 21/304 622 E, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2017年10月19日 特許庁 / 特許 | 研磨装置 FI分類-B24B 37/34, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/013, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2017年10月12日 特許庁 / 特許 | 燃料供給システムおよび燃料供給方法 FI分類-F02M 37/08 A, FI分類-F02M 37/08 J, FI分類-F02M 37/00 301 B, FI分類-F02M 37/00 301 R |
2017年10月12日 特許庁 / 特許 | めっき装置及びめっき方法 FI分類-C25D 17/00 Z, FI分類-C25D 21/00 D, FI分類-C25D 21/10 301 |
2017年10月11日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄方法 FI分類-H01L 21/304 642 A, FI分類-H01L 21/304 642 F |
2017年10月04日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 FI分類-G01Q 60/46, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2017年09月29日 特許庁 / 特許 | ポンプ及びポンプ組立体 FI分類-F04D 29/42 E, FI分類-F04D 29/46 A, FI分類-F04D 29/60 E |
2017年09月27日 特許庁 / 特許 | 研磨方法および研磨装置 FI分類-B24B 47/26, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-H01L 21/304 631 |
2017年09月22日 特許庁 / 特許 | 遠心ポンプ FI分類-F04D 29/041, FI分類-F04D 29/22 C, FI分類-F04D 29/22 E, FI分類-F04D 29/60 E, FI分類-F04D 15/00 101 B |
2017年09月22日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-C25D 21/12 A |
2017年09月19日 特許庁 / 特許 | ブレークイン装置及びブレークインシステム FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 644 Z |
2017年09月19日 特許庁 / 特許 | ポンプ FI分類-F04B 53/00 Z, FI分類-F04D 29/00 Z, FI分類-F04D 29/60 B |
2017年09月15日 特許庁 / 特許 | 情報処理装置、情報処理システム、情報処理方法及びプログラム FI分類-F04B 37/16 A, FI分類-G05B 23/02 301 Y |
2017年09月11日 特許庁 / 特許 | 給水装置、および給水装置の試験運転方法 FI分類-F04B 51/00 |
2017年09月08日 特許庁 / 特許 | 配管システム、ポンプ、および配管システムの組み立て方法 FI分類-F16L 27/12 Z |
2017年09月05日 特許庁 / 特許 | 機能性チップを備える基板を研磨する方法 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 49/16, FI分類-B24B 37/013, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2017年09月05日 特許庁 / 特許 | 機能性チップを備える基板を研磨する方法 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/013, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2017年09月01日 特許庁 / 特許 | 防食システムおよび防食方法 FI分類-C23F 13/22, FI分類-C23F 13/02 B, FI分類-C23F 13/02 M |
2017年09月01日 特許庁 / 特許 | モータ及びポンプ装置 FI分類-H02K 5/132, FI分類-F04D 7/06 A, FI分類-H02K 3/34 Z, FI分類-H02K 7/14 B, FI分類-F04D 29/00 B |
2017年08月31日 特許庁 / 特許 | 基板を研磨する方法および装置 FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 622 Y |
2017年08月29日 特許庁 / 特許 | 立軸ポンプ FI分類-F04D 9/00 A, FI分類-F04D 13/00 A, FI分類-F04D 29/58 D |
2017年08月29日 特許庁 / 特許 | シールシステム FI分類-F04D 29/14, FI分類-F04D 29/12 B, FI分類-F04D 29/58 E, FI分類-F16J 15/34 Z |
2017年08月29日 特許庁 / 特許 | シールシステム FI分類-F04D 29/12 B, FI分類-F16J 15/34 J |
2017年08月29日 特許庁 / 特許 | シールシステム FI分類-F04D 29/12 B, FI分類-F16J 15/34 B |
2017年08月28日 特許庁 / 特許 | 単相誘導電動機 FI分類-H02P 1/44 |
2017年08月25日 特許庁 / 特許 | スイッチドリラクタンスモータおよび発電機などの回転電力機械のセンサレス駆動装置、並びに該センサレス駆動装置および回転電力機械を備えた回転システム FI分類-H02P 25/089 |
2017年08月21日 特許庁 / 特許 | 基板研磨装置および基板研磨装置における研磨液吐出方法 FI分類-B24B 47/26, FI分類-B24B 55/06, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 37/00 K, FI分類-H01L 21/304 622 E, FI分類-H01L 21/304 622 Q |
2017年08月17日 特許庁 / 特許 | 基板を研磨する方法および装置 FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-B24B 55/02 B, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 C, FI分類-H01L 21/304 622 F |
2017年08月16日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置および基板を基板処理装置のテーブルから離脱させる方法 FI分類-B24B 37/34, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 622 Q |
2017年08月10日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 C |
2017年08月10日 特許庁 / 特許 | 排ガス処理装置用のバーナヘッドおよびその製造方法、ならびに、排ガス処理装置用の燃焼室、その製造方法およびメンテナンス方法 FI分類-F23D 14/24 ZABE, FI分類-F23G 7/06 101 D |
2017年08月09日 特許庁 / 特許 | 騒音防止システム、除塵システム、騒音防止方法 FI分類-B65G 19/00 Z, FI分類-E02B 5/08 104 Z |
2017年08月09日 特許庁 / 特許 | 基板加工方法および基板加工装置 FI分類-B23K 26/53, FI分類-B24B 1/00 Z, FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 9/00 601 G, FI分類-H01L 21/304 601 Z |
2017年08月08日 特許庁 / 特許 | 基板研磨装置及び方法 FI分類-B24B 37/34, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/013, FI分類-H01L 21/304 622 R, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2017年08月04日 特許庁 / 特許 | 画面制御プログラムおよび半導体製造装置 FI分類-H01L 21/02 Z, FI分類-G06F 3/14 350 B, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2017年07月24日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置および基板処理方法 FI分類-B24B 57/02, FI分類-B24B 37/32 Z, FI分類-H01L 21/304 622 D, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2017年07月24日 特許庁 / 特許 | 風速信号処理装置、風速信号処理システムおよび風速信号処理方法 FI分類-G01P 5/00 F, FI分類-G01P 5/12 M |
2017年07月24日 特許庁 / 特許 | 基板研磨装置及び方法 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/013, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2017年07月24日 特許庁 / 特許 | 研磨装置および研磨方法 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 57/02, FI分類-B24B 37/013, FI分類-G01B 11/06 101 G, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2017年07月24日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置、および基板に形成された切り欠きを検出する方法 FI分類-H01L 21/68 F, FI分類-H01L 21/304 644 C |
2017年07月20日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置 FI分類-F04D 15/00 Z |
2017年07月19日 特許庁 / 特許 | ポンプ FI分類-F04D 13/00 F, FI分類-F04D 29/60 D, FI分類-F04D 29/64 A, FI分類-F04D 29/66 D |
2017年07月14日 特許庁 / 特許 | 制御装置、制御方法、プログラム及び異常検知システム FI分類-F04D 9/04 D, FI分類-F04D 15/00 H, FI分類-F04D 15/00 L, FI分類-G01F 23/00 Z |
2017年07月14日 特許庁 / 特許 | 基板保持装置 FI分類-B25J 15/06 Z, FI分類-B65G 49/06 A, FI分類-B65G 49/07 H, FI分類-H01L 21/68 C |
2017年07月14日 特許庁 / 特許 | 膜厚測定装置、研磨装置、および研磨方法 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/013, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-G01B 11/06 G, FI分類-H01L 21/66 P, FI分類-B24B 37/005 Z, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2017年07月11日 特許庁 / 特許 | レギュレーションプレート、アノードホルダ、及び基板ホルダ FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-H01L 21/68 N |
2017年07月06日 特許庁 / 特許 | ポンプユニット FI分類-H05K 7/20 G, FI分類-H05K 7/20 H, FI分類-F04D 29/58 D, FI分類-F04D 29/58 F, FI分類-F04D 9/02 101 B |
2017年07月06日 特許庁 / 特許 | 給水装置、給水装置の搬送方法、及び給水装置の搬送用治具 FI分類-F04D 13/06 B, FI分類-F04D 29/60 B, FI分類-F04D 9/02 101 B |
2017年07月05日 特許庁 / 特許 | シリコチタネート成形体及びその製造方法、シリコチタネート成形体を含むセシウム又はストロンチウムの吸着剤、及び当該吸着剤を用いる放射性廃液の除染方法 FI分類-B01J 20/30, FI分類-C01B 33/20, FI分類-B28B 3/20 K, FI分類-C04B 35/462, FI分類-C04B 35/499, FI分類-B01J 20/10 C, FI分類-B01J 20/28 Z, FI分類-G21F 9/12 501 D, FI分類-G21F 9/12 501 J |
2017年07月05日 特許庁 / 特許 | 立軸ポンプ FI分類-F04D 13/00 D, FI分類-F16C 17/02 Z, FI分類-F16C 23/04 B, FI分類-F16C 23/04 Z, FI分類-F04D 29/046 A, FI分類-F04D 29/047 Z |
2017年07月05日 特許庁 / 特許 | 基板研磨装置及び方法 FI分類-B24B 37/34, FI分類-B24B 49/18, FI分類-B24B 53/017 Z, FI分類-H01L 21/304 622 M |
2017年07月04日 特許庁 / 特許 | 消音装置およびこれを組立てる方法 FI分類-F24F 13/02 H, FI分類-F24F 13/24 242, FI分類-G10K 11/16 100 |
2017年07月04日 特許庁 / 特許 | 立軸ポンプ FI分類-F16C 21/00, FI分類-F04D 13/00 D, FI分類-F04D 29/046 A, FI分類-F04D 29/046 D |
2017年07月04日 特許庁 / 特許 | 立軸ポンプ FI分類-F04D 13/00 D, FI分類-F04D 13/00 L, FI分類-F16C 17/02 Z, FI分類-F04D 29/046 A, FI分類-F04D 29/046 B |
2017年06月30日 特許庁 / 特許 | ポンプ設備及びその運転支援方法 FI分類-F04D 15/00 H, FI分類-F04D 15/00 J |
2017年06月30日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-F04B 23/00 Z, FI分類-F04B 53/16 A, FI分類-F04D 13/06 B, FI分類-F04D 13/06 Z, FI分類-F04D 29/60 E, FI分類-F04D 29/66 D |
2017年06月30日 特許庁 / 特許 | システム、給水装置の管理方法、および、管理装置 FI分類-E03B 5/00 B |
2017年06月30日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-E03B 5/00 B, FI分類-F04B 53/00 H |
2017年06月30日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-E03B 5/00 B, FI分類-F04B 23/02 Z, FI分類-F04B 53/00 Z |
2017年06月30日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-E03B 5/00 B, FI分類-E06B 7/22 Z |
2017年06月30日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-E03B 5/00 B, FI分類-F16J 15/06 D |
2017年06月30日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置 FI分類-F04D 15/00 A, FI分類-F04D 29/60 B, FI分類-F04B 49/10 331 N |
2017年06月30日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-E03B 5/00 B, FI分類-F04B 23/02 A, FI分類-F04B 53/00 J |
2017年06月30日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置及びポンプ装置の制御方法 FI分類-F04D 15/00 J, FI分類-F04D 15/00 L |
2017年06月30日 特許庁 / 特許 | 給水装置、および該給水装置に使用される樹脂プレート FI分類-E03B 5/00 B, FI分類-G09F 7/00 M, FI分類-G09F 7/02 G, FI分類-G09F 7/16 F, FI分類-F04B 23/02 A, FI分類-F04B 53/00 H |
2017年06月29日 特許庁 / 特許 | 渦抑止システム及び浮遊体 FI分類-E03F 5/22, FI分類-B63B 35/00 Z, FI分類-F04D 13/16 W, FI分類-F04D 29/66 F |
2017年06月20日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置及びその運転支援方法 FI分類-F04D 9/04 C, FI分類-F04D 15/00 H, FI分類-F04D 15/00 L |
2017年06月16日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/08 Z, FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-C25D 21/00 A, FI分類-C25D 21/12 A, FI分類-C25D 21/14 A |
2017年06月12日 特許庁 / 特許 | ガス溶解液製造装置 FI分類-B01F 5/20, FI分類-B01F 1/00 A, FI分類-B01F 1/00 B, FI分類-B01F 3/04 Z, FI分類-B01F 3/08 Z, FI分類-B01F 5/00 A |
2017年06月12日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 644 A, FI分類-H01L 21/304 648 Z |
2017年06月12日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 644 A, FI分類-H01L 21/304 648 A, FI分類-H01L 21/304 651 B |
2017年06月09日 特許庁 / 特許 | 水中ロボット制御システム及び水中ロボット制御方法 FI分類-G01S 1/80, FI分類-G01S 5/30, FI分類-G01S 15/93, FI分類-G05D 1/00 A, FI分類-B63B 22/00 C, FI分類-B63B 49/00 B, FI分類-B63C 11/00 B, FI分類-B63C 11/00 Z, FI分類-G01S 15/89 B |
2017年06月07日 特許庁 / 特許 | ポンプ点検システム FI分類-A61B 1/05, FI分類-F04B 51/00, FI分類-F04D 13/00 Z, FI分類-G01M 99/00 A, FI分類-G02B 23/24 B, FI分類-A61B 1/00 522, FI分類-A61B 1/00 552, FI分類-A61B 1/045 622 |
2017年06月06日 特許庁 / 特許 | 立軸ポンプ観察装置及び立軸ポンプ観察方法 FI分類-F04B 51/00, FI分類-F04D 13/00 A, FI分類-F04D 29/60 D, FI分類-G02B 23/24 C, FI分類-G02B 23/26 D, FI分類-F04B 49/10 311 |
2017年06月06日 特許庁 / 特許 | 研磨テーブル及びこれを備える研磨装置 FI分類-B24B 37/12 D, FI分類-B24B 55/02 B, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 F |
2017年05月31日 特許庁 / 特許 | 消音ユニットおよびこの消音ユニットを用いた消音構造体 FI分類-E21F 1/00 A, FI分類-F24F 13/02 H, FI分類-F24F 13/02 Z, FI分類-F24F 13/24 242, FI分類-G10K 11/16 100, FI分類-G10K 11/16 110 |
2017年05月30日 特許庁 / 特許 | キャリブレーション方法およびキャリブレーションプログラム FI分類-B24B 49/18, FI分類-B24B 53/02, FI分類-B24B 53/00 A, FI分類-B24B 53/017 Z, FI分類-H01L 21/304 622 M |
2017年05月29日 特許庁 / 特許 | 送水システムおよび送水方法 FI分類-G06Q 50/06, FI分類-G05B 11/18 D, FI分類-E02B 7/20 105 |
2017年05月26日 特許庁 / 特許 | 基板研磨装置および基板研磨方法 FI分類-B24B 37/00 K, FI分類-H01L 21/304 622 D, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2017年05月19日 特許庁 / 特許 | ガス溶解液製造装置 FI分類-C02F 1/78, FI分類-B01F 1/00 A, FI分類-B01F 1/00 B, FI分類-B01F 15/02 C |
2017年05月18日 特許庁 / 特許 | 情報処理装置、基準データ決定装置、情報処理方法、基準データ決定方法及びプログラム FI分類-F04B 51/00, FI分類-F04B 37/16 A, FI分類-F04B 49/10 331 B |
2017年05月18日 特許庁 / 特許 | 情報処理装置、基準データ決定装置、情報処理方法、基準データ決定方法及びプログラム FI分類-F04B 37/16 A, FI分類-F04B 37/16 H, FI分類-H01L 21/02 Z, FI分類-H01L 21/31 B |
2017年05月18日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置、プログラムを記録した記録媒体 FI分類-H01L 21/02 Z, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2017年05月17日 特許庁 / 特許 | 横軸ポンプ FI分類-F04D 29/04 U, FI分類-F04D 29/60 B |
2017年05月17日 特許庁 / 特許 | 研磨装置および研磨方法 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/013, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-G01B 11/06 Z, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2017年05月16日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置および基板処理装置 FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 644 C |
2017年05月15日 特許庁 / 特許 | 映像表示システムおよび映像表示方法 FI分類-G09F 21/06, FI分類-H04N 5/74 C, FI分類-G03B 21/00 D, FI分類-G09F 19/00 D, FI分類-G09F 19/18 Z |
2017年05月15日 特許庁 / 特許 | 研磨装置および研磨方法 FI分類-B24B 41/02, FI分類-B24B 49/08, FI分類-B24B 55/00, FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-H01L 21/304 621 E |
2017年05月10日 特許庁 / 特許 | 洗浄装置および基板処理装置、洗浄装置のメンテナンス方法、並びにプログラム FI分類-H01L 21/304 644 A, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2017年05月01日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置、及びその制御方法 FI分類-B24B 37/34, FI分類-B24B 55/02 Z, FI分類-H01L 21/02 Z, FI分類-B24B 37/005 Z, FI分類-H01L 21/304 622 Z, FI分類-H01L 21/304 648 H |
2017年04月26日 特許庁 / 特許 | 渦発生防止装置およびポンプ設備 FI分類-F04D 13/08 T, FI分類-F04D 29/66 F, FI分類-F04D 29/70 D |
2017年04月26日 特許庁 / 特許 | 渦電流センサのキャリブレーション方法 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 37/013, FI分類-G01B 7/06 M, FI分類-B23Q 17/20 A, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2017年04月24日 特許庁 / 特許 | 基板の研磨装置 FI分類-B24B 49/16, FI分類-B24B 37/013, FI分類-B24B 37/015, FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-B24B 37/32 A, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-H01L 21/304 622 G, FI分類-H01L 21/304 622 K, FI分類-H01L 21/304 622 R, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2017年04月21日 特許庁 / 特許 | 漏れ検査方法、およびこの漏れ検査方法を実行するためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-B24B 37/005 A, FI分類-H01L 21/304 622 G |
2017年04月18日 特許庁 / 特許 | 真空暖房ポンプ装置 FI分類-F22D 7/00, FI分類-F24D 1/08 A, FI分類-F22B 37/26 D, FI分類-F22B 37/26 Z, FI分類-F22D 11/00 K, FI分類-F22D 11/06 Z |
2017年04月18日 特許庁 / 特許 | 中間部材、ポンプ、及びポンプのメンテナンス方法 FI分類-F04D 29/22 C, FI分類-F04D 29/22 H, FI分類-F04D 29/62 A |
2017年04月14日 特許庁 / 特許 | 横軸ポンプ FI分類-F04D 29/04 U, FI分類-F04D 29/58 E, FI分類-F04D 29/046 A |
2017年04月12日 特許庁 / 特許 | 真空式液体収集装置、真空式液体収集装置に用いられる制御装置、及び、真空ポンプを制御する方法 FI分類-E03F 3/02, FI分類-E03F 5/22, FI分類-F04F 3/00 Z, FI分類-F04B 49/06 341 G, FI分類-F04B 49/06 341 J |
2017年04月11日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置、悪臭防止型排水設備、ポンプ FI分類-E03F 5/22, FI分類-E03F 5/10 Z, FI分類-F04D 13/08 M, FI分類-F04D 29/08 A, FI分類-F04D 29/60 C |
2017年04月11日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、及び、研磨方法 FI分類-B24B 49/14, FI分類-B24B 37/015, FI分類-B24B 53/007, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 E, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2017年04月11日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、及び、研磨方法 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 55/06, FI分類-B24B 37/015, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2017年04月07日 特許庁 / 特許 | コイル一体型ヨークおよびその製造方法 FI分類-H01F 7/20 F, FI分類-H01F 41/02 F, FI分類-H01J 37/147 B |
2017年04月07日 特許庁 / 特許 | 電気めっき装置および電気めっき装置における洗浄方法 FI分類-C25D 21/08 |
2017年04月07日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置及び基板処理装置 FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2017年04月05日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置、基板洗浄方法および基板洗浄装置の制御方法 FI分類-H01L 21/304 644 C |
2017年04月05日 特許庁 / 特許 | 半導体製造装置、半導体製造装置の故障予知方法、および半導体製造装置の故障予知プログラム FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 21/12 C, FI分類-C25D 21/12 N |
2017年04月05日 特許庁 / 特許 | 半導体製造装置、半導体製造装置の故障予知方法、および半導体製造装置の故障予知プログラム FI分類-C25D 21/00 A, FI分類-C25D 21/12 D |
2017年04月04日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、及び研磨方法 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 49/16, FI分類-B24B 37/013, FI分類-B24B 53/017 Z, FI分類-H01L 21/304 622 M, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2017年04月04日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、及び研磨方法 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 49/16, FI分類-B24B 37/013, FI分類-H01L 21/304 621 B, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2017年04月04日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、及び研磨方法 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/013, FI分類-H01L 21/304 622 M, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2017年04月04日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、及び研磨方法 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 49/16, FI分類-B24B 37/013, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2017年04月04日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、及び研磨方法 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 49/16, FI分類-B24B 55/06, FI分類-B24B 37/013, FI分類-B24B 37/30 Z, FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/304 622 G, FI分類-H01L 21/304 622 L, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2017年04月03日 特許庁 / 特許 | 液体供給装置及び液体供給方法 FI分類-H01L 21/304 648 G, FI分類-H01L 21/304 648 K |
2017年04月03日 特許庁 / 特許 | めっきシステム、およびめっき方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 21/14 E |
2017年04月03日 特許庁 / 特許 | 液体供給装置及び液体供給方法 FI分類-H01L 21/304 622 E, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 648 G, FI分類-H01L 21/304 648 K |
2017年03月31日 特許庁 / 特許 | 真空吸着パッドおよび基板保持装置 FI分類-B23Q 3/08 A, FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-H01L 21/68 P, FI分類-H01L 21/304 622 H |
2017年03月31日 特許庁 / 特許 | 基板保持装置、基板処理装置、基板処理方法、およびプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 FI分類-B23Q 3/08 A, FI分類-B23Q 17/00 Z, FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 37/30 A, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-B24B 41/06 Z, FI分類-H01L 21/68 P, FI分類-H01L 21/304 622 H |
2017年03月31日 特許庁 / 特許 | 半導体製造装置の動作に関する表示を制御する方法を実行するプログラム、当該方法及び半導体製造装置の動作に関する表示を行うシステム FI分類-H01L 21/02 Z, FI分類-G05B 23/02 301 V, FI分類-H01L 21/304 622 Z |
2017年03月31日 特許庁 / 特許 | めっき方法及びめっき装置 FI分類-H05K 3/18 A, FI分類-H05K 3/18 D, FI分類-H05K 3/18 N |
2017年03月31日 特許庁 / 特許 | 基板保持装置、弾性膜、研磨装置、および弾性膜の交換方法 FI分類-B24B 37/30 C, FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-B24B 37/005 A, FI分類-H01L 21/304 622 H |
2017年03月31日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置および基板処理装置を含む基板処理システム FI分類-C23F 1/08, FI分類-B24B 37/00 E, FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-H01L 21/306 M, FI分類-H01L 21/304 622 C |
2017年03月31日 特許庁 / 特許 | ルーツ型真空ポンプ FI分類-F04C 23/00 D, FI分類-F04C 25/02 K, FI分類-F04C 28/26 Z |
2017年03月31日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-B23Q 15/16, FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-H01L 21/02 Z, FI分類-H01L 21/304 622 K, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2017年03月31日 特許庁 / 特許 | ポンプ、犠牲陽極、犠牲陽極の余寿命予測方法 FI分類-C23F 13/16, FI分類-C23F 13/22, FI分類-G01N 17/02, FI分類-F04D 7/06 D, FI分類-C23F 13/02 A, FI分類-C23F 13/02 M, FI分類-F04D 13/00 L, FI分類-F04D 15/00 Z |
2017年03月30日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置、基板処理装置の制御方法、プログラムを格納した記憶媒体 FI分類-C25D 17/06 D, FI分類-H01L 21/68 A |
2017年03月30日 特許庁 / 特許 | めっき方法及びめっき装置 FI分類-C25D 21/14 E |
2017年03月29日 特許庁 / 特許 | ポンプの制御システムおよび制御方法、ならびに、排水システム FI分類-E03F 1/00 Z, FI分類-F04D 15/00 H, FI分類-F04D 15/00 K, FI分類-F04D 15/00 L |
2017年03月29日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、研磨方法、およびプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2017年03月29日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置用の始動装置 FI分類-H02P 1/28 |
2017年03月28日 特許庁 / 特許 | 基板搬送装置、基板搬送装置の制御装置、基板搬送装置における変位補償方法、当該方法を実施するプログラムおよび当該プログラムが記録された記録媒体 FI分類-B65G 49/07 F, FI分類-H01L 21/68 A |
2017年03月27日 特許庁 / 特許 | 基板処理方法および装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 621 E, FI分類-H01L 21/304 622 Q |
2017年03月27日 特許庁 / 特許 | 排水システム及びサーバ装置 FI分類-E03F 5/22, FI分類-H04Q 9/00 301 B |
2017年03月23日 特許庁 / 特許 | 洗浄装置及び基板処理装置 FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 643 Z, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 648 A |
2017年03月23日 特許庁 / 特許 | 除害機能付ドライ真空ポンプ FI分類-F04C 29/12 D, FI分類-F04C 25/02 ZABA, FI分類-F23G 7/06 101 D |
2017年03月23日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置 FI分類-F04D 13/00 A, FI分類-F04D 29/58 E, FI分類-F04D 29/046 A |
2017年03月22日 特許庁 / 特許 | シール取り付け構造およびポンプ FI分類-F16J 15/38, FI分類-F04D 29/12 B, FI分類-F04D 29/60 E |
2017年03月22日 特許庁 / 特許 | 基板の研磨装置および研磨方法 FI分類-B24B 55/06, FI分類-B24B 53/00 A, FI分類-B24B 53/12 Z, FI分類-B24B 37/005 A, FI分類-B24B 53/017 A, FI分類-B24B 53/017 Z, FI分類-H01L 21/304 622 M |
2017年03月22日 特許庁 / 特許 | めっき装置及びめっき槽構成の決定方法 FI分類-H05K 3/18 N, FI分類-C25D 17/08 R, FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-C25D 21/00 A, FI分類-C25D 21/00 J, FI分類-C25D 21/00 K |
2017年03月22日 特許庁 / 特許 | 給水システム、および、給水システムの制御方法 FI分類-E03B 5/02, FI分類-E03B 11/16, FI分類-F04B 49/06 321 B |
2017年03月22日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置および基板処理方法 FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 644 G |
2017年03月22日 特許庁 / 特許 | 自吸運転検出システムおよびポンプ装置 FI分類-F04D 15/00 A, FI分類-F04D 15/00 F, FI分類-F04D 15/00 Z |
2017年03月21日 特許庁 / 特許 | アノード電極部材及び電気防食システム FI分類-F16L 58/00, FI分類-C23F 13/02 B, FI分類-C23F 13/02 J, FI分類-C23F 13/10 B |
2017年03月21日 特許庁 / 特許 | アノード電極部材、監視装置、及び電気防食システム FI分類-C23F 13/22, FI分類-C23F 13/02 B, FI分類-C23F 13/02 J, FI分類-C23F 13/10 B |
2017年03月16日 特許庁 / 特許 | 陸上ポンプ FI分類-C23F 13/06, FI分類-F04D 7/06 D, FI分類-C23F 13/02 B, FI分類-C23F 13/02 M, FI分類-F04D 29/00 B, FI分類-F04D 29/60 B |
2017年03月16日 特許庁 / 特許 | 基板の表面を研磨する装置および方法 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-B24B 55/02 B, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 621 E, FI分類-H01L 21/304 622 G, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2017年03月14日 特許庁 / 特許 | 基板研磨方法、トップリングおよび基板研磨装置 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 37/30 A, FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-B24B 37/32 Z, FI分類-B24B 37/005 A, FI分類-H01L 21/304 621 B, FI分類-H01L 21/304 622 H, FI分類-H01L 21/304 622 L |
2017年03月14日 特許庁 / 特許 | めっき方法 FI分類-C25D 21/12 E, FI分類-C25D 21/12 Z |
2017年03月14日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 53/017 A, FI分類-B24B 53/017 Z, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 M |
2017年03月14日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 17/00 L, FI分類-C25D 19/00 A, FI分類-C25D 19/00 D, FI分類-C25D 21/12 E |
2017年03月13日 特許庁 / 特許 | 給水装置に配置されるバルブ、およびキャビネット型の給水装置 FI分類-F04B 53/10 A, FI分類-F04D 29/60 B, FI分類-F16K 31/44 H |
2017年03月10日 特許庁 / 特許 | 水中ポンプ FI分類-F04D 13/08 F, FI分類-F04D 13/12 Z, FI分類-F04D 29/12 B, FI分類-F04D 29/58 B |
2017年03月08日 特許庁 / 特許 | アルカリ土類金属イオン吸着剤及びその製造方法並びにアルカリ土類金属イオン含有液処理装置 FI分類-B01J 20/30, FI分類-C02F 1/28 E, FI分類-B01J 20/06 C, FI分類-B01J 20/28 Z, FI分類-C01G 23/00 B, FI分類-G21F 9/12 501 D, FI分類-G21F 9/12 501 J |
2017年03月08日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-F04D 29/58 G, FI分類-F04D 29/60 B |
2017年03月07日 特許庁 / 特許 | 支持体、ポンプ及び支持体の固定方法 FI分類-F04D 29/04 W, FI分類-F04D 29/54 A, FI分類-F04D 29/60 E, FI分類-F04D 29/046 D |
2017年03月07日 特許庁 / 特許 | めっき装置およびめっき方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 21/12 C, FI分類-C25D 21/12 D, FI分類-G01N 27/00 Z, FI分類-G01N 27/04 Z |
2017年03月06日 特許庁 / 特許 | 研磨方法、研磨装置、および基板処理システム FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-H01L 21/304 621 B, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2017年03月06日 特許庁 / 特許 | セルフクリーニング装置、基板処理装置、および洗浄具のセルフクリーニング方法 FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 644 Z |
2017年03月01日 特許庁 / 特許 | 給水装置及び監視システム FI分類-E03B 11/16 |
2017年03月01日 特許庁 / 特許 | 汚水排水設備 FI分類-E03F 5/10, FI分類-E03F 5/22, FI分類-E03C 1/122 Z |
2017年02月28日 特許庁 / 特許 | 光軸調整方法および電子線検査装置 FI分類-H01J 37/05, FI分類-H01J 37/29, FI分類-H01J 37/04 B, FI分類-H01J 37/20 A, FI分類-H01J 37/147 B, FI分類-H01J 37/22 502 H |
2017年02月24日 特許庁 / 特許 | 液封式真空ポンプ FI分類-F04B 37/16 E, FI分類-F04C 19/00 B, FI分類-F04C 25/02 P |
2017年02月22日 特許庁 / 特許 | 遠心ポンプ FI分類-F04D 1/08 A, FI分類-F04D 29/44 A, FI分類-F04D 29/44 E, FI分類-F04D 29/60 E |
2017年02月22日 特許庁 / 特許 | 遠心ポンプ FI分類-F04D 1/08 A, FI分類-F04D 29/44 A, FI分類-F04D 29/44 E, FI分類-F04D 29/60 E |
2017年02月21日 特許庁 / 特許 | めっき装置及びめっき方法 FI分類-C25D 5/34, FI分類-C25D 7/12, FI分類-C23G 3/00 Z, FI分類-C25D 5/02 B, FI分類-C25D 17/00 L, FI分類-C25D 21/12 C |
2017年02月21日 特許庁 / 特許 | めっき装置及びめっき方法 FI分類-C25D 5/34, FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/00 L, FI分類-C25D 17/06 C |
2017年02月20日 特許庁 / 特許 | 立軸ポンプ FI分類-F04D 13/00 F, FI分類-F04D 15/00 L, FI分類-F04D 29/58 D |
2017年02月20日 特許庁 / 特許 | ポンプ FI分類-H02K 7/14 B, FI分類-H02K 9/06 G, FI分類-F04D 13/00 F, FI分類-F04D 29/58 D |
2017年02月20日 特許庁 / 特許 | 立軸ポンプ FI分類-H02K 7/14 B, FI分類-H02K 9/19 Z, FI分類-F04D 13/00 A, FI分類-F04D 29/58 D |
2017年02月20日 特許庁 / 特許 | ポンプシステムおよび排水機場 FI分類-E03F 5/22, FI分類-F04D 13/00 A, FI分類-F04D 13/08 U, FI分類-F04D 13/16 A, FI分類-F04D 13/16 W, FI分類-F04D 15/00 B, FI分類-F04D 15/00 G, FI分類-F04D 15/00 H, FI分類-F04B 49/06 321 A, FI分類-F04B 49/06 321 Z |
2017年02月17日 特許庁 / 特許 | 単相誘導電動機 FI分類-H02P 1/44, FI分類-H02P 25/04 |
2017年02月16日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ、めっき装置、めっき方法、及び電気接点 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/08 G, FI分類-C25D 17/08 R |
2017年02月16日 特許庁 / 特許 | 電子ビームの照射エリア調整方法および同調整システム FI分類-H01J 37/305 Z, FI分類-H01J 37/22 502 B, FI分類-H01J 37/22 502 H |
2017年02月16日 特許庁 / 特許 | 電子ビームの照射エリア調整方法および同調整システム、電子ビームの照射領域補正方法、ならびに、電子ビーム照射装置 FI分類-H01J 37/28 Z, FI分類-H01J 37/147 E, FI分類-H01J 37/305 A, FI分類-H01J 37/22 502 Z |
2017年02月15日 特許庁 / 特許 | 情報処理装置、情報処理システム、情報処理方法及びプログラム FI分類-F04C 25/02 K, FI分類-F04C 28/06 D, FI分類-F04B 49/06 341 G, FI分類-F04B 49/06 341 J |
2017年02月14日 特許庁 / 特許 | 液封式真空ポンプ FI分類-F04C 19/00 B, FI分類-F04C 25/02 P, FI分類-F04C 29/00 D |
2017年02月08日 特許庁 / 特許 | めっき装置およびめっき装置とともに使用される基板ホルダ FI分類-C25D 17/00 C, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/08 Q, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/68 U |
2017年02月07日 特許庁 / 特許 | 電動機組立体 FI分類-H02K 5/22, FI分類-H02K 11/33, FI分類-H02K 9/06 E |
2017年02月07日 特許庁 / 特許 | 電動機組立体 FI分類-H02K 11/33 |
2017年02月06日 特許庁 / 特許 | パドル、該パドルを備えためっき装置、およびめっき方法 FI分類-C25D 21/10 301 |
2017年02月03日 特許庁 / 特許 | カップリングガードおよび機械装置 FI分類-F16D 3/84 A, FI分類-F16D 3/84 V |
2017年02月01日 特許庁 / 特許 | ポンプ観察システムおよびポンプ観察方法 FI分類-F04B 51/00, FI分類-G01M 13/00, FI分類-F04D 13/00 A, FI分類-F04D 13/16 W, FI分類-F04D 15/00 H |
2017年01月31日 特許庁 / 特許 | 研磨パッドの表面温度を調整するための装置および方法 FI分類-B24B 49/14, FI分類-B24B 37/015, FI分類-H01L 21/304 622 F |
2017年01月30日 特許庁 / 特許 | モータ取付用ブラケット、モータ取付構造、基板処理装置 FI分類-H02K 5/20, FI分類-H02K 9/19 A, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 648 Z |
2017年01月27日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-F04D 15/00 D |
2017年01月26日 特許庁 / 特許 | 羽根車及びポンプ FI分類-F04D 29/22 C, FI分類-F04D 29/22 E, FI分類-F04D 11/00 101 |
2017年01月24日 特許庁 / 特許 | めっき装置、基板ホルダ、抵抗測定モジュール、および基板ホルダを検査する方法 FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/08 G, FI分類-C25D 21/12 C |
2017年01月24日 特許庁 / 特許 | めっき装置、基板ホルダ、抵抗測定モジュール、および基板ホルダを検査する方法 FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 21/12 C |
2017年01月18日 特許庁 / 特許 | 流体機械 FI分類-F02C 7/00 A, FI分類-G01K 7/36 A, FI分類-F01D 25/00 V, FI分類-F04C 25/02 K, FI分類-F04C 28/28 A, FI分類-G01K 13/08 B, FI分類-G01B 7/00 101 F |
2017年01月17日 特許庁 / 特許 | スケジューラ、基板処理装置、及び基板搬送方法 FI分類-H01L 21/02 Z, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-G05B 19/418 Z |
2017年01月17日 特許庁 / 特許 | 研磨方法 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 51/00, FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-B24B 49/03 Z, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 C, FI分類-H01L 21/304 622 R, FI分類-H01L 21/304 622 Y |
2017年01月17日 特許庁 / 特許 | スケジューラ、基板処理装置、及び基板搬送方法 FI分類-C25D 17/06 E, FI分類-C25D 19/00 D, FI分類-C25D 21/12 E, FI分類-H01L 21/02 Z, FI分類-H01L 21/68 A |
2017年01月10日 特許庁 / 特許 | 供給液体製造装置および供給液体製造方法 FI分類-C02F 1/78, FI分類-B01F 1/00 A, FI分類-B01F 15/04 D, FI分類-C01B 13/10 D |
2016年12月28日 特許庁 / 特許 | 基板を処理するための方法および装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/08 G, FI分類-C25D 21/12 C, FI分類-C25D 21/12 D, FI分類-H01L 21/68 N |
2016年12月27日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ、めっき装置、及びめっき方法 FI分類-C25D 17/06 J, FI分類-C25D 17/08 E, FI分類-C25D 17/08 J, FI分類-C25D 17/08 Q, FI分類-C25D 17/08 R, FI分類-C25D 17/08 S, FI分類-C25D 21/00 E, FI分類-H01L 21/68 N |
2016年12月22日 特許庁 / 特許 | 基板着脱装置、めっき装置、基板着脱装置の制御装置、基板着脱装置の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納した記憶媒体 FI分類-C25D 17/06 A |
2016年12月22日 特許庁 / 特許 | 軸スリーブ、ポンプ、および軸スリーブの製造方法 FI分類-C23C 4/10, FI分類-F16C 3/02, FI分類-F16C 17/02 Z, FI分類-F16C 33/14 Z, FI分類-F16C 33/20 Z, FI分類-F16C 33/24 A, FI分類-F16C 33/24 Z, FI分類-F04D 29/046 B |
2016年12月22日 特許庁 / 特許 | 研磨装置 FI分類-B24B 21/06, FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/16, FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2016年12月19日 特許庁 / 特許 | めっき装置、めっき方法、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 FI分類-C25D 5/34, FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/00 L, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 19/00 A, FI分類-C25D 21/00 B, FI分類-C25D 21/12 D, FI分類-H01L 21/28 A, FI分類-H01L 21/288 E |
2016年12月16日 特許庁 / 特許 | 洗浄薬液供給装置、洗浄ユニット、及びプログラムを格納した記憶媒体 FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 648 G, FI分類-H01L 21/304 648 K |
2016年12月14日 特許庁 / 特許 | 電解めっき装置 FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/08 G, FI分類-C25D 17/08 Q, FI分類-C25D 17/08 R, FI分類-C25D 21/00 A, FI分類-C25D 21/00 E, FI分類-C25D 21/12 K |
2016年12月12日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置、排出方法およびプログラム FI分類-H01L 21/68 P, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 648 L |
2016年12月06日 特許庁 / 特許 | 悪臭防止型排水設備 FI分類-E03F 5/22, FI分類-F04D 13/14, FI分類-E03F 5/10 Z, FI分類-F04D 7/04 S, FI分類-F04D 13/00 L, FI分類-F04D 13/08 G, FI分類-F04D 13/16 W, FI分類-F04D 15/00 D, FI分類-F04D 15/00 J, FI分類-F04D 15/00 L, FI分類-F04D 29/58 D |
2016年12月06日 特許庁 / 特許 | 放射性セシウム及び放射性ストロンチウムを含む放射性廃液の処理方法 FI分類-B01J 20/10 C, FI分類-B01J 20/28 Z, FI分類-G21F 9/12 501 D, FI分類-G21F 9/12 501 J |
2016年12月06日 特許庁 / 特許 | 悪臭防止型排水設備 FI分類-E03F 5/22, FI分類-F04D 13/08 G, FI分類-F04D 15/00 B, FI分類-F04D 15/00 D, FI分類-F04D 15/00 H, FI分類-F04D 15/00 J, FI分類-F04D 29/42 E, FI分類-F04D 29/58 D |
2016年12月05日 特許庁 / 特許 | 先行待機運転ポンプ FI分類-F04D 13/00 L, FI分類-F04D 29/54 A |
2016年12月02日 特許庁 / 特許 | ドローン用エアロック装置 FI分類-B64C 39/02, FI分類-F16L 55/26, FI分類-F16L 101:30, FI分類-B63C 11/00 B, FI分類-F16L 55/00 D, FI分類-F16L 55/18 B, FI分類-G21C 13/02 Q, FI分類-G21C 17/00 E, FI分類-G21C 17/00 H |
2016年12月01日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ、めっき装置、及び基板ホルダの製造方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 7/00 J, FI分類-H05K 3/18 N, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/08 A |
2016年11月30日 特許庁 / 特許 | 水中ドローンの通信システム FI分類-B63C 11/00 B |
2016年11月24日 特許庁 / 特許 | 立軸ポンプ FI分類-F04D 29/06, FI分類-F04D 13/00 D, FI分類-F04D 29/046 A |
2016年11月22日 特許庁 / 特許 | 水中モータ及び防水コネクタ FI分類-H02K 5/22, FI分類-H01R 13/52 301 F |
2016年11月22日 特許庁 / 特許 | 水中モータ及び防水コネクタ FI分類-H02K 5/22, FI分類-H02K 5/132, FI分類-H01R 13/52 301 Z |
2016年11月14日 特許庁 / 特許 | 漏れ検査方法、漏れ検査装置、電解めっき方法、および電解めっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-G01M 3/26 A, FI分類-C25D 17/00 K, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/08 A, FI分類-C25D 21/12 C |
2016年11月11日 特許庁 / 特許 | めっき槽にめっき液を供給するための装置および方法、並びにめっきシステム FI分類-C25D 17/00 L, FI分類-C25D 21/14 E, FI分類-C25D 21/14 F |
2016年11月07日 特許庁 / 特許 | 有線式ドローン群 FI分類-B64F 3/02, FI分類-B64C 19/02, FI分類-B64C 27/08, FI分類-B64C 39/02, FI分類-B63C 11/00 C, FI分類-B63H 11/08 A |
2016年11月07日 特許庁 / 特許 | 悪臭防止型排水設備 FI分類-E03F 5/14, FI分類-E03F 5/22, FI分類-E03F 5/10 Z, FI分類-E03C 1/122 Z |
2016年11月04日 特許庁 / 特許 | 排水システムおよび排水方法 FI分類-C02F 1/00 J, FI分類-C02F 1/00 L, FI分類-C02F 1/00 W |
2016年10月19日 特許庁 / 特許 | 水中モータ及び防水コネクタ FI分類-H02K 5/22, FI分類-H02K 5/132, FI分類-H01R 13/523, FI分類-H01R 13/52 301 H |
2016年10月18日 特許庁 / 特許 | 基板処理制御システム、基板処理制御方法、およびプログラム FI分類-B24B 37/12 D, FI分類-B24B 49/04 ZITZ, FI分類-H01L 21/304 621 B, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 622 R, FI分類-H01L 21/304 644 G, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2016年10月18日 特許庁 / 特許 | 局所研磨装置、局所研磨方法およびプログラム FI分類-B24B 37/005 Z, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2016年10月18日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、研磨方法およびプログラム FI分類-B24B 49/03 Z, FI分類-B24B 37/005 Z, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2016年10月17日 特許庁 / 特許 | アノードユニットおよび該アノードユニットを備えためっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-C25D 21/12 A |
2016年10月17日 特許庁 / 特許 | 風洞装置 FI分類-G01M 9/04 |
2016年10月14日 特許庁 / 特許 | 羽根車の製造方法、溶接システム及び制御装置 FI分類-F01D 5/04, FI分類-B23K 9/02 S, FI分類-B23K 9/16 G, FI分類-F02C 7/00 D, FI分類-B23K 9/167 A, FI分類-B23K 9/235 Z, FI分類-F01D 25/00 X, FI分類-F04D 29/22 H, FI分類-F04D 29/60 E, FI分類-F04D 29/62 C, FI分類-B23K 9/00 501 G, FI分類-B23K 9/12 331 G, FI分類-B23K 37/047 501 D |
2016年10月14日 特許庁 / 特許 | 基板のめっきに使用される酸化銅粉体、該酸化銅粉体を用いて基板をめっきする方法、該酸化銅粉体を用いてめっき液を管理する方法 FI分類-C01G 3/02, FI分類-C25D 21/14 F |
2016年10月14日 特許庁 / 特許 | 悪臭防止型排水設備 FI分類-E03F 5/22, FI分類-F04D 13/08 L, FI分類-F04D 13/08 X, FI分類-F04D 13/16 W, FI分類-F04D 29/60 C |
2016年10月13日 特許庁 / 特許 | 基板研磨装置、基板処理装置、ドレッサディスク、ドレッサディスクの取り外し方法、ドレッサディスクの取り付け方法およびドレッサディスクの交換方法 FI分類-B24B 53/12 Z, FI分類-B24B 53/017 Z, FI分類-H01L 21/304 622 M |
2016年10月12日 特許庁 / 特許 | 給水装置、及び、給水システム FI分類-G06F 21/44, FI分類-F04D 15/00 Z, FI分類-F04B 49/10 311, FI分類-F04B 49/06 321 Z |
2016年10月11日 特許庁 / 特許 | 真空ポンプ、真空ポンプの冷却装置、真空ポンプの冷却方法、真空排気システム、及び、真空ポンプのメンテナンス方法 FI分類-F04B 37/16 A, FI分類-F04B 37/16 Z, FI分類-F04B 39/06 L, FI分類-F04C 25/02 K, FI分類-F04C 29/04 D, FI分類-F04C 29/04 H |
2016年10月07日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-F04D 15/00 Z |
2016年10月05日 特許庁 / 特許 | 両吸込ポンプ FI分類-F04D 29/22 C, FI分類-F04D 29/22 F, FI分類-F04D 29/66 B, FI分類-F04D 29/66 M |
2016年10月05日 特許庁 / 特許 | 水中モータ及び防水コネクタ FI分類-H02K 5/22, FI分類-H02K 5/132, FI分類-H01R 13/621, FI分類-H01R 13/652, FI分類-H01R 13/52 301 A |
2016年09月30日 特許庁 / 特許 | 基板研磨装置 FI分類-B24B 49/16, FI分類-B24B 53/12 Z, FI分類-B24B 53/017 Z, FI分類-H01L 21/304 622 M |
2016年09月30日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-F04D 15/00 D, FI分類-F04D 15/00 Z |
2016年09月29日 特許庁 / 特許 | 羽根車の製造方法 FI分類-F04D 29/22 H, FI分類-F04D 29/28 R, FI分類-F04D 29/60 E, FI分類-F04D 29/62 C |
2016年09月29日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ、めっき装置、及び基板ホルダの製造方法 FI分類-C25D 17/06 Z, FI分類-C25D 17/08 S, FI分類-C25D 21/12 A |
2016年09月29日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置及び基板処理装置 FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 645 B, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2016年09月29日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置 FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 643 C, FI分類-H01L 21/304 644 G, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2016年09月29日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置および基板洗浄方法ならびに基板洗浄装置用のロールスポンジ FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 643 C, FI分類-H01L 21/304 644 G, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2016年09月28日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 17/06 J, FI分類-H01L 21/68 A |
2016年09月28日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-F04D 15/00 D, FI分類-F04D 15/00 F, FI分類-F04D 15/00 H |
2016年09月16日 特許庁 / 特許 | 先行待機運転ポンプ FI分類-F04D 13/00 L |
2016年09月15日 特許庁 / 特許 | 研磨方法、研磨装置を有する基板処理装置、およびプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-H01L 21/304 622 Y |
2016年09月08日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ、めっき装置、及び基板を保持する方法 FI分類-C25D 17/08 A, FI分類-C25D 17/08 G, FI分類-C25D 17/08 Q, FI分類-H01L 21/68 N |
2016年09月07日 特許庁 / 特許 | 研磨方法、研磨装置、およびプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 9/00 601 G, FI分類-H01L 21/304 621 E, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2016年09月02日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 FI分類-H01L 21/304 643 C, FI分類-H01L 21/304 644 C |
2016年08月25日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、及び、研磨方法 FI分類-B24B 37/04 K, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2016年08月23日 特許庁 / 特許 | 研磨方法および研磨装置 FI分類-B24B 49/14, FI分類-B24B 37/00 J, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2016年08月18日 特許庁 / 特許 | 排ガス処理装置 FI分類-F23G 7/06 ZABD, FI分類-F23G 7/06 101 D |
2016年08月17日 特許庁 / 特許 | ボルテックス形ポンプ及びボルテックス形ポンプ内の羽根車の位置を調整する方法 FI分類-F04D 29/042, FI分類-F04D 7/04 S, FI分類-F04D 29/22 C, FI分類-F04D 29/22 D, FI分類-F04D 29/46 A |
2016年08月17日 特許庁 / 特許 | 消音部材およびこの消音部材を用いた消音構造体 FI分類-F24F 13/02 H, FI分類-G10K 11/16 B, FI分類-F24F 13/24 242 |
2016年08月17日 特許庁 / 特許 | 排水システム、排水ポンプ車および排水方法 FI分類-F04B 23/14, FI分類-F04D 15/00 D, FI分類-F04D 15/00 L, FI分類-F04B 49/06 321 B |
2016年08月12日 特許庁 / 特許 | ドレッシング装置、研磨装置、ホルダー、ハウジング及びドレッシング方法 FI分類-B24B 53/14, FI分類-B24B 37/00 A, FI分類-H01L 21/304 622 M |
2016年08月09日 特許庁 / 特許 | 汚水ポンプ用ケーシングライナ、汚水ポンプ、汚水ポンプ用ケーシングライナの製造方法 FI分類-F04D 7/04 H, FI分類-F04D 29/60 E |
2016年08月08日 特許庁 / 特許 | めっき装置、めっき装置の制御方法、及び、めっき装置の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納した記憶媒体 FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 21/12 A, FI分類-C25D 21/12 C, FI分類-H01L 21/66 P, FI分類-H01L 21/288 E |
2016年08月05日 特許庁 / 特許 | 軸封装置およびこの軸封装置を備えた立軸ポンプ FI分類-F16J 15/447, FI分類-F04D 29/10 Z |
2016年08月02日 特許庁 / 特許 | 研磨装置および研磨方法 FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 9/00 601 G, FI分類-H01L 21/304 601 Z |
2016年07月28日 特許庁 / 特許 | 研磨装置 FI分類-B24B 21/00 Z, FI分類-H01L 21/304 621 E |
2016年07月26日 特許庁 / 特許 | 排水システムおよび排水方法 FI分類-E03F 5/22, FI分類-E03F 1/00 Z, FI分類-F04D 13/00 A, FI分類-F04D 15/00 D, FI分類-E02B 7/20 105 |
2016年07月22日 特許庁 / 特許 | 基板の表面を研磨する装置および方法、プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-H01L 21/304 621 B, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2016年07月22日 特許庁 / 特許 | カップリングガードおよび機械装置 FI分類-F16D 3/84 A, FI分類-F16D 3/84 U, FI分類-F16D 3/84 W, FI分類-F16D 3/84 Z, FI分類-F04D 29/04 Z, FI分類-F04D 29/60 E |
2016年07月19日 特許庁 / 特許 | 軸受組立体およびポンプ装置 FI分類-H02K 5/16 Z, FI分類-H02K 7/14 B, FI分類-F04D 13/06 C, FI分類-F16C 17/10 Z, FI分類-F16C 33/20 Z, FI分類-F16C 33/24 A, FI分類-F04D 29/046 A |
2016年07月14日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-F04D 15/00 G, FI分類-F04B 49/06 321, FI分類-F04B 49/08 311 |
2016年07月13日 特許庁 / 特許 | ボルテックス形ポンプ用羽根車及びボルテックス形ポンプ FI分類-F04D 7/04 S, FI分類-F04D 29/24 B |
2016年07月13日 特許庁 / 特許 | ボルテックス形ポンプ用羽根車及びボルテックス形ポンプ FI分類-F04D 7/04 J, FI分類-F04D 7/04 S, FI分類-F04D 29/22 B, FI分類-F04D 29/22 C, FI分類-F04D 29/24 B, FI分類-F04D 29/24 C |
2016年07月13日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ及びこれを用いためっき装置 FI分類-C25D 17/06 C |
2016年07月13日 特許庁 / 特許 | 膜厚測定装置、研磨装置、膜厚測定方法、及び、研磨方法 FI分類-G01B 7/06 M, FI分類-B24B 37/04 K, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2016年07月13日 特許庁 / 特許 | 消音ユニットおよび消音ユニットを用いた消音構造体 FI分類-F24F 13/02 H, FI分類-G10K 11/16 B, FI分類-G10K 11/16 F, FI分類-F24F 13/24 242 |
2016年07月08日 特許庁 / 特許 | ポンプ FI分類-F04D 29/44 A, FI分類-F04D 29/44 E, FI分類-F04D 29/66 A, FI分類-F04D 11/00 101 |
2016年07月08日 特許庁 / 特許 | ポンプ FI分類-F04D 29/42 C, FI分類-F04D 29/44 E, FI分類-F04D 29/66 A, FI分類-F04D 11/00 101 |
2016年07月08日 特許庁 / 特許 | ターンテーブル用クロスの剥離治具 FI分類-B25B 33/00, FI分類-H01L 21/304 622 F |
2016年07月07日 特許庁 / 特許 | 弾性膜、基板保持装置、基板研磨装置、基板保持装置における基板吸着判定方法および圧力制御方法 FI分類-B24B 37/04 V, FI分類-H01L 21/68 P, FI分類-H01L 21/304 622 J |
2016年07月07日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置 FI分類-F04F 5/48 A, FI分類-F04B 49/06 311 |
2016年07月07日 特許庁 / 特許 | 基板保持装置及び弾性膜 FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-B24B 37/005 A, FI分類-H01L 21/304 622 H |
2016年07月06日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-B24B 57/02, FI分類-B24B 37/00 K, FI分類-H01L 21/304 622 Z |
2016年07月05日 特許庁 / 特許 | ウィーンフィルター FI分類-H01J 37/05, FI分類-H01J 37/29 |
2016年07月04日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダの検査装置、これを備えためっき装置、及び外観検査装置 FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 21/12 C, FI分類-G01N 21/84 C, FI分類-H01L 21/68 A |
2016年06月30日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ、電子デバイス製造装置において基板を搬送する搬送システム、および電子デバイス製造装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/08 A, FI分類-C25D 17/08 G, FI分類-C25D 17/08 Q, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/68 U |
2016年06月30日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-B24B 37/00 X, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/304 622 L, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 C |
2016年06月30日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 E, FI分類-H01L 21/304 648 A, FI分類-H01L 21/304 648 H, FI分類-H01L 21/304 651 B |
2016年06月30日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/304 622 Q |
2016年06月30日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 37/34, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/304 622 N, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 B, FI分類-H01L 21/304 644 C |
2016年06月29日 特許庁 / 特許 | 悪臭防止型排水設備 FI分類-E03F 5/22, FI分類-E03C 1/12 E, FI分類-E03F 5/10 Z |
2016年06月29日 特許庁 / 特許 | 膜厚信号処理装置、研磨装置、膜厚信号処理方法、及び、研磨方法 FI分類-B24B 37/04 K, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2016年06月28日 特許庁 / 特許 | 洗浄装置、これを備えためっき装置、及び洗浄方法 FI分類-C25D 21/08, FI分類-B65G 49/06 Z, FI分類-B65G 49/07 B, FI分類-C25D 17/00 L, FI分類-H01L 21/28 B, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/288 E, FI分類-H01L 21/304 643 B |
2016年06月28日 特許庁 / 特許 | 洗浄装置、これを備えためっき装置、及び洗浄方法 FI分類-C25D 21/08, FI分類-B08B 3/02 C, FI分類-B65G 49/06 Z, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/304 651 G, FI分類-H01L 21/304 651 L |
2016年06月27日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 644 C |
2016年06月27日 特許庁 / 特許 | 洗浄装置及び基板処理装置 FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 648 J |
2016年06月24日 特許庁 / 特許 | 排水システムおよび排水方法 FI分類-F04D 13/00 A, FI分類-F04D 15/00 D, FI分類-F04D 15/00 J, FI分類-F04D 15/00 L |
2016年06月16日 特許庁 / 特許 | 整流装置 FI分類-E21F 1/00 Z, FI分類-F15D 1/02 B, FI分類-F16L 55/027, FI分類-F16L 55/00 H, FI分類-F24F 13/08 A |
2016年06月15日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置、運転情報送信方法、および運転情報表示プログラム FI分類-F04B 49/06 311 |
2016年06月10日 特許庁 / 特許 | 呼水栓、および呼水栓を備えるポンプ FI分類-F04D 9/00 E, FI分類-F16L 55/00 S |
2016年06月10日 特許庁 / 特許 | アノードに給電可能な給電体及びめっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/12 C, FI分類-C25D 21/00 J, FI分類-C25D 17/10 101 B |
2016年06月08日 特許庁 / 特許 | 排ガス処理装置 FI分類-F23G 7/06 ZAB, FI分類-F23G 7/06 101 D |
2016年06月07日 特許庁 / 特許 | めっき装置、めっき方法、及び記録媒体 FI分類-C25D 17/00 H, FI分類-C25D 17/00 K, FI分類-C25D 21/12 C |
2016年06月07日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-B24B 49/14, FI分類-B24B 37/04 H, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-H01L 21/304 622 H, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2016年06月07日 特許庁 / 特許 | 立軸ポンプ FI分類-F04D 13/00 L |
2016年06月07日 特許庁 / 特許 | 立軸ポンプ FI分類-F04D 13/00 D, FI分類-F04D 13/00 L, FI分類-F04D 29/046 Z |
2016年06月03日 特許庁 / 特許 | めっき装置、基板ホルダ、めっき装置の制御方法、及び、めっき装置の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納した記憶媒体 FI分類-B65G 49/07, FI分類-G01M 3/00 Z, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 21/12 C, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/68 N |
2016年06月01日 特許庁 / 特許 | ポンプユニット FI分類-F04D 15/00 D, FI分類-F04D 15/00 F, FI分類-F04D 15/00 J |
2016年06月01日 特許庁 / 特許 | ポンプユニット FI分類-F04D 15/00 D, FI分類-F04D 15/00 J, FI分類-F04D 15/00 L |
2016年05月31日 特許庁 / 特許 | 消音器 FI分類-F24F 13/02 H, FI分類-F24F 13/06 E, FI分類-F24F 13/24 245 |
2016年05月26日 特許庁 / 特許 | リテーナリング、基板保持装置及び基板研磨装置 FI分類-B24B 37/04 G, FI分類-B24B 37/04 P, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 G |
2016年05月24日 特許庁 / 特許 | ポンプ点検方法、点検装置、ガイド部材及び治具 FI分類-F04D 13/08 R, FI分類-F04D 29/52 A, FI分類-F04D 29/60 D |
2016年05月23日 特許庁 / 特許 | 排ガス処理装置 FI分類-F23G 7/06 ZABN, FI分類-F23G 7/06 101 D |
2016年05月12日 特許庁 / 特許 | 処理対象物を保持するためのテーブルおよび該テーブルを有する処理装置 FI分類-B24B 37/04 H, FI分類-H01L 21/68 P, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 H |
2016年05月12日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、研磨ヘッド、およびリテーナリング FI分類-B24B 37/04 P |
2016年05月09日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置 FI分類-H01L 21/304 646, FI分類-H01L 21/304 643 C |
2016年05月09日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ及びこれを用いためっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/08 Q, FI分類-C25D 17/08 R, FI分類-H01L 21/92 604 B |
2016年05月09日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置 FI分類-H01L 21/304 646, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 647 Z, FI分類-H01L 21/304 651 B |
2016年05月02日 特許庁 / 特許 | 非接触環状シール及びこれを備える回転機械 FI分類-F04D 29/16, FI分類-F16J 15/447 |
2016年04月28日 特許庁 / 特許 | 給水装置、及び、給水装置の制御方法 FI分類-F04B 53/00 J, FI分類-F04D 15/00 D, FI分類-F04D 15/00 Z, FI分類-F04B 49/06 311 |
2016年04月28日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置 FI分類-F04D 15/00 A, FI分類-F04B 49/06 311 |
2016年04月28日 特許庁 / 特許 | 給水装置、及び、給水装置の制御方法 FI分類-F04D 15/00 A |
2016年04月27日 特許庁 / 特許 | 悪臭防止型排水設備 FI分類-E03F 5/22, FI分類-F04D 13/00 A, FI分類-F04D 15/00 D, FI分類-F04D 15/00 H |
2016年04月22日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置 FI分類-H01L 21/304 643 D |
2016年04月21日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-F04D 29/60 B, FI分類-F04D 29/66 D |
2016年04月21日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-F04D 15/00 A, FI分類-F04D 15/00 G, FI分類-F04D 9/02 101 C |
2016年04月14日 特許庁 / 特許 | めっき装置及びめっき方法 FI分類-C25D 17/00 K |
2016年04月12日 特許庁 / 特許 | 洗浄部材、基板洗浄装置及び基板処理装置 FI分類-H01L 21/304 644 C |
2016年04月12日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-E03B 5/00 B, FI分類-F04B 53/00 J |
2016年04月08日 特許庁 / 特許 | 研磨装置および研磨方法 FI分類-B24B 21/06, FI分類-B24B 47/26, FI分類-B24B 7/04 Z, FI分類-H01L 21/304 621 E |
2016年04月06日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-B24B 37/30 Z, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 L |
2016年04月04日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置および基板有無確認方法 FI分類-B65H 7/14, FI分類-B65G 49/07 C, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/304 622 L |
2016年04月04日 特許庁 / 特許 | 基板搬送装置および基板処理装置ならびに結露抑制方法 FI分類-H01L 21/68 A |
2016年03月31日 特許庁 / 特許 | 熱交換器 FI分類-F28C 3/06, FI分類-H02K 11/33, FI分類-F28F 25/06 Z, FI分類-F28F 27/00 501 A |
2016年03月31日 特許庁 / 特許 | 研磨装置 FI分類-B24B 55/06, FI分類-B24B 37/00 X, FI分類-H01L 21/304 621 D |
2016年03月31日 特許庁 / 特許 | 基板の製造方法及び基板 FI分類-H01L 21/92 602 H, FI分類-H01L 21/92 603 D, FI分類-H01L 21/92 604 B |
2016年03月31日 特許庁 / 特許 | ポンプ FI分類-F04D 29/16, FI分類-F04D 29/42 A, FI分類-F04D 29/42 E, FI分類-F04D 29/62 A |
2016年03月31日 特許庁 / 特許 | 軸組立体、モータ軸、モータ、モータポンプ、および軸組立体の製造方法 FI分類-F16C 3/00, FI分類-F04D 29/60 D, FI分類-F04D 29/60 E, FI分類-F16J 15/06 C, FI分類-F16J 15/06 L, FI分類-F16J 15/06 M |
2016年03月31日 特許庁 / 特許 | モータ、直動型モータポンプ、および給水装置 FI分類-H02K 5/10 A, FI分類-F04D 13/00 A, FI分類-F04D 29/00 B, FI分類-F04D 29/10 Z, FI分類-F04D 29/70 G, FI分類-F16C 33/76 Z, FI分類-F16J 15/3204 201 |
2016年03月31日 特許庁 / 特許 | ティーチング装置およびティーチング方法 FI分類-B25J 15/08 D, FI分類-B65G 49/07 F, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/304 648 A |
2016年03月30日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-B24B 37/04 N, FI分類-F16L 27/08 Z, FI分類-H01L 21/304 622 G |
2016年03月30日 特許庁 / 特許 | 排水ポンプ設備および排水方法 FI分類-F04D 13/14, FI分類-F04D 13/16 W, FI分類-F04D 13/16 Z, FI分類-F04D 15/00 D, FI分類-F04D 15/00 H, FI分類-F04D 15/00 J, FI分類-F04D 15/00 L |
2016年03月30日 特許庁 / 特許 | ポンプシステム、制御装置及び制御方法 FI分類-F04D 15/00 D, FI分類-F04D 15/00 F, FI分類-F04D 15/00 H |
2016年03月30日 特許庁 / 特許 | 真空式汚水収集システムに使用される流れ検知装置、真空式汚水収集システム、真空弁監視装置及び監視方法 FI分類-E03F 5/22, FI分類-E03F 7/00, FI分類-G01F 1/28 A, FI分類-G01F 1/28 B |
2016年03月30日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置及び基板処理装置 FI分類-H01L 21/304 643 D |
2016年03月29日 特許庁 / 特許 | ディフューザ、及び多段ポンプ装置 FI分類-F04D 1/08 C, FI分類-F04D 11/00 101 |
2016年03月29日 特許庁 / 特許 | 悪臭防止型排水設備、および、悪臭防止型排水設備のための汚水槽を設置する方法 FI分類-E03F 5/22, FI分類-E03F 5/10 Z |
2016年03月28日 特許庁 / 特許 | めっき方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 7/00 H, FI分類-C25D 21/14 B, FI分類-C25D 3/38 101, FI分類-C25D 21/10 301, FI分類-H01L 21/92 604 D |
2016年03月24日 特許庁 / 特許 | 渦巻ポンプ FI分類-F04D 7/04 H, FI分類-F04D 29/70 G |
2016年03月24日 特許庁 / 特許 | ディフューザを備える流体機械 FI分類-F04D 29/44 D, FI分類-F04D 29/44 E |
2016年03月23日 特許庁 / 特許 | 研磨装置 FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 37/04 Z, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 621 E, FI分類-H01L 21/304 622 P, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 648 A |
2016年03月22日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ及びめっき装置 FI分類-B65G 49/02 K, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/08 A, FI分類-C25D 17/08 Q, FI分類-C25D 17/08 R, FI分類-H01L 21/68 N |
2016年03月18日 特許庁 / 特許 | 研磨装置および研磨方法 FI分類-B24B 37/04 Z, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 622 L |
2016年03月18日 特許庁 / 特許 | 遠心ポンプ用羽根車 FI分類-F04D 29/041, FI分類-F04D 29/22 C, FI分類-F04D 29/22 E |
2016年03月16日 特許庁 / 特許 | 排水機場および排水方法 FI分類-E03F 5/22, FI分類-E03B 11/16, FI分類-E03B 5/00 Z, FI分類-E03F 1/00 Z, FI分類-F04D 13/16 W |
2016年03月16日 特許庁 / 特許 | 排水機場および排水方法 FI分類-E03F 5/22 |
2016年03月10日 特許庁 / 特許 | 基板の研磨装置および研磨方法 FI分類-B24B 37/00 C, FI分類-B24B 37/00 X, FI分類-H01L 21/304 622 F, FI分類-H01L 21/304 622 R, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2016年03月08日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置、基板洗浄方法、基板処理装置および基板乾燥装置 FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 643 D, FI分類-H01L 21/304 644 C |
2016年03月08日 特許庁 / 特許 | 超音波洗浄装置および洗浄具のクリーニング装置 FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 643 D, FI分類-H01L 21/304 644 C |
2016年03月07日 特許庁 / 特許 | 摺動材料、軸スリーブ及び軸スリーブを備えたポンプ FI分類-F16C 17/14, FI分類-C22C 29/02 Z, FI分類-F16C 17/02 Z, FI分類-F16C 33/12 A, FI分類-F16C 33/14 Z, FI分類-F16C 33/24 A, FI分類-F04D 29/046 B |
2016年03月04日 特許庁 / 特許 | モータポンプ FI分類-F04D 13/02 E, FI分類-F04D 29/42 F, FI分類-F04D 29/58 D |
2016年03月04日 特許庁 / 特許 | 再生システム、監視システムおよび再生方法 FI分類-H04Q 9/00 311 J |
2016年03月03日 特許庁 / 特許 | めっき装置及びめっき方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 5/02 E, FI分類-H01L 21/28 A, FI分類-H01L 21/288 E |
2016年02月25日 特許庁 / 特許 | ポンプ制御ユニット、及び、ポンプ装置 FI分類-F04B 53/00 J |
2016年02月25日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置および基板処理方法 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 49/02 Z, FI分類-H01L 21/68 G, FI分類-H01L 21/68 P, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 622 H, FI分類-H01L 21/304 622 Y |
2016年02月25日 特許庁 / 特許 | ポンプ制御ユニット、及び、ポンプ装置 FI分類-F04B 53/00 J |
2016年02月23日 特許庁 / 特許 | 研磨装置 FI分類-B24B 37/04 G, FI分類-B24B 37/04 K, FI分類-G01B 7/00 101 F, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2016年02月22日 特許庁 / 特許 | 熱交換器 FI分類-F28F 27/00 501 A, FI分類-F28F 27/00 511 B |
2016年02月15日 特許庁 / 特許 | 洗浄部材の初期化方法 FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 644 Z |
2016年02月15日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置及び基板処理装置 FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2016年02月12日 特許庁 / 特許 | 基板保持モジュール、基板処理装置、および基板処理方法 FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/304 648 Z |
2016年02月10日 特許庁 / 特許 | ポンプシステム FI分類-F04F 10/00 J |
2016年02月10日 特許庁 / 特許 | 多段水中ポンプ用の吸込ケーシング、および、多段水中ポンプ FI分類-F04D 13/08 Q, FI分類-F04D 13/08 Y, FI分類-F04D 11/00 101 |
2016年02月10日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置用排水システム、排水方法及び排水制御装置並びに記録媒体 FI分類-H01L 21/306 J, FI分類-H01L 21/306 R, FI分類-H01L 21/304 622 E, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2016年02月09日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置及び制御方法 FI分類-B24B 37/00 X, FI分類-B24B 37/04 N, FI分類-F16J 15/00 E, FI分類-F16J 15/34 B, FI分類-H01L 21/304 622 Z |
2016年02月09日 特許庁 / 特許 | 診断補助装置、診断補助システム、診断補助方法および診断補助プログラム FI分類-G01H 17/00 Z |
2016年02月04日 特許庁 / 特許 | 検査装置 FI分類-H01J 37/05, FI分類-H01J 37/16, FI分類-H01J 37/18, FI分類-H01J 37/29, FI分類-H01J 37/244, FI分類-H01J 37/141 Z, FI分類-H01J 37/147 Z |
2016年02月03日 特許庁 / 特許 | 給水装置、および給水装置の運転方法 FI分類-G01F 1/00 T, FI分類-F04D 15/00 Z, FI分類-F04B 49/10 311 |
2016年02月03日 特許庁 / 特許 | 給水装置、および給水装置の運転方法 FI分類-F04D 15/00 Z, FI分類-F04B 49/10 311 |
2016年02月03日 特許庁 / 特許 | ポンプ機場、フラップ弁健全度確認システム、および、フラップ弁の健全度確認方法 FI分類-F04D 9/00 F, FI分類-F04D 9/04 C, FI分類-F04D 15/00 H |
2016年02月03日 特許庁 / 特許 | 給水装置、および給水装置の運転方法 FI分類-F04B 51/00, FI分類-F04B 49/06 311, FI分類-F04B 49/10 311 |
2016年02月02日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置、洗浄具および基板処理装置、ならびに、洗浄具の取り外し、取り付けおよび交換方法 FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 648 Z, FI分類-H01L 21/304 651 B |
2016年02月02日 特許庁 / 特許 | 真空ポンプ FI分類-F04C 18/20, FI分類-F04C 18/18 Z, FI分類-F04C 23/00 F, FI分類-F04C 25/02 K, FI分類-F04C 29/12 A |
2016年01月29日 特許庁 / 特許 | スイッチング運転可能な多重効用式薄膜降下型蒸発濃縮装置 FI分類-B01D 1/22 A, FI分類-B01D 1/26 A |
2016年01月29日 特許庁 / 特許 | 検査装置 FI分類-G01N 23/2251, FI分類-H01J 37/28 B, FI分類-H01L 21/66 J, FI分類-H01J 37/147 B |
2016年01月22日 特許庁 / 特許 | ポンプ運転パターン制御方法およびポンプ装置 FI分類-F04D 15/00 D, FI分類-F04D 15/00 F |
2016年01月21日 特許庁 / 特許 | ヨウ素酸イオン及びヨウ化物イオンの定量分析方法 FI分類-B01J 20/02 A, FI分類-B01J 20/06 A, FI分類-G01N 27/62 G, FI分類-G01N 27/62 V, FI分類-G01N 30/00 C, FI分類-G01N 31/00 Q, FI分類-G21F 9/12 501 B |
2016年01月20日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置 FI分類-F04D 29/16, FI分類-F04D 29/12 Z, FI分類-F04D 29/70 G, FI分類-F16J 15/16 B, FI分類-F16J 15/32 311 Z |
2016年01月20日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置 FI分類-F04D 29/16, FI分類-F04D 29/12 Z, FI分類-F04D 29/70 G, FI分類-F16J 15/32 311 J |
2016年01月18日 特許庁 / 特許 | 真空ポンプ FI分類-F16H 55/06, FI分類-H02K 16/00, FI分類-F04C 18/16 H, FI分類-F04C 18/18 B, FI分類-F04C 25/02 K, FI分類-F04C 25/02 M, FI分類-F04C 29/00 B, FI分類-F04C 29/00 T, FI分類-F04C 29/00 U, FI分類-H02K 21/14 Z |
2016年01月18日 特許庁 / 特許 | バフ研磨処理における研磨量のシミュレーション方法およびバフ研磨装置 FI分類-B24B 49/16, FI分類-B24B 37/005 Z, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2016年01月18日 特許庁 / 特許 | 超音波溶接方法および流体作動ポンプ用のディフューザー FI分類-B29C 65/08, FI分類-F04D 29/42 G, FI分類-F04D 29/60 E |
2016年01月15日 特許庁 / 特許 | 洗浄装置、基板処理装置、および基板処理方法 FI分類-B24B 37/00 X, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 C |
2016年01月15日 特許庁 / 特許 | シチナカイト構造を有するシリコチタネートを含む組成物を用いるセシウム又はストロンチウムの少なくともいずれかの吸着方法 FI分類-C01B 39/00, FI分類-C02F 1/28 E, FI分類-B01J 20/10 C, FI分類-B01J 20/28 Z, FI分類-G21F 9/12 501 D |
2016年01月15日 特許庁 / 特許 | シチナカイト構造を有するシリコチタネートを含む組成物を用いるセシウム又はストロンチウムの少なくともいずれかの吸着方法 FI分類-C01B 33/32, FI分類-C02F 1/28 E, FI分類-B01J 20/10 C, FI分類-B01J 20/28 Z, FI分類-G21F 9/12 501 D |
2016年01月14日 特許庁 / 特許 | 検査装置、そのアライメント装置及びアライメント方法 FI分類-H01J 37/29, FI分類-H01J 37/244, FI分類-H01J 37/20 A, FI分類-H01J 37/147 Z, FI分類-H01J 37/22 502 Z |
2016年01月14日 特許庁 / 特許 | 研磨装置及び研磨方法 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 621 E, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2016年01月14日 特許庁 / 特許 | 立軸ポンプ FI分類-F04D 13/00 A, FI分類-F04D 29/42 F, FI分類-F04D 29/66 A |
2016年01月14日 特許庁 / 特許 | 立軸ポンプ FI分類-F04D 13/00 A, FI分類-F04D 29/60 D, FI分類-F04D 11/00 101 |
2016年01月14日 特許庁 / 特許 | 検査装置及び検査方法 FI分類-H01J 37/29, FI分類-H01J 37/244, FI分類-H01J 37/20 A, FI分類-H01J 37/28 B, FI分類-H01L 21/66 J, FI分類-H01J 37/147 B, FI分類-H01J 37/22 502 H |
2016年01月13日 特許庁 / 特許 | 検査装置及び検査方法 FI分類-H01J 37/29, FI分類-H01J 37/244, FI分類-H01J 37/04 A, FI分類-H01J 37/09 A, FI分類-H01J 37/09 Z, FI分類-H01L 21/66 J, FI分類-H01J 37/147 Z |
2016年01月12日 特許庁 / 特許 | 検査装置及び高圧基準管の製造方法 FI分類-H01J 37/16, FI分類-H01J 37/29 |
2016年01月12日 特許庁 / 特許 | 検査装置 FI分類-H01J 37/29, FI分類-H01J 37/073, FI分類-H01J 37/06 A, FI分類-H01L 21/66 J |
2016年01月12日 特許庁 / 特許 | 電子銃及びこれを備える検査装置 FI分類-H01J 37/075, FI分類-H01J 37/147 B |
2016年01月07日 特許庁 / 特許 | 研磨パッドの表面性状測定装置を備えたCMP装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 49/18, FI分類-B24B 37/005, FI分類-B24B 37/00 Z, FI分類-B24B 53/017 Z, FI分類-H01L 21/304 622 M |
2015年12月25日 特許庁 / 特許 | 潤滑油の漏洩を防止する軸封装置を有する流体継手 FI分類-F16D 33/18, FI分類-F16H 57/021, FI分類-F16H 57/029, FI分類-F16J 15/447, FI分類-F16H 41/24 Z, FI分類-F16H 41/30 A, FI分類-F16H 57/04 J, FI分類-F16H 57/04 Q |
2015年12月24日 特許庁 / 特許 | 給水システム及び給水装置 FI分類-E03B 5/02, FI分類-F03G 7/08 Z, FI分類-F04D 29/00 B, FI分類-F04B 49/10 311 |
2015年12月24日 特許庁 / 特許 | 放射性アンチモン、放射性ヨウ素及び放射性ルテニウムの吸着剤、当該吸着剤を用いた放射性廃液の処理方法 FI分類-B01J 20/06 A, FI分類-B01J 20/06 B, FI分類-G21F 9/12 501 B, FI分類-G21F 9/12 501 J |
2015年12月24日 特許庁 / 特許 | 検査装置 FI分類-H01J 37/29, FI分類-H01J 37/073, FI分類-H01J 37/244, FI分類-H01J 37/20 D, FI分類-H01J 37/28 B, FI分類-H01L 21/66 J, FI分類-G01N 23/225 310, FI分類-G01N 23/225 312 |
2015年12月21日 特許庁 / 特許 | レギュレーションプレート、これを備えためっき装置及びめっき方法 FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-H01L 21/288 E |
2015年12月21日 特許庁 / 特許 | 連結機構および基板研磨装置 FI分類-B24B 37/00 A, FI分類-B24B 53/00 A, FI分類-H01L 21/304 622 K, FI分類-H01L 21/304 622 M |
2015年12月21日 特許庁 / 特許 | 連結機構、および基板研磨装置 FI分類-B24B 49/18, FI分類-F16D 3/12 A, FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-B24B 53/00 A, FI分類-B24B 53/12 Z, FI分類-B24B 53/017 Z, FI分類-F16F 15/126 B, FI分類-H01L 21/304 622 M, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2015年12月21日 特許庁 / 特許 | 連結機構の回転中心位置決定方法、および連結機構の回転中心位置決定プログラム FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-B24B 53/017 Z, FI分類-H01L 21/304 622 M |
2015年12月21日 特許庁 / 特許 | 回転体の最大押付荷重決定方法、および回転体の最大押付荷重決定プログラム FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-B24B 53/00 A, FI分類-B24B 53/12 Z, FI分類-B24B 37/005 A, FI分類-B24B 53/017 A, FI分類-H01L 21/304 622 M |
2015年12月18日 特許庁 / 特許 | 基板搬送用移載機及び基板移載方法 FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-B65G 49/07 F, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/304 621 E, FI分類-H01L 21/304 622 L |
2015年12月18日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、制御方法及びプログラム FI分類-B24B 37/00 Z, FI分類-B24B 37/04 P, FI分類-B24B 37/04 V, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 G, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2015年12月18日 特許庁 / 特許 | 基板搬送用移載機及び基板移載方法 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-B65G 49/07 F, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 601 B |
2015年12月16日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置およびその品質保証方法 FI分類-B24B 37/00 X, FI分類-H01L 21/02 Z, FI分類-G05B 19/418 Z, FI分類-H01L 21/304 622 Z |
2015年12月11日 特許庁 / 特許 | 油貯留構造体および流体継手 FI分類-F16D 33/18, FI分類-G01F 23/02 E, FI分類-G01F 23/56 Z |
2015年12月10日 特許庁 / 特許 | 放射性セシウム及び放射性ストロンチウムを含む放射性廃液の処理方法 FI分類-B01J 20/10 C, FI分類-B01J 20/28 Z, FI分類-G21F 9/12 501 D, FI分類-G21F 9/12 501 J |
2015年12月09日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-F04B 49/10 311, FI分類-F04B 49/06 321 A |
2015年12月07日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置、基板処理装置の真空吸着テーブルから基板を脱着する方法、及び、基板処理装置の真空吸着テーブルに基板を載置する方法 FI分類-B24B 29/00 N, FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 622 L |
2015年12月04日 特許庁 / 特許 | 給水システム FI分類-E03B 5/02 |
2015年11月30日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置 FI分類-F04D 13/08 U, FI分類-F04D 13/08 Z, FI分類-F04D 15/00 B, FI分類-F04D 15/00 J |
2015年11月27日 特許庁 / 特許 | キャリブレーション装置及びキャリブレーション方法 FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 21/18 Z |
2015年11月26日 特許庁 / 特許 | ポンプ FI分類-F04D 29/02, FI分類-F04D 15/00 L, FI分類-F04D 29/00 B, FI分類-F04D 29/42 F |
2015年11月26日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置 FI分類-F04B 53/00 J, FI分類-F04B 53/08 E, FI分類-F04D 13/08 F, FI分類-F04D 13/08 U, FI分類-F04D 29/00 B, FI分類-F04D 29/58 A |
2015年11月26日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置 FI分類-H02M 7/48 M, FI分類-H02M 7/48 Z, FI分類-F04D 13/08 F, FI分類-F04D 13/08 U, FI分類-F04D 27/00 B, FI分類-F04D 27/00 H |
2015年11月25日 特許庁 / 特許 | 多段ポンプ FI分類-F04D 1/08 C, FI分類-F04D 29/44 D, FI分類-F04D 29/44 E |
2015年11月25日 特許庁 / 特許 | 情報処理システム及び情報処理方法 FI分類-F04B 49/10 311, FI分類-G05B 23/02 301 V, FI分類-G05B 23/02 301 X, FI分類-G05B 23/02 302 R |
2015年11月25日 特許庁 / 特許 | 情報処理システム及び情報処理方法 FI分類-G05B 23/02 301 V, FI分類-G05B 23/02 301 X, FI分類-G05B 23/02 302 R |
2015年11月24日 特許庁 / 特許 | 研磨方法 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/04 K, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2015年11月19日 特許庁 / 特許 | 基板保持装置 FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 648 Z |
2015年11月19日 特許庁 / 特許 | 水中ポンプ FI分類-F16K 15/02, FI分類-F04D 13/08 X, FI分類-F04D 29/66 E |
2015年11月18日 特許庁 / 特許 | リーマボルトおよびリーマボルトの取り外し方法 FI分類-F16B 5/02 F, FI分類-F16B 37/00 Z, FI分類-F16B 37/04 C |
2015年11月17日 特許庁 / 特許 | バフ処理装置および基板処理装置 FI分類-B24B 37/04 Z, FI分類-H01L 21/304 621 D |
2015年11月17日 特許庁 / 特許 | バフ処理装置および基板処理装置 FI分類-B24B 55/06, FI分類-B24B 29/00 N, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 B, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 644 G |
2015年11月17日 特許庁 / 特許 | バフ処理装置および基板処理装置 FI分類-B24B 55/06, FI分類-B24B 29/00 J, FI分類-B24B 29/00 N, FI分類-B24B 37/12 D, FI分類-H01L 21/304 622 Z |
2015年11月16日 特許庁 / 特許 | 液封式電動機およびこれに用いられるスリーブ付き電源ケーブルの製造方法 FI分類-H02K 5/22, FI分類-H02K 5/132, FI分類-H01B 13/00 511 Z |
2015年11月11日 特許庁 / 特許 | 排ガス処理装置 FI分類-G01N 21/72, FI分類-F23G 7/06 D, FI分類-F23N 5/08 ZABA, FI分類-F23G 7/06 101 D |
2015年11月06日 特許庁 / 特許 | 渦防止装置、および渦防止装置を備えるポンプ設備 FI分類-F04D 13/16 W, FI分類-F04D 29/44 E, FI分類-F04D 29/66 F |
2015年11月06日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置 FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 643 C, FI分類-H01L 21/304 643 D |
2015年11月06日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置 FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 643 C |
2015年11月06日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置 FI分類-H01L 21/304 646, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 643 C, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 647 Z |
2015年10月30日 特許庁 / 特許 | 排ガス処理装置 FI分類-F23G 7/06 N, FI分類-F23G 7/06 101 B |
2015年10月30日 特許庁 / 特許 | 排ガス処理装置 FI分類-F23G 7/06 N, FI分類-B01D 47/02 ZABA, FI分類-F23G 7/06 101 A |
2015年10月30日 特許庁 / 特許 | ワークピースを研磨するための化学機械研磨装置 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/005 Z |
2015年10月29日 特許庁 / 特許 | ポンプ制御装置およびポンプ制御方法ならびに排水システム FI分類-E03F 5/22, FI分類-F04D 15/00 J, FI分類-F04B 49/02 311, FI分類-F04B 49/06 311 |
2015年10月27日 特許庁 / 特許 | 電磁石制御装置および電磁石システム FI分類-H01F 7/20 Z, FI分類-H05H 1/46 A, FI分類-H05H 1/46 R, FI分類-H03K 17/687 B, FI分類-H01L 21/302 101 G |
2015年10月21日 特許庁 / 特許 | 抽出システム、診断システム、抽出方法及びプログラム FI分類-G05B 23/02 V |
2015年10月20日 特許庁 / 特許 | 研磨装置 FI分類-B24B 47/26, FI分類-B24B 49/14, FI分類-B24B 37/00 J, FI分類-B24B 37/00 X, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2015年10月20日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 644 B, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2015年10月20日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄ロール、基板洗浄装置、及び基板洗浄方法 FI分類-H01L 21/304 644 C |
2015年10月19日 特許庁 / 特許 | 横軸ポンプ FI分類-F04D 29/70 G, FI分類-F04D 29/046 B, FI分類-F04D 29/046 D, FI分類-F04D 11/00 101 |
2015年10月14日 特許庁 / 特許 | 基板保持装置および基板研磨装置ならびに基板保持装置の製造方法 FI分類-B24B 37/04 P, FI分類-H01L 21/304 622 G |
2015年10月09日 特許庁 / 特許 | 表示盤及び排水機場 FI分類-G09F 13/00 W, FI分類-G09F 13/04 Z, FI分類-G09F 13/20 Z, FI分類-H02J 17/00 B, FI分類-H02J 17/00 X, FI分類-H02J 7/00 301 D |
2015年10月09日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-F04D 15/00 A, FI分類-F04D 15/00 J, FI分類-F04B 49/10 311 |
2015年10月08日 特許庁 / 特許 | 遠心ポンプ用の羽根車組立体 FI分類-F04D 1/08 B, FI分類-F04D 29/22 C, FI分類-F04D 29/22 E, FI分類-F04D 29/24 C, FI分類-F04D 29/24 D |
2015年10月07日 特許庁 / 特許 | すべり軸受装置 FI分類-F16C 33/06, FI分類-F16C 33/18, FI分類-F04D 13/00 D, FI分類-F04D 13/00 L, FI分類-F16C 17/02 Z, FI分類-F16C 33/24 A, FI分類-F16C 33/24 Z, FI分類-F16C 37/00 A, FI分類-F04D 29/046 A |
2015年10月01日 特許庁 / 特許 | ターボ形ポンプ FI分類-F04D 29/044, FI分類-F04D 29/60 D, FI分類-F04D 29/62 A |
2015年09月28日 特許庁 / 特許 | 研磨方法 FI分類-B24B 37/00 B, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 K |
2015年09月25日 特許庁 / 特許 | すべり軸受装置 FI分類-F16C 33/20, FI分類-F16C 17/02 Z, FI分類-F16C 33/24 A, FI分類-F16C 33/24 Z |
2015年09月16日 特許庁 / 特許 | 渦電流センサ FI分類-G01B 7/06 M, FI分類-B24B 37/04 K, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2015年09月14日 特許庁 / 特許 | 反転機および基板研磨装置 FI分類-B24B 7/04 Z, FI分類-B65G 49/07 D, FI分類-B65G 49/07 F, FI分類-H01L 21/68 A |
2015年09月14日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダおよびめっき装置 FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/08 Q, FI分類-C25D 17/08 S |
2015年09月04日 特許庁 / 特許 | めっき方法 FI分類-C25D 21/04, FI分類-C25D 21/00 A, FI分類-C25D 21/14 A, FI分類-H01L 21/288 E |
2015年09月04日 特許庁 / 特許 | 排水機場および排水方法 FI分類-E03B 3/04, FI分類-E03B 5/00 Z, FI分類-F04D 13/00 A |
2015年09月02日 特許庁 / 特許 | 研磨装置及び研磨方法 FI分類-B24B 37/04 N, FI分類-H01L 21/304 622 G, FI分類-H01L 21/304 622 K |
2015年08月31日 特許庁 / 特許 | 水中モータポンプ、および水中モータポンプに用いられる取付部材 FI分類-F04D 13/10, FI分類-H02K 5/132, FI分類-F04D 13/08 F, FI分類-F04D 13/08 L, FI分類-F04D 13/08 Q, FI分類-F04D 29/58 D |
2015年08月31日 特許庁 / 特許 | 水中モータポンプ、および水中モータポンプにおいて用いられる取付部材 FI分類-F04D 13/00 G, FI分類-F04D 13/08 F |
2015年08月28日 特許庁 / 特許 | めっき装置、めっき方法、及び基板ホルダ FI分類-C25D 5/02 B, FI分類-C25D 17/08 R, FI分類-C25D 21/00 E, FI分類-C25D 21/12 A, FI分類-H01L 21/88 B, FI分類-H01L 21/88 K, FI分類-H01L 21/288 E |
2015年08月28日 特許庁 / 特許 | 海水淡水化システムおよびエネルギー回収装置 FI分類-B01D 61/06, FI分類-C02F 1/44 G |
2015年08月28日 特許庁 / 特許 | めっき装置、めっき方法、及び基板ホルダ FI分類-C25D 17/08 R, FI分類-C25D 21/00 A, FI分類-C25D 21/12 A |
2015年08月27日 特許庁 / 特許 | ポンプシステム及び制御装置 FI分類-F04D 13/08 U, FI分類-F04D 15/00 B, FI分類-F04D 15/00 J, FI分類-H02P 7/63 302 Z |
2015年08月24日 特許庁 / 特許 | 測定方法、傾向管理方法及び診断方法。 FI分類-G01N 29/07, FI分類-G01S 17/89, FI分類-G01B 11/24 A, FI分類-G01B 17/02 B |
2015年08月19日 特許庁 / 特許 | ターボ機械 FI分類-F04D 23/00 B, FI分類-F04D 29/66 A, FI分類-F04D 29/66 H, FI分類-F04D 11/00 101 |
2015年08月18日 特許庁 / 特許 | 基板吸着方法、トップリングおよび基板研磨装置 FI分類-B24B 49/08, FI分類-B24B 37/04 H, FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-H01L 21/68 P, FI分類-H01L 21/304 622 H |
2015年08月12日 特許庁 / 特許 | 材料の疲労特性の評価方法 FI分類-G01J 5/48 A, FI分類-G01N 3/32 H, FI分類-G01N 3/34 A, FI分類-G01N 25/20 Z, FI分類-G01J 5/00 101 Z |
2015年08月12日 特許庁 / 特許 | 構造体の余寿命を推定する方法 FI分類-G01J 5/48 C, FI分類-G01N 3/32 E, FI分類-G01N 3/34 C, FI分類-G01N 25/20 Z |
2015年08月03日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-F04D 15/02, FI分類-F04D 15/00 G, FI分類-F04B 49/10 311 |
2015年07月27日 特許庁 / 特許 | スイッチドリラクタンスモータのセンサレス駆動装置、および該センサレス駆動装置を備えたモータ装置 FI分類-H02P 5/00 501 |
2015年07月27日 特許庁 / 特許 | 真空ポンプ装置 FI分類-H02K 1/16, FI分類-H02K 16/02, FI分類-H02K 1/02 B, FI分類-H02K 7/14 B, FI分類-F04C 18/18 C, FI分類-F04C 25/02 K, FI分類-F04C 29/00 B, FI分類-F04C 29/00 T, FI分類-F04C 29/00 U, FI分類-F04B 39/00 106 E |
2015年07月27日 特許庁 / 特許 | 真空ポンプ装置 FI分類-H02K 1/02 B, FI分類-H02K 7/14 B, FI分類-F04C 23/02 H, FI分類-F04C 25/02 K, FI分類-F04C 29/00 T, FI分類-F04B 39/00 106 E |
2015年07月27日 特許庁 / 特許 | ポンプ FI分類-F04D 29/08 B, FI分類-F04D 29/08 E, FI分類-F04D 29/12 A, FI分類-F04D 29/42 E, FI分類-F04D 29/42 M, FI分類-F16J 15/10 D |
2015年07月23日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置、基板処理システム、および基板処理方法 FI分類-H01L 21/306 D, FI分類-H01L 21/306 R, FI分類-H01L 21/304 621 D |
2015年07月17日 特許庁 / 特許 | シチナカイト構造を有するシリコチタネートを用いるセシウム又はストロンチウムの少なくともいずれかの吸着方法 FI分類-C01B 39/00, FI分類-C02F 1/28 E, FI分類-B01J 20/10 C, FI分類-B01J 20/28 Z, FI分類-G21F 9/12 501 D |
2015年07月15日 特許庁 / 特許 | 気液分離器及び研磨装置 FI分類-B01D 19/02, FI分類-B24B 57/00, FI分類-B01D 19/00 B, FI分類-B24B 37/00 X |
2015年07月10日 特許庁 / 特許 | ファンスクラバー、及び、真空ポンプ装置 FI分類-F23J 15/04, FI分類-B01D 47/06 B, FI分類-F04D 29/28 Q, FI分類-F04D 29/62 D, FI分類-F04D 29/70 Q |
2015年07月10日 特許庁 / 特許 | ポンプ及びこれを備えたポンプ機場 FI分類-F04D 13/16 Y, FI分類-F04D 29/00 B, FI分類-F04D 29/58 D, FI分類-F04D 29/60 D, FI分類-F04D 29/046 C |
2015年07月09日 特許庁 / 特許 | すべり軸受装置 FI分類-F04D 29/04 T, FI分類-F16C 17/02 Z, FI分類-F16C 33/24 Z, FI分類-F04D 29/046 A |
2015年07月09日 特許庁 / 特許 | 立軸ポンプ FI分類-F04D 13/00 D, FI分類-F04D 13/00 L, FI分類-F04D 29/66 A, FI分類-F04D 29/046 A |
2015年07月06日 特許庁 / 特許 | ファンスクラバー、及び、真空ポンプ装置 FI分類-B01D 53/46, FI分類-B01D 53/78, FI分類-B01D 47/06 B, FI分類-F04B 37/16 Z, FI分類-B01D 53/18 120, FI分類-B01D 53/68 120 |
2015年07月06日 特許庁 / 特許 | キャンドモータ FI分類-H02K 5/128 |
2015年06月29日 特許庁 / 特許 | 洗浄装置及びロール洗浄部材 FI分類-F16C 13/00 E, FI分類-H01L 21/304 644 C |
2015年06月29日 特許庁 / 特許 | ポンプ FI分類-F04D 29/08 B, FI分類-F04D 29/60 E, FI分類-F04D 29/70 G, FI分類-F04D 29/18 101 Z |
2015年06月29日 特許庁 / 特許 | 金属検知用センサー及び該センサーを用いた金属検知方法 FI分類-G01V 3/10 G |
2015年06月26日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置 FI分類-F04D 7/04 K, FI分類-F04D 7/04 M, FI分類-F04F 5/10 E, FI分類-F04D 13/12 A |
2015年06月26日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置 FI分類-F04D 7/04 K, FI分類-F04D 7/04 M, FI分類-F04D 13/12 A, FI分類-F04D 29/70 G |
2015年06月18日 特許庁 / 特許 | めっき装置の調整方法及び測定装置 FI分類-C25D 17/00 K, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/08 R, FI分類-C25D 21/00 K, FI分類-G01B 21/00 A |
2015年06月05日 特許庁 / 特許 | 研磨装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/00 X, FI分類-B24B 37/04 K, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2015年06月04日 特許庁 / 特許 | ヨウ素化合物吸着剤及びその製造方法並びにヨウ素化合物吸着剤を用いる放射性廃液の処理方法及び装置 FI分類-B01J 20/06 A, FI分類-B01J 20/06 B, FI分類-B01J 20/28 Z, FI分類-G21F 9/12 501 B, FI分類-G21F 9/12 501 J, FI分類-G21F 9/12 501 K |
2015年05月28日 特許庁 / 特許 | 電磁石制御装置及び電磁石制御方法 FI分類-H01F 7/18 S, FI分類-H01L 21/205, FI分類-H01L 21/302 101 B |
2015年05月25日 特許庁 / 特許 | 給水装置、監視装置、及び、給水システム FI分類-E03B 5/02, FI分類-F04D 15/00 F |
2015年05月22日 特許庁 / 特許 | 真空ポンプ装置 FI分類-H02P 5/40, FI分類-F04B 49/02 331 B, FI分類-F04B 49/06 341 E, FI分類-F04B 49/06 341 J |
2015年05月15日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、及び、研磨方法 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 37/04 K, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2015年05月15日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置、遠隔制御装置、及び、ポンプ装置の制御方法 FI分類-F04D 15/00 A, FI分類-F04D 15/00 F |
2015年05月11日 特許庁 / 特許 | 電磁石装置 FI分類-H05H 1/46 A, FI分類-C23C 14/35 Z, FI分類-H01L 21/302 101 B |
2015年05月08日 特許庁 / 特許 | 研磨装置 FI分類-B24B 37/04 N, FI分類-B24B 37/04 P, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 G |
2015年04月27日 特許庁 / 特許 | カップリングガード FI分類-F16D 3/84 A, FI分類-F04D 29/60 E, FI分類-F04D 29/043 Z |
2015年04月24日 特許庁 / 特許 | すべり軸受装置及びこれを備えたポンプ FI分類-F04D 29/02, FI分類-F16C 17/14, FI分類-F04D 13/00 D, FI分類-F04D 13/00 L, FI分類-F16C 17/02 Z, FI分類-F16C 33/20 A, FI分類-F04D 29/046 Z |
2015年04月23日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-B24B 37/04 Z, FI分類-H01L 21/66 K, FI分類-H01L 21/304 622 Z, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2015年04月23日 特許庁 / 特許 | 基板電解処理装置、および該基板電解処理装置に使用されるパドル FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 21/10 301 |
2015年04月17日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置、基板処理システム、および基板処理方法 FI分類-H01L 21/306 M, FI分類-H01L 21/304 621 D |
2015年04月17日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置、基板処理システム、および基板処理方法 FI分類-H01L 21/306 M, FI分類-H01L 21/304 621 Z |
2015年04月17日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置、基板処理システム、および基板処理方法 FI分類-H01L 21/306 M, FI分類-H01L 21/304 621 Z |
2015年04月17日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置、基板処理システム、および基板処理方法 FI分類-H01L 21/306 M, FI分類-H01L 21/304 621 B, FI分類-H01L 21/304 622 F, FI分類-H01L 21/304 622 M |
2015年04月10日 特許庁 / 特許 | 研磨方法 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/013, FI分類-H01L 21/304 622 N, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2015年04月08日 特許庁 / 特許 | 膜厚測定方法、膜厚測定装置、研磨方法、および研磨装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/04 K, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-G01B 11/06 101 G, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2015年04月06日 特許庁 / 特許 | 給水装置および交換表示案内方法 FI分類-G05B 23/02 V |
2015年04月06日 特許庁 / 特許 | 給水装置 FI分類-G05B 23/02 T |
2015年04月01日 特許庁 / 特許 | 排水ポンプ機場、ポンプ管理方法、及びポンプ管理システム FI分類-F04D 15/02, FI分類-F04D 13/00 A, FI分類-F04D 15/00 A, FI分類-F04D 29/04 U |
2015年03月30日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置、及び、ポンプ装置の監視方法 FI分類-F04D 15/00 K, FI分類-F04D 15/00 Z |
2015年03月27日 特許庁 / 特許 | 渦巻ポンプ FI分類-F04D 7/04 D, FI分類-F04D 7/04 H, FI分類-F04D 7/04 J, FI分類-F04D 29/70 G |
2015年03月25日 特許庁 / 特許 | 圧力校正用治具、及び、基板処理装置 FI分類-B24B 49/08, FI分類-B24B 37/04 N, FI分類-H01L 21/304 622 K |
2015年03月25日 特許庁 / 特許 | 真空排気システム FI分類-F04B 37/16 A, FI分類-F04B 37/16 D, FI分類-F04B 49/06 341 J, FI分類-F04B 49/06 341 L |
2015年03月25日 特許庁 / 特許 | めっき装置、および基板ホルダの電気接点の電気抵抗を決定する方法 FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 21/00 J, FI分類-C25D 21/12 C |
2015年03月25日 特許庁 / 特許 | ポンプ運転台数制御方法およびポンプ装置 FI分類-F04D 15/00 D, FI分類-F04D 15/00 J, FI分類-F04B 49/06 321 B |
2015年03月25日 特許庁 / 特許 | 真空排気システム FI分類-F04B 41/06, FI分類-F04B 37/16 A, FI分類-F04B 37/16 H |
2015年03月24日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-C25D 17/00 C, FI分類-H01L 21/306 J |
2015年03月24日 特許庁 / 特許 | ポンプ FI分類-B01D 61/10, FI分類-F04D 1/08 Z, FI分類-F04D 29/041, FI分類-F04D 29/60 B, FI分類-F04D 15/00 102 |
2015年03月23日 特許庁 / 特許 | モータ FI分類-H02K 5/22 |
2015年03月23日 特許庁 / 特許 | 多段ポンプ FI分類-F04D 29/041, FI分類-F04D 29/44 A, FI分類-F04D 29/44 E, FI分類-F04D 29/66 B, FI分類-F04D 15/00 101 C |
2015年03月20日 特許庁 / 特許 | 弾性膜、基板保持装置、および研磨装置 FI分類-B24B 37/04 L, FI分類-B24B 37/04 N, FI分類-H01L 21/304 622 K |
2015年03月20日 特許庁 / 特許 | 弾性膜、基板保持装置、および研磨装置 FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-H01L 21/304 622 K |
2015年03月19日 特許庁 / 特許 | 液封式モータ、および、液封式モータの製造方法 FI分類-H02K 5/132, FI分類-H02K 5/08 A, FI分類-H02K 15/12 D |
2015年03月19日 特許庁 / 特許 | 研磨装置およびその制御方法ならびにドレッシング条件出力方法 FI分類-B24B 37/00 A, FI分類-B24B 53/00 Z, FI分類-H01L 21/304 622 M |
2015年03月19日 特許庁 / 特許 | 研磨装置およびその制御方法ならびにドレッシング条件出力方法 FI分類-B24B 53/02, FI分類-B24B 37/005 Z, FI分類-B24B 53/017 Z, FI分類-H01L 21/304 622 M |
2015年03月13日 特許庁 / 特許 | エネルギー回収システム FI分類-B01D 61/06, FI分類-B01D 61/58, FI分類-F03B 17/06, FI分類-C02F 1/44 G, FI分類-F03G 7/00 G, FI分類-F01K 25/00 E, FI分類-B01D 61/02 500 |
2015年03月12日 特許庁 / 特許 | 洗浄薬液供給装置、洗浄薬液供給方法、及び洗浄ユニット FI分類-B01F 3/08 Z, FI分類-B01F 15/02 A, FI分類-B01F 15/04 A, FI分類-H01L 21/304 648 G, FI分類-H01L 21/304 648 K |
2015年03月11日 特許庁 / 特許 | 半導体デバイス製造装置の構成部品を交換する装置 FI分類-B24B 37/04 A, FI分類-H01L 21/02 Z, FI分類-H01L 21/304 621 D |
2015年03月10日 特許庁 / 特許 | 液封式モータ、及び、ポンプ装置 FI分類-H02K 5/12, FI分類-F04B 15/04, FI分類-H02K 9/197, FI分類-H02K 7/14 B |
2015年03月10日 特許庁 / 特許 | 電子線検査装置 FI分類-H01J 37/18, FI分類-H01J 37/20 G |
2015年03月09日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置、基板洗浄方法、および基板処理装置 FI分類-H01L 21/304 644 E, FI分類-H01L 21/304 644 G, FI分類-H01L 21/304 644 Z |
2015年03月05日 特許庁 / 特許 | めっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-C25D 21/00 J |
2015年03月04日 特許庁 / 特許 | 洗浄装置及び洗浄方法 FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2015年03月04日 特許庁 / 特許 | 洗浄装置及び洗浄方法 FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 643 C, FI分類-H01L 21/304 644 B, FI分類-H01L 21/304 644 C |
2015年03月04日 特許庁 / 特許 | 洗浄装置及び洗浄方法 FI分類-H01L 21/304 644 C |
2015年03月04日 特許庁 / 特許 | 洗浄装置及び洗浄方法 FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 643 C, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 647 Z, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2015年02月27日 特許庁 / 特許 | 廃油固化体の製造方法及び製造装置 FI分類-G21F 9/16 551, FI分類-G21F 9/30 581 C |
2015年02月26日 特許庁 / 特許 | 液体ポンプのメインテナンス・スケジューラ FI分類-G01M 99/00 A |
2015年02月26日 特許庁 / 特許 | 液体ポンプのメインテナンス・スケジューラ FI分類-F04B 51/00, FI分類-G01M 99/00 A, FI分類-G06Q 10/00 300 |
2015年02月24日 特許庁 / 特許 | 荷重測定装置および荷重測定方法 FI分類-G01L 5/00 C, FI分類-G01L 25/00 B, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 644 G, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2015年02月20日 特許庁 / 特許 | 除塵設備およびその製造方法、排水機場、ならびに、塵芥の除去方法 FI分類-E02B 5/08 101 Z |
2015年02月19日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置および方法 FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2015年02月19日 特許庁 / 特許 | ドライ真空ポンプ装置およびその制御方法 FI分類-H02P 7/36 302 H, FI分類-H02P 7/63 302 C, FI分類-H02P 7/63 303 V |
2015年02月18日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置および方法 FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 644 Z |
2015年02月18日 特許庁 / 特許 | 給水システム FI分類-E03B 5/00 B |
2015年02月13日 特許庁 / 特許 | アノードユニットおよび該アノードユニットを備えためっき装置 FI分類-C25D 21/00 J |
2015年02月05日 特許庁 / 特許 | 作業車両 FI分類-B60P 3/00 U |
2015年01月22日 特許庁 / 特許 | 立軸ポンプ FI分類-F04D 13/00 D, FI分類-F04D 13/00 L, FI分類-F04D 29/04 U, FI分類-F16C 17/02 Z, FI分類-F16C 33/74 Z, FI分類-F04D 29/046 A |
2015年01月22日 特許庁 / 特許 | 非接触環状シール及びこれを備える回転機械 FI分類-F04D 29/16, FI分類-F04D 1/08 Z, FI分類-F16J 15/44 B |
2015年01月20日 特許庁 / 特許 | 電子光学装置及び検査装置 FI分類-H01J 37/29, FI分類-H01J 37/244, FI分類-H01J 37/285 |
2015年01月19日 特許庁 / 特許 | 電動機 FI分類-H02K 1/28 A |
2015年01月14日 特許庁 / 特許 | 真空式排液収集システムおよび排液収集方法 FI分類-E03F 5/22 |
2015年01月14日 特許庁 / 特許 | 真空式排液収集システムおよび排液収集方法 FI分類-E03F 5/22 |
2015年01月07日 特許庁 / 特許 | めっき方法およびめっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 21/12 A, FI分類-C25D 21/12 C, FI分類-C25D 21/14 B |
2015年01月07日 特許庁 / 特許 | めっき方法およびめっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 21/12 A |
2015年01月07日 特許庁 / 特許 | めっき方法およびめっき装置 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 21/12 A, FI分類-C25D 21/12 C |
2015年01月06日 特許庁 / 特許 | 基板研磨装置 FI分類-B24B 49/10, FI分類-E05B 47/00 R, FI分類-E05B 65/00 D |
2014年12月26日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ、基板ホルダで基板を保持する方法、及びめっき装置 FI分類-C25D 5/02 D, FI分類-C25D 5/02 J, FI分類-H01L 21/68 N |
2014年12月26日 特許庁 / 特許 | 研磨パッドの表面性状測定方法および装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 49/18, FI分類-B24B 37/00 A, FI分類-B24B 37/00 X, FI分類-G01B 11/30 Z, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 M |
2014年12月26日 特許庁 / 特許 | 研磨装置およびその制御方法 FI分類-B24B 37/00 A, FI分類-B24B 53/00 A, FI分類-H01L 21/304 622 M |
2014年12月26日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ、基板ホルダで基板を保持する方法、及びめっき装置 FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-C25D 21/12 A, FI分類-H01L 21/68 N |
2014年12月25日 特許庁 / 特許 | すべり軸受装置 FI分類-F16C 17/02 Z, FI分類-F16C 33/20 A |
2014年12月23日 特許庁 / 特許 | 除害機能付真空ポンプ FI分類-H01L 21/205, FI分類-C23C 14/00 B, FI分類-C23C 16/44 E, FI分類-F04B 37/16 C, FI分類-F04C 23/00 F, FI分類-F04C 25/02 ZABK, FI分類-B01D 53/34 120 A, FI分類-B01D 53/34 134 A, FI分類-B01D 53/34 134 C, FI分類-B01D 53/34 134 E, FI分類-H01L 21/302 101 G |
2014年12月22日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-B24B 37/00 X, FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/304 643, FI分類-H01L 21/304 622 L, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 648 A |
2014年12月18日 特許庁 / 特許 | ドライ真空ポンプ、およびドライ真空ポンプの製造方法 FI分類-F04C 25/02 K, FI分類-F04C 25/02 M, FI分類-F04C 29/00 T, FI分類-F04C 29/04 C |
2014年12月18日 特許庁 / 特許 | 除害機能付真空ポンプ FI分類-F04B 37/16 D, FI分類-B01D 53/34 ZAB, FI分類-B01D 53/34 120 A, FI分類-B01D 53/34 120 D, FI分類-B01D 53/34 134 A, FI分類-B01D 53/34 134 C, FI分類-B01D 53/34 134 E, FI分類-H01L 21/302 101 G |
2014年12月15日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置および基板処理装置 FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 B, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 644 Z |
2014年11月20日 特許庁 / 特許 | 洗浄具、洗浄具の製造方法、および、基板洗浄装置 FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 644 G |
2014年11月20日 特許庁 / 特許 | 研磨面洗浄装置、研磨装置、および研磨面洗浄装置の製造方法 FI分類-B08B 3/02 A, FI分類-B24B 53/007, FI分類-B24B 37/00 A, FI分類-B24B 37/00 X, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 643 Z |
2014年11月20日 特許庁 / 特許 | めっき装置及びめっき方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 5/02 D, FI分類-C25D 5/02 E, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/10 A, FI分類-C25D 21/12 A, FI分類-H01L 21/288 E |
2014年11月20日 特許庁 / 特許 | 洗浄具、洗浄具の製造方法、および、基板洗浄装置 FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 644 G |
2014年11月18日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置、基板処理装置、および基板洗浄方法 FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 643 Z, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2014年11月14日 特許庁 / 特許 | 基板保持装置 FI分類-H01L 21/68 N |
2014年11月11日 特許庁 / 特許 | 研磨装置 FI分類-B24B 37/04 L, FI分類-B24B 37/04 N, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 K |
2014年11月10日 特許庁 / 特許 | 真空式汚水収集装置のための中央監視装置、監視システムおよび監視方法 FI分類-E03F 3/02, FI分類-E03F 5/22, FI分類-E03F 7/00 |
2014年11月10日 特許庁 / 特許 | 研磨装置及び研磨方法 FI分類-B24B 37/04 N, FI分類-B24B 37/04 Q, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 K |
2014年11月10日 特許庁 / 特許 | 真空式汚水収集装置のための中央監視装置、監視システムおよび監視方法 FI分類-E03F 7/00 |
2014年11月06日 特許庁 / 特許 | 磁気浮上型ポンプ FI分類-F04D 29/048, FI分類-F04D 13/06 D, FI分類-F04D 13/06 H |
2014年10月31日 特許庁 / 特許 | ロール部材、ペンシル部材、及びそれらの少なくともいずれか一方を含む基板処理装置 FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 C |
2014年10月22日 特許庁 / 特許 | 海水淡水化システムおよびエネルギー回収装置 FI分類-B01D 61/06, FI分類-B01D 61/10, FI分類-B01D 61/12, FI分類-B01D 65/00, FI分類-C02F 1/44 G, FI分類-G01F 1/00 X, FI分類-B01D 61/02 500 |
2014年10月10日 特許庁 / 特許 | バフ処理装置、および、基板処理装置 FI分類-B24B 37/00 K, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2014年10月09日 特許庁 / 特許 | 研磨装置、及び、処理方法 FI分類-B24B 37/00 X, FI分類-B24B 53/00 J, FI分類-H01L 21/304 622 L, FI分類-H01L 21/304 622 M, FI分類-H01L 21/304 622 Q |
2014年10月03日 特許庁 / 特許 | 処理コンポーネント、処理モジュール、及び、処理方法 FI分類-B24B 41/047, FI分類-B24B 37/00 X, FI分類-B24B 37/04 G, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 C |
2014年09月30日 特許庁 / 特許 | 配管接続方法 FI分類-F16L 23/02 D |
2014年09月26日 特許庁 / 特許 | 真空ポンプおよびその運転方法 FI分類-F04B 49/02 331 A, FI分類-F04B 49/10 331 K |
2014年09月26日 特許庁 / 特許 | 真空ポンプおよびその運転方法 FI分類-F04B 49/10 331 K |
2014年09月25日 特許庁 / 特許 | 真空ポンプ FI分類-F04B 37/16 Z, FI分類-F04B 41/00 D |
2014年09月25日 特許庁 / 特許 | コンディショニング部、バフ処理モジュール、基板処理装置、及び、ドレスリンス方法 FI分類-B24B 37/00 A, FI分類-B24B 53/12 Z, FI分類-H01L 21/304 622 M, FI分類-H01L 21/304 643 Z |
2014年09月17日 特許庁 / 特許 | 研磨装置および研磨方法 FI分類-B24B 37/00 B, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2014年09月17日 特許庁 / 特許 | 膜厚信号処理装置、研磨装置、膜厚信号処理方法、及び、研磨方法 FI分類-B24B 37/00 X, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2014年09月17日 特許庁 / 特許 | 膜厚信号処理装置、研磨装置、膜厚信号処理方法、及び、研磨方法 FI分類-B24B 37/34, FI分類-B24B 37/013, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-H01L 21/304 622 R, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2014年09月12日 特許庁 / 特許 | 研磨方法および研磨装置 FI分類-B24B 37/00 X, FI分類-B24B 37/04 N, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 L |
2014年09月11日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-B24B 37/00 A, FI分類-B24B 53/00 Z, FI分類-H01L 21/304 622 M, FI分類-H01L 21/304 644 C |
2014年09月11日 特許庁 / 特許 | 送水管路系のキャビテーションサージを緩和および防止するための装置および方法 FI分類-F04D 15/00 K |
2014年09月11日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-B24B 55/06, FI分類-B24B 53/017 A, FI分類-H01L 21/304 622 M |
2014年09月11日 特許庁 / 特許 | 送水管路系のキャビテーションサージを緩和および防止するための装置および方法 FI分類-F04D 15/00 K, FI分類-F04D 29/42 A, FI分類-F04D 29/42 E, FI分類-F04D 29/42 G, FI分類-F04D 29/66 B |
2014年09月02日 特許庁 / 特許 | 終点検出方法、及び、研磨装置 FI分類-B24B 37/04 K, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2014年09月01日 特許庁 / 特許 | ドア枠の取付構造及び取付方法 FI分類-E06B 1/52, FI分類-E06B 5/20, FI分類-E06B 1/56 B, FI分類-E06B 5/00 E, FI分類-F16F 15/08 E |
2014年09月01日 特許庁 / 特許 | リンス槽および該リンス槽を用いた基板洗浄方法 FI分類-H01L 21/304 642 A, FI分類-H01L 21/304 648 G, FI分類-H01L 21/304 648 K |
2014年09月01日 特許庁 / 特許 | 研磨装置 FI分類-B24B 37/04 P, FI分類-B24B 37/04 Z, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 N, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 644 A |
2014年08月29日 特許庁 / 特許 | 真空式排液収集システム FI分類-E03F 5/22, FI分類-E03C 1/122 Z |
2014年08月28日 特許庁 / 特許 | 研磨方法および研磨装置 FI分類-B24B 37/00 X, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 643 Z |
2014年08月26日 特許庁 / 特許 | バフ処理モジュール、及び、処理装置 FI分類-B24B 29/00 J, FI分類-B24B 37/00 X, FI分類-B24B 37/00 Z, FI分類-H01L 21/304 622 P, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 C |
2014年08月19日 特許庁 / 特許 | 先行待機型ポンプ FI分類-F04D 9/02 A, FI分類-F04D 13/00 L, FI分類-F04D 15/00 L, FI分類-F04D 11/00 101 |
2014年08月12日 特許庁 / 特許 | 防振型防音ドア FI分類-E06B 5/20, FI分類-E06B 3/263 D, FI分類-E06B 3/263 Z |
2014年07月24日 特許庁 / 特許 | 立軸ポンプ FI分類-F16C 17/14, FI分類-F16C 33/06, FI分類-F04D 13/00 D, FI分類-F16C 33/20 A, FI分類-F16C 33/24 A, FI分類-F04D 29/046 B, FI分類-F04D 29/046 D |
2014年07月24日 特許庁 / 特許 | 立軸ポンプ FI分類-F16C 17/02 Z, FI分類-F16C 33/20 Z, FI分類-F16C 35/02 G, FI分類-F04D 29/046 A, FI分類-F04D 29/046 B, FI分類-F04D 29/046 D |
2014年07月14日 特許庁 / 特許 | 立軸ポンプ FI分類-F04D 13/00 D, FI分類-F04D 29/60 D, FI分類-F04D 29/056 B, FI分類-F04D 11/00 101 |
2014年07月11日 特許庁 / 特許 | 故障診断システム及び故障診断方法 FI分類-G05B 23/02 301 Y |
2014年07月09日 特許庁 / 特許 | 研磨装置 FI分類-B24B 37/00 J, FI分類-B24B 37/04 Z, FI分類-H01L 21/304 621 D |
2014年07月08日 特許庁 / 特許 | 液体ポンプ、および、液体ポンプの維持管理方法 FI分類-C23F 13/00 C, FI分類-C23F 13/00 P |
2014年07月07日 特許庁 / 特許 | 水中軸受構造、及び、立軸ポンプ FI分類-F04D 13/00 D, FI分類-F04D 29/046 D |
2014年07月07日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置及び基板搬送方法 FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/306 K, FI分類-H01L 21/30 502 J, FI分類-H01L 21/304 642 B, FI分類-H01L 21/304 648 A |
2014年07月07日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置及び基板搬送方法 FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/306 K, FI分類-H01L 21/304 642 B |
2014年06月26日 特許庁 / 特許 | 洗浄ユニット FI分類-H01L 21/304 648 G, FI分類-H01L 21/304 648 K |
2014年06月24日 特許庁 / 特許 | すべり軸受装置 FI分類-F16C 17/14, FI分類-F04D 13/00 D, FI分類-F04D 13/00 L, FI分類-F16C 17/02 Z, FI分類-F16C 33/12 Z, FI分類-F16C 37/00 A, FI分類-F04D 29/043 Z, FI分類-F04D 29/046 A, FI分類-F04D 29/046 B |
2014年06月23日 特許庁 / 特許 | 研磨パッドの温度調節システムおよびこれを備えた基板処理装置 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 49/14, FI分類-B24B 37/00 J, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2014年06月23日 特許庁 / 特許 | 真空ポンプ装置 FI分類-F04C 25/02 K |
2014年06月23日 特許庁 / 特許 | 真空ポンプユニット FI分類-F04C 25/02 M, FI分類-F04C 29/06 B |
2014年06月18日 特許庁 / 特許 | リフト損失低減装置及びリフト損失低減方法 FI分類-E03F 3/02, FI分類-E03F 5/22 |
2014年06月18日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダを備えためっき装置、およびめっき方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 17/08 R |
2014年06月10日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置 FI分類-H01L 21/304 644 B |
2014年06月10日 特許庁 / 特許 | 腐食壊食防止構造およびこれを備えるポンプ、並びにポンプの製造方法および補修方法 FI分類-F04D 7/06 D, FI分類-F04D 29/08 B, FI分類-F04D 29/42 F, FI分類-F04D 29/42 G |
2014年06月09日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダ用の基板着脱部及びこれを備えた湿式基板処理装置 FI分類-C25D 17/06 A, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/06 H, FI分類-C25D 17/08 M, FI分類-H01L 21/68 A |
2014年06月09日 特許庁 / 特許 | めっき装置及びめっき方法 FI分類-C25D 7/12, FI分類-C25D 21/12 A |
2014年06月06日 特許庁 / 特許 | 研磨装置および研磨方法 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 37/04 K, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2014年06月03日 特許庁 / 特許 | 研磨装置 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/16, FI分類-B24B 37/04 K, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2014年06月02日 特許庁 / 特許 | 研磨液の研磨性能判定方法及び装置 FI分類-B24B 57/02, FI分類-B24B 37/00 K, FI分類-B24B 37/00 X, FI分類-H01L 21/304 622 D, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2014年06月02日 特許庁 / 特許 | 液体ポンプおよび液体ポンプシステム FI分類-F04D 1/08 A, FI分類-F04D 13/12 Z, FI分類-F04D 29/12 B, FI分類-F04D 29/42 E, FI分類-F16J 15/34 Z |
2014年05月30日 特許庁 / 特許 | 研磨装置 FI分類-B24B 37/00 X, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2014年05月30日 特許庁 / 特許 | 真空排気システム FI分類-H01L 21/205, FI分類-C23C 16/44 B, FI分類-C23C 16/44 E, FI分類-F04B 37/16 D, FI分類-H01L 21/31 A, FI分類-B01D 53/34 134 B, FI分類-B01D 53/34 134 D, FI分類-H01L 21/302 101 G |
2014年05月30日 特許庁 / 特許 | 汚水ポンプ用のケーシングライナ及びこれを備えた汚水ポンプ FI分類-F04D 7/04 C, FI分類-F04D 7/04 H, FI分類-F04D 7/04 M, FI分類-F04D 29/24 B, FI分類-F04D 29/24 C, FI分類-F04D 29/42 E |
2014年05月28日 特許庁 / 特許 | テープ貼り付け装置およびテープ貼り付け方法 FI分類-B65H 37/06, FI分類-C09J 7/02 Z, FI分類-B65H 35/07 Q, FI分類-B65H 37/04 B, FI分類-B65H 41/00 Z |
2014年05月26日 特許庁 / 特許 | 研磨装置 FI分類-B24B 55/00, FI分類-B24B 37/00 X |
2014年05月23日 特許庁 / 特許 | 圧力校正用治具、及び、基板処理装置 FI分類-B24B 37/04 N, FI分類-H01L 21/304 622 K |
2014年05月20日 特許庁 / 特許 | 電動モータ及びこれを備えたポンプ FI分類-H02K 7/14 B, FI分類-H02K 21/14 M, FI分類-H02K 21/24 M, FI分類-H02K 1/27 503, FI分類-H02K 1/27 501 C |
2014年05月20日 特許庁 / 特許 | キャンドモータ及びこれを備えた真空ポンプ FI分類-H02K 5/128, FI分類-F04C 25/02 K, FI分類-F04C 29/00 T, FI分類-F04C 29/00 U, FI分類-F04B 39/00 106 C |
2014年05月20日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置および基板洗浄装置で実行される方法 FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 644 C |
2014年05月20日 特許庁 / 特許 | 基板洗浄装置および基板洗浄装置で実行される方法 FI分類-B08B 1/04, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2014年05月16日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置 FI分類-H02K 7/14 A, FI分類-H02K 7/14 B, FI分類-F04B 21/00 E, FI分類-F04B 21/00 V |
2014年05月14日 特許庁 / 特許 | ポンプ装置 FI分類-F04D 5/00 M, FI分類-F04D 15/00 J, FI分類-F04D 15/00 L |
2014年05月14日 特許庁 / 特許 | 研磨テーブル交換装置および研磨テーブルの取り出し方法 FI分類-B24B 37/00 X, FI分類-B24B 37/04 Y, FI分類-H01L 21/304 621 D |
2014年05月12日 特許庁 / 特許 | 真空ポンプ装置 FI分類-F04C 23/00 F, FI分類-F04C 25/02 K, FI分類-F04C 25/02 M, FI分類-F04C 27/00 331 |
2014年05月09日 特許庁 / 特許 | 天板開閉機構及び検査装置 FI分類-F16J 13/22, FI分類-H01L 21/68 A |
2014年04月30日 特許庁 / 特許 | 基板保持装置、研磨装置、研磨方法、およびリテーナリング FI分類-B24B 37/04 P, FI分類-H01L 21/304 622 G |
2014年04月17日 特許庁 / 特許 | 冷却装置、及び、基板処理装置 FI分類-B24B 37/00 J, FI分類-B24B 55/02 Z, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2014年04月16日 特許庁 / 特許 | 基板乾燥装置、制御プログラム、及び基板乾燥方法 FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 648 G, FI分類-H01L 21/304 651 B, FI分類-H01L 21/304 651 L |
2014年04月15日 特許庁 / 特許 | 反転機、基板処理装置、及び、反転機の傾き調整方法 FI分類-B24B 37/00 Z, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/304 621 D |
2014年04月10日 特許庁 / 特許 | ロータリージョイント、及び、研磨装置 FI分類-B24B 37/00 K, FI分類-F16L 27/08 Z, FI分類-H01L 21/304 621 D |
2014年04月10日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-B24B 51/00, FI分類-B24B 37/04 Z, FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 648 H |
2014年04月09日 特許庁 / 特許 | ドレッシング装置、及び半導体製造装置 FI分類-B24D 7/16, FI分類-B24B 53/02, FI分類-B24B 37/00 A, FI分類-B24B 53/00 J, FI分類-H01L 21/304 622 M |
2014年04月09日 特許庁 / 特許 | 横軸ポンプの内部点検装置および内部点検方法 FI分類-F04D 29/60 B, FI分類-F04D 11/00 101 |
2014年04月07日 特許庁 / 特許 | 検査装置において撮像装置用のタイミング信号を生成するための制御装置、撮像装置にタイミング信号を送出する方法 FI分類-G01N 23/225 |
2014年04月04日 特許庁 / 特許 | 検査装置 FI分類-H01J 37/29, FI分類-H01J 37/09 A, FI分類-H01J 37/21 Z, FI分類-H01L 21/66 J |
2014年03月31日 特許庁 / 特許 | 研磨装置の構成部品用のカバー、研磨装置の構成部品、および、研磨装置 FI分類-B24B 55/06, FI分類-B23Q 11/08 Z, FI分類-H01L 21/304 621 D |
2014年03月31日 特許庁 / 特許 | 監視装置 FI分類-G01R 31/02, FI分類-H02P 5/00 T, FI分類-G01R 29/18 C, FI分類-G01R 29/18 Q |
2014年03月31日 特許庁 / 特許 | 研磨装置及び研磨方法 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 49/14, FI分類-B24B 55/00, FI分類-B24B 37/00 J, FI分類-B24B 37/00 X, FI分類-B24B 37/04 Q, FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2014年03月31日 特許庁 / 特許 | 研磨装置および研磨方法 FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-H01L 21/304 622 K |
2014年03月31日 特許庁 / 特許 | 研磨装置の構成部品用のカバー、研磨装置の構成部品、および、研磨装置 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 55/06, FI分類-B23Q 11/08 Z, FI分類-H01L 21/304 622 M |
2014年03月28日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 51/00, FI分類-H01L 21/306 M, FI分類-H01L 21/304 622 N |
2014年03月28日 特許庁 / 特許 | 基板処理方法 FI分類-H01L 21/02 Z, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/304 621 D |
2014年03月28日 特許庁 / 特許 | 海水淡水化システムおよびエネルギー回収装置 FI分類-B01D 61/06, FI分類-C02F 1/44 G |
2014年03月28日 特許庁 / 特許 | 海水淡水化システムおよびエネルギー回収装置 FI分類-B01D 61/06, FI分類-C02F 1/44 G |
2014年03月27日 特許庁 / 特許 | ドライ真空ポンプ装置およびその運転方法 FI分類-F04B 37/16 A, FI分類-G05B 11/32 F, FI分類-H02P 5/41 303 Z, FI分類-F04B 49/06 341 J |
2014年03月27日 特許庁 / 特許 | 反射鏡の姿勢調整構造 FI分類-G01B 9/02, FI分類-G02B 7/18 B, FI分類-H01L 21/30 541 L |
2014年03月27日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置、および基板処理装置の配管洗浄方法 FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 648 G, FI分類-H01L 21/304 648 K, FI分類-H01L 21/304 651 H |
2014年03月26日 特許庁 / 特許 | ポンプ、及びケーシングライナ FI分類-F04D 29/42 E, FI分類-F04D 29/70 F |
2014年03月24日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/06 H, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/68 N |
2014年03月24日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置 FI分類-B65G 49/07 C, FI分類-B65G 49/07 F, FI分類-C25D 17/00 L, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/06 D, FI分類-C25D 17/06 E, FI分類-C25D 17/06 G, FI分類-C25D 17/06 H, FI分類-C25D 17/08 G, FI分類-C25D 19/00 D, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/92 604 B |
2014年03月17日 特許庁 / 特許 | 液封式真空ポンプ及びそれに用いる羽根車 FI分類-F04C 19/00 B, FI分類-F04C 25/02 P, FI分類-F04C 29/00 D |
2014年03月14日 特許庁 / 特許 | 研磨装置及び研磨方法 FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 9/00 601 G, FI分類-H01L 21/304 621 E, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2014年03月14日 特許庁 / 特許 | ポンプ、およびポンプシステム FI分類-G01N 17/02, FI分類-F04D 7/06 D, FI分類-C23F 13/00 C, FI分類-F04D 29/60 B, FI分類-G01B 11/06 H, FI分類-G01N 21/88 K |
2014年03月14日 特許庁 / 特許 | 電子線検査装置 FI分類-H01J 37/12, FI分類-H01J 37/16, FI分類-H01J 37/18, FI分類-H01J 37/29, FI分類-H01J 37/244, FI分類-H01J 37/09 A, FI分類-H01J 37/141 Z, FI分類-H01J 37/147 B |
2014年03月13日 特許庁 / 特許 | 渦電流センサ FI分類-G01B 7/06 M, FI分類-G01B 7/00 101 F |
2014年03月13日 特許庁 / 特許 | 軸受装置及びこれを備えた立軸ポンプ FI分類-F16N 7/40, FI分類-F16N 39/02, FI分類-F04D 29/049, FI分類-F04D 13/00 D, FI分類-F04D 29/58 E, FI分類-F04D 29/046 A, FI分類-F04D 29/046 C |
2014年03月13日 特許庁 / 特許 | 研磨装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/00 A, FI分類-B24B 37/00 C, FI分類-B24B 53/00 J, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 M, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2014年03月12日 特許庁 / 特許 | 膜厚測定値の補正方法、及び、膜厚補正器 FI分類-B24B 49/10, FI分類-G01B 7/06 M, FI分類-B24B 37/04 K, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-H01L 21/66 P, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2014年03月12日 特許庁 / 特許 | 膜厚測定装置、及び、研磨装置 FI分類-B24B 37/04 K, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2014年03月11日 特許庁 / 特許 | 電動機の駆動装置 FI分類-H02P 5/408 C |
2014年03月07日 特許庁 / 特許 | 基板処理システムおよび基板処理方法 FI分類-B24B 49/08, FI分類-B24B 57/02, FI分類-B24B 37/00 K, FI分類-B24B 49/02 Z, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 Z |
2014年03月05日 特許庁 / 特許 | 誘導電動機 FI分類-H02K 3/12, FI分類-H02K 1/16 A |
2014年03月05日 特許庁 / 特許 | 研磨装置および研磨方法 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/00 B, FI分類-B24B 37/00 X, FI分類-B24B 37/04 P, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 K, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2014年02月28日 特許庁 / 特許 | 研磨装置 FI分類-B24B 49/16, FI分類-B24B 49/18, FI分類-B24B 37/00 A, FI分類-B24B 53/00 J, FI分類-H01L 21/304 622 M, FI分類-H01L 21/304 622 R |
2014年02月25日 特許庁 / 特許 | 海水淡水化システムおよびエネルギー回収装置 FI分類-B01D 61/06, FI分類-B01D 61/12, FI分類-F04F 13/00, FI分類-C02F 1/44 G, FI分類-B01D 61/02 500 |
2014年02月21日 特許庁 / 特許 | 回転機器 FI分類-F04D 29/00 Z, FI分類-F04D 29/60 B |
2014年02月20日 特許庁 / 特許 | 研磨パッドのコンディショニング方法及び装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 49/14, FI分類-B24B 49/18, FI分類-B24B 53/02, FI分類-B24B 53/095, FI分類-B24B 37/00 A, FI分類-B24B 37/00 J, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 M |
2014年02月17日 特許庁 / 特許 | 研磨装置および研磨方法 FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 9/00 601 G, FI分類-H01L 21/304 621 E |
2014年02月17日 特許庁 / 特許 | 研磨装置 FI分類-B24B 21/16, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 622 Y |
2014年02月14日 特許庁 / 特許 | 基板保持装置および研磨装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/04 H, FI分類-H01L 21/304 622 H, FI分類-H01L 21/304 622 K |
2014年02月12日 特許庁 / 特許 | 基板処理方法 FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 646, FI分類-H01L 21/30 569 Z, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 648 G |
2014年02月10日 特許庁 / 特許 | 洗浄ユニット及びそれを備えた洗浄装置 FI分類-H01L 21/304 644 B |
2014年02月10日 特許庁 / 特許 | アノードホルダ及びめっき装置 FI分類-C25D 17/00 H |
2014年02月07日 特許庁 / 特許 | 状態報告装置、基板処理装置、及び状態報告方法 FI分類-B24B 37/00 Z, FI分類-H01L 21/02 Z, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-G05B 19/418 Z, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 622 Z |
2014年02月06日 特許庁 / 特許 | 基板ホルダを備えためっき装置 FI分類-C25D 17/00 B, FI分類-C25D 17/06 C, FI分類-C25D 17/08 R |
2014年01月29日 特許庁 / 特許 | スイッチドリラクタンスモータのセンサレス駆動装置 FI分類-H02P 5/00 501 |
2014年01月23日 特許庁 / 特許 | 研磨方法および研磨装置 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 55/06, FI分類-B24B 37/04 Z, FI分類-B24B 49/02 Z, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 622 S |
2014年01月21日 特許庁 / 特許 | 基板保持装置および研磨装置 FI分類-B24B 37/04 Q, FI分類-H01L 21/304 622 G |
2014年01月21日 特許庁 / 特許 | めっき装置およびめっき方法 FI分類-C25D 21/10, FI分類-C25D 21/11, FI分類-C25D 17/00 F, FI分類-C25D 21/12 D |
2014年01月20日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置内の複数の処理ユニットを調整するための調整装置、および該調整装置を備えた基板処理装置 FI分類-B24B 37/00 X, FI分類-H01L 21/02 Z |
2014年01月15日 特許庁 / 特許 | 基板処理装置の異常検出装置、及び基板処理装置 FI分類-H01L 21/304 621 Z |
2014年01月15日 特許庁 / 特許 | 研磨方法および装置 FI分類-B24B 53/007, FI分類-B24B 37/00 A, FI分類-B24B 37/04 G, FI分類-B24B 53/00 Z, FI分類-H01L 21/304 622 M, FI分類-H01L 21/304 622 P |
2014年01月15日 特許庁 / 特許 | 回転保持装置及び基板洗浄装置 FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 648 Z |
2014年01月14日 特許庁 / 特許 | レーザ測長器の反射鏡の支持構造 FI分類-G01B 11/00 B, FI分類-H01L 21/68 G, FI分類-G03F 7/20 521, FI分類-H01L 21/30 503 A, FI分類-H01L 21/30 516 B |
2014年01月10日 特許庁 / 特許 | 研磨装置 FI分類-B24B 49/16, FI分類-B24B 37/00 B, FI分類-B24B 37/00 X, FI分類-B24B 37/04 N, FI分類-B24B 49/02 Z, FI分類-H01L 21/304 622 K |
2014年01月09日 特許庁 / 特許 | 横軸ポンプ FI分類-F04D 29/046 A, FI分類-F04D 29/046 D, FI分類-F04D 29/046 Z |
2014年01月09日 特許庁 / 特許 | 圧力制御装置および該圧力制御装置を備えた研磨装置 FI分類-B24B 49/16, FI分類-B24B 37/00 B, FI分類-B24B 37/00 X, FI分類-H01L 21/304 622 K |
2014年01月08日 特許庁 / 特許 | エッチング液、エッチング方法、およびはんだバンプの製造方法 FI分類-C23F 1/18, FI分類-C23F 1/44, FI分類-H01L 21/306 F, FI分類-H01L 21/308 F |
株式会社荏原製作所の商標情報(55件)
| 日付 公表組織 / 種類 |
活動対象 / 分類等 |
|---|---|
2023年07月13日 特許庁 / 商標 | エバグマ 07類, 11類, 37類 |
2023年06月21日 特許庁 / 商標 | EBANAVI 07類, 09類, 11類, 37類, 42類 |
2023年05月12日 特許庁 / 商標 | エボット 07類, 37類, 38類 |
2023年05月12日 特許庁 / 商標 | E 07類, 37類, 38類 |
2023年04月28日 特許庁 / 商標 | 水と共に生きる。人を・生活を・社会を支え、未来を創る。 07類, 09類, 11類, 12類, 35類, 37類, 42類 |
2023年04月21日 特許庁 / 商標 | Embassador 09類, 35類, 41類, 42類, 45類 |
2022年12月16日 特許庁 / 商標 | The Shipment＼of 200,000 units∞E 07類, 37類 |
2022年12月16日 特許庁 / 商標 | E 07類, 37類 |
2022年08月31日 特許庁 / 商標 | §AQUAPONICS 06類, 07類, 09類, 11類 |
2022年08月31日 特許庁 / 商標 | ここは、小さな地球だ。 06類, 07類, 09類, 11類 |
2022年08月29日 特許庁 / 商標 | E‐PONIX 06類, 07類, 09類, 11類 |
2022年04月18日 特許庁 / 商標 | 荏原は女性技術者の活躍を推進します 35類, 37類, 42類 |
2022年04月15日 特許庁 / 商標 | §EBARA 29類, 30類, 44類 |
2022年03月28日 特許庁 / 商標 | §EBARA∞清流こまち 35類, 37類, 42類 |
2022年03月22日 特許庁 / 商標 | REIHAKu 29類, 30類, 43類 |
2021年11月05日 特許庁 / 商標 | EBARAメンテナンスクラウド 09類, 37類 |
2021年08月17日 特許庁 / 商標 | EBARA CLOUD 09類, 37類 |
2021年08月17日 特許庁 / 商標 | エバラクラウド 09類, 37類 |
2021年08月17日 特許庁 / 商標 | 荏原クラウド 09類, 37類 |
2021年01月15日 特許庁 / 商標 | 荏原レスキュー 07類, 37類, 45類 |
2020年12月10日 特許庁 / 商標 | §Q∞QiDe 09類, 37類, 42類 |
2020年09月08日 特許庁 / 商標 | DHECR-TB2 01類 |
2020年09月04日 特許庁 / 商標 | クロスビリティー 09類, 37類, 42類 |
2020年09月04日 特許庁 / 商標 | X-bility 09類 |
2020年09月04日 特許庁 / 商標 | §X bility 09類 |
2020年08月18日 特許庁 / 商標 | §Z∞ZERUNOS 07類, 09類, 37類, 42類 |
2020年06月01日 特許庁 / 商標 | つながるポンプ 07類, 09類, 37類, 42類 |
2020年05月25日 特許庁 / 商標 | QiDe 09類, 37類, 42類 |
2020年05月25日 特許庁 / 商標 | キーディ 09類, 37類, 42類 |
2020年05月25日 特許庁 / 商標 | QiDe‐Link 09類, 37類, 42類 |
2020年05月25日 特許庁 / 商標 | キーディリンク 09類, 37類, 42類 |
2020年05月25日 特許庁 / 商標 | QiDe‐Console 09類, 37類, 42類 |
2020年05月25日 特許庁 / 商標 | キーディコンソール 09類, 37類, 42類 |
2019年10月17日 特許庁 / 商標 | §bility 37類, 42類 |
2019年09月30日 特許庁 / 商標 | X-bility 37類, 42類 |
2019年09月05日 特許庁 / 商標 | 清流こまち 35類, 37類, 42類 |
2019年08月27日 特許庁 / 商標 | エバラナラバ 07類, 11類 |
2019年04月16日 特許庁 / 商標 | §Z∞ZERUNOS 07類, 09類, 11類 |
2019年01月28日 特許庁 / 商標 | ZERUNOS 07類, 09類, 11類 |
2018年03月23日 特許庁 / 商標 | eDYNAMiQ＼Eco,Dynamic and Integrated Quality 37類, 42類 |
2017年12月28日 特許庁 / 商標 | ポンプラス＼PUMPlus 07類 |
2017年12月04日 特許庁 / 商標 | eDYNAMiQ＼Eco,Dynamic and Integrated Quality 07類 |
2017年10月02日 特許庁 / 商標 | EDAS 07類, 42類 |
2017年08月29日 特許庁 / 商標 | プライミング＼Priming 09類, 16類 |
2017年06月19日 特許庁 / 商標 | §フレッシャーLINK 09類, 37類 |
2017年04月25日 特許庁 / 商標 | デフリークレス 07類 |
2017年03月31日 特許庁 / 商標 | Looking ahead,going beyond expectations＼Ahead Beyond 07類, 11類 |
2017年02月09日 特許庁 / 商標 | ECO-BRES＼エコブレス 07類 |
2017年02月06日 特許庁 / 商標 | FRESHER LINK＼フレッシャーリンク 09類, 37類 |
2016年11月24日 特許庁 / 商標 | YOKOZUNA PUMP 07類 |
2016年09月13日 特許庁 / 商標 | Ahead,Beyond 07類, 09類, 11類, 37類, 42類 |
2014年10月08日 特許庁 / 商標 | PRIDE 07類 |
2014年09月18日 特許庁 / 商標 | エバラグリーンPPS 39類, 40類 |
2014年01月27日 特許庁 / 商標 | EBARA 35類, 41類 |
2014年01月24日 特許庁 / 商標 | §EBARA 35類, 41類 |
株式会社荏原製作所の意匠情報(185件)
| 日付 公表組織 / 種類 |
活動対象 / 分類等 |
|---|---|
2023年08月18日 特許庁 / 意匠 | 泥水吸水装置用ノズル 意匠新分類-K8590 |
2023年08月18日 特許庁 / 意匠 | 泥水吸水装置用ノズル 意匠新分類-K8590 |
2023年03月30日 特許庁 / 意匠 | 化学的機械研磨装置用シール材 意匠新分類-K0790 |
2023年03月30日 特許庁 / 意匠 | 化学的機械研磨装置用シール材 意匠新分類-K0790 |
2023年03月30日 特許庁 / 意匠 | 化学的機械研磨装置用枠材 意匠新分類-K0790 |
2023年03月15日 特許庁 / 意匠 | 給水装置用屋外カバー 意匠新分類-K8590 |
2023年03月15日 特許庁 / 意匠 | 給水装置用屋外カバー 意匠新分類-K8590 |
2023年03月15日 特許庁 / 意匠 | 給水装置用屋外カバー 意匠新分類-K8590 |
2022年10月17日 特許庁 / 意匠 | モータ 意匠新分類-H21200 |
2022年06月24日 特許庁 / 意匠 | ポンプ用羽根車 意匠新分類-K8591 |
2022年04月05日 特許庁 / 意匠 | 渦巻ポンプ 意匠新分類-K8500 |
2022年03月16日 特許庁 / 意匠 | 振動センサのバッテリーユニット用ケース 意匠新分類-H1891 |
2022年03月16日 特許庁 / 意匠 | 振動センサのバッテリーユニット用部材 意匠新分類-H1891 |
2022年03月16日 特許庁 / 意匠 | 振動センサのバッテリーユニット用部材 意匠新分類-H1891 |
2022年02月14日 特許庁 / 意匠 | モータ 意匠新分類-H21200 |
2022年02月14日 特許庁 / 意匠 | モータ 意匠新分類-H21200 |
2022年01月27日 特許庁 / 意匠 | ポンプケーシング 意匠新分類-K8592 |
2022年01月27日 特許庁 / 意匠 | ポンプケーシング 意匠新分類-K8592 |
2022年01月27日 特許庁 / 意匠 | ポンプケーシング 意匠新分類-K8592 |
2022年01月27日 特許庁 / 意匠 | ポンプケーシング 意匠新分類-K8592 |
2022年01月12日 特許庁 / 意匠 | キャンドモータポンプ 意匠新分類-K8500 |
2021年05月27日 特許庁 / 意匠 | カップリングガード 意匠新分類-K8590 |
2021年04月12日 特許庁 / 意匠 | 自動給水ポンプ 意匠新分類-K8500 |
2021年04月12日 特許庁 / 意匠 | 自動給水ポンプ 意匠新分類-K8500 |
2020年12月18日 特許庁 / 意匠 | 半導体ウェハ研磨装置用弾性膜 意匠新分類-K0790 |
2020年12月18日 特許庁 / 意匠 | 基板保持リング 意匠新分類-K0790 |
2020年11月24日 特許庁 / 意匠 | ラインポンプ 意匠新分類-K8500 |
2020年11月12日 特許庁 / 意匠 | ポンプケーシング 意匠新分類-K8592 |
2020年11月12日 特許庁 / 意匠 | ポンプケーシング 意匠新分類-K8592 |
2020年11月02日 特許庁 / 意匠 | ラインポンプ 意匠新分類-K8500 |
2020年05月29日 特許庁 / 意匠 | ポンプ振動センサ用ケース 意匠新分類-H15590 |
2020年05月15日 特許庁 / 意匠 | 基板洗浄用ローラ軸 意匠新分類-J01 |
2020年04月28日 特許庁 / 意匠 | モータ 意匠新分類-H21200 |
2020年04月28日 特許庁 / 意匠 | モータ 意匠新分類-H21200 |
2020年04月28日 特許庁 / 意匠 | モータ 意匠新分類-H21200 |
2019年08月09日 特許庁 / 意匠 | 電気接続端子 意匠新分類-K0790 |
2019年07月31日 特許庁 / 意匠 | 真空ポンプ用台座 意匠新分類-K8590 |
2019年07月19日 特許庁 / 意匠 | ガス処理用カラム 意匠新分類-K0790 |
2019年07月19日 特許庁 / 意匠 | ガス処理用カラム 意匠新分類-K0790 |
2019年07月19日 特許庁 / 意匠 | ガス処理用カラム 意匠新分類-K0790 |
2019年07月19日 特許庁 / 意匠 | ガス処理用カラム 意匠新分類-K0790 |
2019年06月25日 特許庁 / 意匠 | 測定治具 意匠新分類-J159 |
2019年06月25日 特許庁 / 意匠 | 測定治具 意匠新分類-J159 |
2019年06月25日 特許庁 / 意匠 | 測定治具 意匠新分類-J159 |
2019年04月26日 特許庁 / 意匠 | ポンプ用羽根車 意匠新分類-K8591 |
2019年04月26日 特許庁 / 意匠 | ポンプ用羽根車 意匠新分類-K8591 |
2019年04月26日 特許庁 / 意匠 | ポンプ用羽根車 意匠新分類-K8591 |
2019年04月24日 特許庁 / 意匠 | 電気接続端子 意匠新分類-K0790 |
2019年04月24日 特許庁 / 意匠 | 電気接続端子 意匠新分類-K0790 |
2019年01月31日 特許庁 / 意匠 | モータ 意匠新分類-H21200 |
2019年01月31日 特許庁 / 意匠 | モータ 意匠新分類-H21200 |
2019年01月31日 特許庁 / 意匠 | モータ 意匠新分類-H21200 |
2019年01月31日 特許庁 / 意匠 | モータ 意匠新分類-H21200 |
2018年12月27日 特許庁 / 意匠 | 自動給水ポンプ 意匠新分類-K8500 |
2018年12月27日 特許庁 / 意匠 | 自動給水ポンプ 意匠新分類-K8500 |
2018年12月27日 特許庁 / 意匠 | 自動給水ポンプ 意匠新分類-K8500 |
2018年08月29日 特許庁 / 意匠 | 研磨パッド 意匠新分類-K1414 |
2018年08月29日 特許庁 / 意匠 | 研磨パッド 意匠新分類-K1414 |
2018年08月29日 特許庁 / 意匠 | 研磨パッド 意匠新分類-K1414 |
2018年08月29日 特許庁 / 意匠 | 研磨パッド 意匠新分類-K1414 |
2018年08月29日 特許庁 / 意匠 | 研磨パッド 意匠新分類-K1414 |
2018年08月29日 特許庁 / 意匠 | 研磨パッド 意匠新分類-K1414 |
2018年08月29日 特許庁 / 意匠 | 研磨パッド 意匠新分類-K1414 |
2018年08月29日 特許庁 / 意匠 | 研磨パッド 意匠新分類-K1414 |
2018年07月18日 特許庁 / 意匠 | 基板保持部材 意匠新分類-K0790 |
2018年07月18日 特許庁 / 意匠 | 基板保持部材 意匠新分類-K0790 |
2018年07月18日 特許庁 / 意匠 | 基板保持部材 意匠新分類-K0790 |
2018年07月18日 特許庁 / 意匠 | 基板保持部材 意匠新分類-K0790 |
2018年07月11日 特許庁 / 意匠 | ポンプ用主軸ハブ付き軸 意匠新分類-K8590 |
2018年03月13日 特許庁 / 意匠 | 多段ポンプ 意匠新分類-K8500 |
2017年10月24日 特許庁 / 意匠 | ポンプ 意匠新分類-K8500 |
2017年10月10日 特許庁 / 意匠 | 電気接続端子 意匠新分類-K0790 |
2017年09月04日 特許庁 / 意匠 | ポンプケーシング 意匠新分類-K8592 |
2017年09月04日 特許庁 / 意匠 | ポンプケーシング 意匠新分類-K8592 |
2017年07月20日 特許庁 / 意匠 | 給水装置用表示器 意匠新分類-K8590 W12 |
2017年07月20日 特許庁 / 意匠 | 給水装置用表示器 意匠新分類-K8590 W14 |
2017年06月30日 特許庁 / 意匠 | 給水機 意匠新分類-K8500 |
2017年06月30日 特許庁 / 意匠 | 装飾シート 意匠新分類-F3412 |
2017年06月30日 特許庁 / 意匠 | 給水機用カバー 意匠新分類-K8590 |
2017年06月30日 特許庁 / 意匠 | 給水機 意匠新分類-K8500 |
2017年06月30日 特許庁 / 意匠 | 給水機用カバー 意匠新分類-K8590 |
2017年06月30日 特許庁 / 意匠 | 給水機監視制御機能付き電子計算機 意匠新分類-H7725 W12 |
2017年06月30日 特許庁 / 意匠 | 運転状況表示機能付き電子計算機 意匠新分類-H7725 W13 |
2017年06月30日 特許庁 / 意匠 | 装飾シート 意匠新分類-F3412 |
2017年06月29日 特許庁 / 意匠 | 半導体製造機 意匠新分類-K070 W14 |
2017年06月29日 特許庁 / 意匠 | 半導体製造機 意匠新分類-K070 W14 |
2017年06月29日 特許庁 / 意匠 | 半導体製造機 意匠新分類-K070 W14 |
2017年06月16日 特許庁 / 意匠 | 給水装置用表示器 意匠新分類-K8590 W13 |
2017年06月16日 特許庁 / 意匠 | データ送受信機 意匠新分類-H620 |
2017年04月05日 特許庁 / 意匠 | ポンプ制御盤用表示器被覆フィルム 意匠新分類-F3340 |
2017年03月31日 特許庁 / 意匠 | 真空吸着パッド 意匠新分類-K719200 |
2017年02月16日 特許庁 / 意匠 | ポンプ用羽根車 意匠新分類-K8591 |
2016年12月21日 特許庁 / 意匠 | モータ用スペーサー 意匠新分類-H219 |
2016年12月21日 特許庁 / 意匠 | モータ用スペーサー 意匠新分類-H219 |
2016年10月11日 特許庁 / 意匠 | メカニカルシール用カバー 意匠新分類-K8590 |
2016年10月11日 特許庁 / 意匠 | メカニカルシール用カバー 意匠新分類-K8590 |
2016年08月05日 特許庁 / 意匠 | 基板研磨装置用押圧部材 意匠新分類-K0790 |
2016年08月05日 特許庁 / 意匠 | 基板研磨装置用押圧部材 意匠新分類-K0790 |
2016年08月05日 特許庁 / 意匠 | 基板研磨装置用押圧部材 意匠新分類-K0790 |
2016年08月05日 特許庁 / 意匠 | 基板研磨装置用押圧部材 意匠新分類-K0790 |
2016年07月27日 特許庁 / 意匠 | 基板保持リング 意匠新分類-K0790 |
2016年07月27日 特許庁 / 意匠 | 基板保持リング 意匠新分類-K0790 |
2016年07月22日 特許庁 / 意匠 | ポンプ 意匠新分類-K8500 |
2016年04月13日 特許庁 / 意匠 | 基板洗浄用スポンジ 意匠新分類-J01 |
2015年12月22日 特許庁 / 意匠 | ポンプケーシング 意匠新分類-K8592 |
2015年12月22日 特許庁 / 意匠 | ポンプケーシング 意匠新分類-K8592 |
2015年12月22日 特許庁 / 意匠 | ポンプケーシング 意匠新分類-K8592 |
2015年12月22日 特許庁 / 意匠 | ポンプケーシング 意匠新分類-K8592 |
2015年12月01日 特許庁 / 意匠 | 渦流防止用ブロック 意匠新分類-L2603 |
2015年12月01日 特許庁 / 意匠 | 渦流防止用ブロック 意匠新分類-L2603 |
2015年12月01日 特許庁 / 意匠 | 渦流防止用ブロック 意匠新分類-L2603 |
2015年12月01日 特許庁 / 意匠 | 渦流防止用ブロック 意匠新分類-L2603 |
2015年11月27日 特許庁 / 意匠 | シールリング 意匠新分類-K0790 |
2015年11月27日 特許庁 / 意匠 | シールリング 意匠新分類-K0790 |
2015年11月27日 特許庁 / 意匠 | シールリング 意匠新分類-K0790 |
2015年11月12日 特許庁 / 意匠 | ポンプ用逆止弁案内具 意匠新分類-K8590 |
2015年10月28日 特許庁 / 意匠 | 基板洗浄用スポンジ 意匠新分類-J01 |
2015年10月28日 特許庁 / 意匠 | 基板洗浄用スポンジ 意匠新分類-J01 |
2015年10月28日 特許庁 / 意匠 | 基板洗浄用スポンジ 意匠新分類-J01 |
2015年10月28日 特許庁 / 意匠 | 基板洗浄用スポンジ 意匠新分類-J01 |
2015年10月27日 特許庁 / 意匠 | ポンプ用制御盤 意匠新分類-K8590 |
2015年10月27日 特許庁 / 意匠 | ポンプ用制御盤 意匠新分類-K8590 |
2015年10月27日 特許庁 / 意匠 | ポンプ制御盤用台座 意匠新分類-K8590 |
2015年10月06日 特許庁 / 意匠 | 基板保持リング 意匠新分類-K0790 |
2015年09月24日 特許庁 / 意匠 | 基板洗浄用ローラ 意匠新分類-J01 |
2015年09月24日 特許庁 / 意匠 | 基板洗浄用ローラ 意匠新分類-J01 |
2015年09月24日 特許庁 / 意匠 | 基板洗浄用ローラ 意匠新分類-J01 |
2015年09月24日 特許庁 / 意匠 | 基板洗浄用ローラ 意匠新分類-J01 |
2015年08月31日 特許庁 / 意匠 | モータ冷却用パイプ固定具 意匠新分類-K8590 |
2015年08月31日 特許庁 / 意匠 | モータ冷却用パイプ固定具 意匠新分類-K8590 |
2015年08月20日 特許庁 / 意匠 | 真空吸着パッド 意匠新分類-K719200 |
2015年08月20日 特許庁 / 意匠 | 真空吸着パッド 意匠新分類-K719200 |
2015年08月05日 特許庁 / 意匠 | 給水装置用表示器 意匠新分類-K8590 W |
2015年08月05日 特許庁 / 意匠 | 給水装置用表示器 意匠新分類-K8590 W |
2015年07月13日 特許庁 / 意匠 | 給水装置用表示器被覆フィルム 意匠新分類-F3340 |
2015年07月08日 特許庁 / 意匠 | 真空吸着パッド 意匠新分類-K719200 |
2015年07月08日 特許庁 / 意匠 | 真空吸着パッド 意匠新分類-K719200 |
2015年05月14日 特許庁 / 意匠 | 研磨装置本体 意匠新分類-K71030 |
2015年03月30日 特許庁 / 意匠 | ポンプケーシング 意匠新分類-K8592 |
2015年03月30日 特許庁 / 意匠 | ポンプケーシングカバー 意匠新分類-K8592 |
2015年03月25日 特許庁 / 意匠 | ポンプケーシング 意匠新分類-K8592 |
2015年02月17日 特許庁 / 意匠 | 渦巻ポンプ用ケーシングカバー 意匠新分類-K8592 |
2015年02月17日 特許庁 / 意匠 | 渦巻ポンプ用ケーシングカバー 意匠新分類-K8592 |
2015年02月17日 特許庁 / 意匠 | 渦巻ポンプ用ケーシングカバー 意匠新分類-K8592 |
2015年02月17日 特許庁 / 意匠 | 渦巻ポンプ用ケーシング 意匠新分類-K8592 |
2015年02月17日 特許庁 / 意匠 | 渦巻ポンプ用ケーシング 意匠新分類-K8592 |
2015年02月17日 特許庁 / 意匠 | 渦巻ポンプ用ケーシング 意匠新分類-K8592 |
2015年02月17日 特許庁 / 意匠 | 渦巻ポンプ用ケーシング 意匠新分類-K8592 |
2015年02月17日 特許庁 / 意匠 | 渦巻ポンプ用ケーシング 意匠新分類-K8592 |
2015年02月17日 特許庁 / 意匠 | 渦巻ポンプ用ケーシング 意匠新分類-K8592 |
2015年02月17日 特許庁 / 意匠 | 渦巻ポンプ用ケーシング 意匠新分類-K8592 |
2015年02月17日 特許庁 / 意匠 | 渦巻ポンプ用ケーシング 意匠新分類-K8592 |
2015年01月22日 特許庁 / 意匠 | 電気接続端子 意匠新分類-H13200 |
2015年01月19日 特許庁 / 意匠 | コネクタプラグ 意匠新分類-H13433 |
2015年01月19日 特許庁 / 意匠 | コネクタプラグ 意匠新分類-H13433 |
2014年12月22日 特許庁 / 意匠 | 排ガス処理装置用内筒 意匠新分類-K0790 |
2014年12月22日 特許庁 / 意匠 | 排ガス処理装置用内筒 意匠新分類-K0790 |
2014年12月22日 特許庁 / 意匠 | 排ガス処理装置用内筒 意匠新分類-K0790 |
2014年12月22日 特許庁 / 意匠 | 排ガス処理装置用内筒 意匠新分類-K0790 |
2014年12月22日 特許庁 / 意匠 | ポンプケーシング 意匠新分類-K8592 |
2014年12月19日 特許庁 / 意匠 | 軸受ケーシング用被覆部材 意匠新分類-K91190 |
2014年12月12日 特許庁 / 意匠 | ドレッサーディスク 意匠新分類-K1411 |
2014年12月12日 特許庁 / 意匠 | ドレッサーディスク 意匠新分類-K1411 |
2014年12月12日 特許庁 / 意匠 | ドレッサーディスク 意匠新分類-K1411 |
2014年12月08日 特許庁 / 意匠 | 渦巻ポンプ 意匠新分類-K8500 |
2014年12月08日 特許庁 / 意匠 | 渦巻ポンプ 意匠新分類-K8500 |
2014年11月17日 特許庁 / 意匠 | ポンプ用羽根車 意匠新分類-K8591 |
2014年11月17日 特許庁 / 意匠 | 給水装置用表示器被覆フィルム 意匠新分類-F3340 |
2014年11月07日 特許庁 / 意匠 | ポンプ用羽根車 意匠新分類-K8591 |
2014年11月07日 特許庁 / 意匠 | ポンプ用羽根車 意匠新分類-K8591 |
2014年11月07日 特許庁 / 意匠 | ポンプ用羽根車 意匠新分類-K8591 |
2014年10月17日 特許庁 / 意匠 | 回転電機の回転子 意匠新分類-H219 |
2014年10月17日 特許庁 / 意匠 | 回転電機の回転子 意匠新分類-H219 |
2014年10月17日 特許庁 / 意匠 | 回転電機の回転子 意匠新分類-H219 |
2014年10月17日 特許庁 / 意匠 | 回転電機の回転子 意匠新分類-H219 |
2014年09月30日 特許庁 / 意匠 | ポンプ用制御盤 意匠新分類-K8590 |
2014年07月09日 特許庁 / 意匠 | ポンプデータ通報器 意匠新分類-H7110 |
2014年07月09日 特許庁 / 意匠 | ポンプデータ通報装置貼着用表示シート 意匠新分類-F3340 |
2014年06月30日 特許庁 / 意匠 | 給水ポンプ 意匠新分類-K8500 |
2014年06月30日 特許庁 / 意匠 | 給水ポンプ 意匠新分類-K8500 |
2014年05月16日 特許庁 / 意匠 | ファンカバー 意匠新分類-K8590 |
2014年05月15日 特許庁 / 意匠 | ドレッサーディスク 意匠新分類-K1411 |
2014年03月04日 特許庁 / 意匠 | めっき装置用電気接点 意匠新分類-K0790 |
2014年03月04日 特許庁 / 意匠 | めっき装置用電気接点 意匠新分類-K0790 |
2014年03月04日 特許庁 / 意匠 | めっき装置用電気接点 意匠新分類-K0790 |
株式会社荏原製作所の職場情報
| 項目 | データ |
|---|---|
事業概要 | 一般機器具製造業 |
企業規模 | 4,105人 男性 3,180人 / 女性 832人 |
平均勤続年数 範囲 その他 | 男性 15.1年 / 女性 14.8年 |
女性労働者の割合 範囲 その他 | 14.3% |
株式会社荏原製作所の閲覧回数
データ取得中です。