キヤノントッキ株式会社

キヤノントッキ株式会社とは

名称の「株式会社」について(β版)

キヤノントッキ株式会社の基本情報

項目	内容
商号又は名称	キヤノントッキ株式会社
商号又は名称（読み仮名）フリガナ	キヤノントッキ
法人番号	3110001025890
会社法人等番号	1100-01-025890
登記所	新潟地方法務局 ※法人設立時に登記が提出された登記所を表示しています。
インボイス登録番号 ※2024年08月31日更新 インボイス番号	T3110001025890 ※2023年10月01日に適格請求書発行事業者として登録されました。 (2024年08月31日現在)
法人種別	株式会社
郵便番号	〒954-0076 ※地方自治体コードは 15211
国内所在地（都道府県）都道府県	新潟県 ※新潟県の法人数は 75,656件
国内所在地（市区町村）市区町村	見附市 ※見附市の法人数は 1,344件
国内所在地（丁目番地等）丁目番地	新幸町10番1号
国内所在地（1行表示）1行表示	新潟県見附市新幸町10番1号
国内所在地（読み仮名）読み仮名	ニイガタケンミツケシシンコウチョウ
代表者	代表取締役社長 伊藤 博之
従業員数	498人
ホームページHP	https://tokki.canon/
更新年月日更新日	2018年04月20日
変更年月日変更日	2015年10月05日
法人番号指定年月日指定日	2015年10月05日 ※2015年10月05日以前に設立された法人は、全て2015年10月05日で表示されます。
管轄の労働局労働局	新潟労働局 〒950-8625 新潟県新潟市中央区美咲町1-2-1 新潟美咲合同庁舎2号館
管轄の労働基準監督署労働基準監督署	三条労働基準監督署 〒955-0055 新潟県三条市塚野目2-5-11

キヤノントッキ株式会社の場所

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キヤノントッキ株式会社の登録履歴

日付	内容
2015年10月05日	【新規登録】 名称が「キヤノントッキ株式会社」で、「新潟県見附市新幸町10番1号」に新規登録されました。

キヤノントッキ株式会社の関連情報

項目	内容
情報名	キヤノントッキ株式会社本社・見附事業所
情報名 読み	キヤノントッキホンシャミツケジギョウショ
住所	新潟県見附市新幸町10-1
電話番号	0258-61-5050

キヤノントッキ株式会社の法人活動情報

キヤノントッキ株式会社の特許情報(276件)

日付 公表組織 / 種類	活動対象 / 分類等
2022年04月25日 特許庁 / 特許	ワーク保持装置、アライメント装置及び成膜装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 D, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/68 G, FI分類-H05B 33/14 A
2022年01月28日 特許庁 / 特許	成膜装置及び成膜方法 FI分類-C23C 14/24
2022年01月05日 特許庁 / 特許	搬送装置及び成膜装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-B65G 49/07 B, FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H05B 33/14 A
2021年12月23日 特許庁 / 特許	動作設定装置、動作設定方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-H01L 21/68 F
2021年12月20日 特許庁 / 特許	スパッタ装置 FI分類-C23C 14/34 G, FI分類-C23C 14/34 Z, FI分類-C23C 14/54 G
2021年12月17日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法及び蒸発源ユニット FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 A, FI分類-C23C 14/24 B, FI分類-H05B 33/14 A
2021年12月02日 特許庁 / 特許	蒸着用坩堝及び蒸着装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 A, FI分類-C23C 14/24 B, FI分類-H05B 33/14 A
2021年11月25日 特許庁 / 特許	基板キャリア、基板剥離装置、成膜装置、及び基板剥離方法 FI分類-C23C 14/24, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-H01L 21/68 U
2021年11月12日 特許庁 / 特許	アライメント装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H01L 21/68 F, FI分類-H05B 33/14 A
2021年11月01日 特許庁 / 特許	反射率測定装置、成膜装置 FI分類-G01N 21/55, FI分類-G01N 21/27 F
2021年10月19日 特許庁 / 特許	基板搬送装置及び成膜装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-G01B 11/00 H, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H05B 33/14 A
2021年09月02日 特許庁 / 特許	アライメント装置 FI分類-C23C 14/52, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H01L 21/68 F, FI分類-H05B 33/14 A
2021年08月31日 特許庁 / 特許	基板昇降装置及び成膜装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 16/458, FI分類-C23C 14/50 D, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H05B 33/14 A
2021年07月15日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法及び蒸発源 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 A, FI分類-H05B 33/14 A
2021年06月30日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法及び蒸発源ユニット FI分類-C23C 14/52, FI分類-C23C 14/24 Z
2021年06月30日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法及び蒸発源ユニット FI分類-C23C 14/52, FI分類-C23C 14/24 Z
2021年06月15日 特許庁 / 特許	搬送装置及び成膜装置 FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/68 G
2021年06月14日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/35, FI分類-C23C 14/34 C
2021年06月01日 特許庁 / 特許	成膜装置及び電子デバイスの製造装置 FI分類-C23C 16/04, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-C23C 14/56 J, FI分類-C23C 16/44 F, FI分類-H01L 21/68 U, FI分類-H05B 33/14 A
2021年03月31日 特許庁 / 特許	成膜装置及び電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/24 C
2021年03月30日 特許庁 / 特許	制御装置、成膜装置、制御方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 16/458, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H01L 21/68 S, FI分類-H02N 13/00 D, FI分類-H05B 33/14 A
2021年03月30日 特許庁 / 特許	制御装置、基板吸着方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 16/458, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H02N 13/00 D
2021年03月03日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜装置の制御方法、および電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 C, FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-C23C 14/24 U, FI分類-H05B 33/14 A
2021年03月01日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 U, FI分類-C23C 14/54 A, FI分類-C23C 14/54 C, FI分類-C23C 14/54 F, FI分類-H05B 33/14 A
2021年02月22日 特許庁 / 特許	アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-G01B 11/00 C, FI分類-G01B 11/00 H, FI分類-H01L 21/68 F
2021年02月08日 特許庁 / 特許	搬送装置、成膜装置及び制御方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-B65H 5/06 J, FI分類-B65G 43/00 D, FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-H05B 33/14 A
2021年02月08日 特許庁 / 特許	計測装置、インライン型蒸着装置および調整方法 FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-H01L 21/68 F
2021年01月28日 特許庁 / 特許	アライメント装置、成膜装置および調整方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-H01L 21/68 G, FI分類-H05B 33/14 A
2021年01月26日 特許庁 / 特許	成膜装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-C23C 14/50 K, FI分類-H05B 33/14 A
2021年01月15日 特許庁 / 特許	吸着装置、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H05B 33/14 A
2021年01月08日 特許庁 / 特許	成膜装置、搬送方法、成膜方法及び電子デバイス製造方法 FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-H01L 21/68 A
2020年12月10日 特許庁 / 特許	成膜装置、および電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-H05B 33/14 A
2020年12月10日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/00 B, FI分類-H05B 33/14 A
2020年12月10日 特許庁 / 特許	成膜装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-H05B 33/14 A
2020年12月10日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/00 B, FI分類-C23C 14/24 T, FI分類-H05B 33/14 A
2020年12月04日 特許庁 / 特許	成膜装置、電子デバイスの製造装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-H05B 33/14 A
2020年12月04日 特許庁 / 特許	成膜装置、電子デバイスの製造装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-H05B 33/14 A
2020年12月03日 特許庁 / 特許	成膜装置及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 K, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H05B 33/14 A
2020年12月03日 特許庁 / 特許	マスク収納装置と、これを含む成膜装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-H05B 33/14 A
2020年11月30日 特許庁 / 特許	成膜装置及び足場ユニット FI分類-E04G 5/08 T, FI分類-H01L 21/31 B, FI分類-H01L 21/68 A
2020年11月30日 特許庁 / 特許	搬送装置、および成膜装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/00 B, FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-C23C 16/44 F, FI分類-C23C 16/44 J, FI分類-H05B 33/14 A
2020年11月30日 特許庁 / 特許	搬送装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 FI分類-B65G 13/02, FI分類-C23C 14/56 G
2020年11月30日 特許庁 / 特許	搬送装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 FI分類-B65G 13/02, FI分類-C23C 14/56 G
2020年11月30日 特許庁 / 特許	蒸着装置、成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-C23C 14/24 U, FI分類-H05B 33/14 A
2020年11月30日 特許庁 / 特許	蒸着装置、成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/24 L
2020年11月26日 特許庁 / 特許	回転駆動装置、これを含む成膜装置、電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 16/54, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/50 K, FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-C23C 16/44 F, FI分類-H05B 33/14 A
2020年11月25日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H02N 13/00 D
2020年11月24日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H02N 13/00 D, FI分類-H05B 33/14 A
2020年11月19日 特許庁 / 特許	アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/04 A
2020年11月18日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-H05B 33/14 A
2020年11月13日 特許庁 / 特許	アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、成膜方法、電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H01L 21/68 F, FI分類-H05B 33/14 A
2020年11月12日 特許庁 / 特許	アライメント装置、アライメント方法、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H01L 21/68 F, FI分類-H05B 33/14 A
2020年11月11日 特許庁 / 特許	成膜装置、これを用いた成膜方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H05B 33/14 A
2020年10月14日 特許庁 / 特許	アライメント装置、アライメント方法、成膜装置、および成膜方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H05B 33/14 A
2020年10月13日 特許庁 / 特許	成膜装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H05B 33/14 A
2020年10月13日 特許庁 / 特許	成膜装置、これを用いた成膜方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/50 E, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H05B 33/14 A
2020年10月13日 特許庁 / 特許	成膜装置、これを用いた成膜方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/00 B, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-H05B 33/14 A
2020年10月13日 特許庁 / 特許	成膜装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H05B 33/14 A
2020年10月06日 特許庁 / 特許	成膜装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/34 C, FI分類-C23C 14/34 L, FI分類-H05B 33/14 A
2020年10月05日 特許庁 / 特許	アライメント装置、アライメント方法、成膜装置及び成膜方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/54 G, FI分類-H01L 21/68 F, FI分類-H01L 21/68 K, FI分類-H05B 33/14 A
2020年09月30日 特許庁 / 特許	成膜装置、調整装置、調整方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H05B 33/14 A
2020年09月30日 特許庁 / 特許	成膜装置、基板吸着方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/24 U, FI分類-H01L 21/68 F, FI分類-H01L 21/68 R
2020年09月30日 特許庁 / 特許	成膜装置、検知装置、検知方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 G
2020年09月30日 特許庁 / 特許	成膜装置、調整方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 G
2020年09月25日 特許庁 / 特許	成膜装置及び成膜装置の制御方法 FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 A
2020年09月17日 特許庁 / 特許	成膜装置及び成膜方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-H05B 33/14 A
2020年08月26日 特許庁 / 特許	マーク検出装置、アライメント装置、成膜装置、マーク検出方法、および、成膜方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-G03F 9/00 H, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-G01B 11/00 H, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H05B 33/14 A
2020年08月25日 特許庁 / 特許	坩堝,蒸発源及び蒸着装置 FI分類-C23C 14/24 A
2020年08月24日 特許庁 / 特許	吸着装置、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H05B 33/14 A
2020年08月05日 特許庁 / 特許	Ag合金円筒形スパッタリングターゲット、スパッタリング装置及び電子デバイスの製造方法 FI分類-B22F 3/087, FI分類-H05B 33/10, FI分類-B22F 1/00 K, FI分類-B22F 9/08 A, FI分類-C22C 5/06 Z, FI分類-C23C 14/34 A, FI分類-C23C 14/34 B, FI分類-H05B 33/14 A, FI分類-H05B 33/26 Z
2020年08月05日 特許庁 / 特許	マスクアライメント方法、成膜方法、マスクアライメント装置、及び成膜装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-H05B 33/14 A
2020年07月29日 特許庁 / 特許	成膜装置及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/34 B, FI分類-C23C 14/34 U, FI分類-C23C 14/35 B, FI分類-C23C 14/54 B, FI分類-H05B 33/14 A
2020年07月22日 特許庁 / 特許	アライメント機構、アライメント方法、成膜装置及び成膜方法 FI分類-H01L 27/32, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-H05B 33/14 A
2020年06月26日 特許庁 / 特許	アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、電子デバイスの製造方法、プログラム及び記憶媒体 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-H01L 21/68 F, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H05B 33/14 A
2020年06月26日 特許庁 / 特許	アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、電子デバイスの製造方法、プログラム及び記憶媒体 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-H01L 21/68 F, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H05B 33/14 A
2020年06月26日 特許庁 / 特許	アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、電子デバイスの製造方法、プログラム及び記憶媒体 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-H01L 21/68 F, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H05B 33/14 A
2020年06月26日 特許庁 / 特許	基板搬送装置、基板処理システム、基板搬送方法、電子デバイスの製造方法、プログラム及び記憶媒体 FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-H01L 21/02 Z, FI分類-H01L 21/68 A
2020年06月26日 特許庁 / 特許	膜厚測定装置、成膜装置、膜厚測定方法、電子デバイスの製造方法、プログラム及び記憶媒体 FI分類-G01B 11/06 G, FI分類-H01L 21/66 P, FI分類-H05B 33/12 Z, FI分類-H05B 33/14 A
2020年05月20日 特許庁 / 特許	蒸発源装置、蒸着装置、及び蒸発源装置の制御方法 FI分類-H01L 27/32, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 B, FI分類-C23C 14/24 U, FI分類-H05B 33/14 A
2020年05月11日 特許庁 / 特許	アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、電子デバイスの製造方法、プログラム及び記憶媒体 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-H05B 33/14 A
2020年05月11日 特許庁 / 特許	アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、電子デバイスの製造方法、プログラム及び記憶媒体 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-H05B 33/14 A
2020年03月31日 特許庁 / 特許	電子デバイスの製造方法、測定方法、及び、成膜装置 FI分類-H05B 33/02, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 U, FI分類-C23C 14/54 F, FI分類-H05B 33/14 A, FI分類-H05B 33/26 Z
2020年03月31日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 U, FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-H05B 33/14 A, FI分類-H05B 33/22 C
2020年03月31日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 U, FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-H05B 33/14 A, FI分類-H05B 33/22 C
2020年03月31日 特許庁 / 特許	成膜装置及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 U, FI分類-C23C 14/54 F, FI分類-H05B 33/14 A
2020年03月13日 特許庁 / 特許	マスク取付装置、成膜装置、マスク取付方法、成膜方法、電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/12, FI分類-C23C 14/24 G
2020年03月13日 特許庁 / 特許	基板キャリア、成膜装置、及び成膜方法 FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-H01L 21/68 N
2020年03月13日 特許庁 / 特許	基板キャリア、成膜装置、基板キャリアの搬送方法、及び成膜方法 FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-H01L 21/68 N
2020年01月29日 特許庁 / 特許	成膜装置及び電子デバイス製造装置 FI分類-C23C 14/34 C, FI分類-C23C 14/58 C, FI分類-H01L 21/31 D, FI分類-H01L 21/203 S
2019年12月02日 特許庁 / 特許	成膜方法及び成膜装置 FI分類-C23C 14/58 C, FI分類-H01L 21/302 201 B
2019年12月02日 特許庁 / 特許	成膜方法及び成膜装置 FI分類-C23C 14/34 U, FI分類-C23C 14/48 D, FI分類-H01L 21/28 E, FI分類-H01L 21/302 201 B
2019年11月22日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/04, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/50 K, FI分類-H05B 33/14 A
2019年11月15日 特許庁 / 特許	基板処理システム及び基板処理方法 FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-H01L 21/68 A
2019年11月11日 特許庁 / 特許	基板保持装置、基板処理装置、基板保持方法、反転方法、成膜方法、電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/12, FI分類-C23C 14/14, FI分類-H01L 21/363, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-C23C 14/50 Z, FI分類-H01L 21/68 P
2019年11月11日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法、及び電子デバイス製造方法 FI分類-C23C 14/52, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 C, FI分類-C23C 14/24 U, FI分類-H05B 33/14 A
2019年11月11日 特許庁 / 特許	アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-H01L 21/68 G
2019年11月08日 特許庁 / 特許	アライメントシステム、成膜装置、成膜方法、電子デバイスの製造方法、および、アライメント装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-H05B 33/14 A
2019年10月31日 特許庁 / 特許	吸着及びアライメント方法、吸着システム、成膜方法、成膜装置及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H01L 21/205, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-H01L 21/68 G, FI分類-H01L 21/68 R
2019年10月31日 特許庁 / 特許	成膜装置、ターゲットユニットの取り外し方法、及びターゲットユニットの取り付け方法 FI分類-H05H 1/46 M, FI分類-C23C 14/34 B, FI分類-C23C 14/34 C
2019年10月30日 特許庁 / 特許	密着度確認装置、密着度確認方法、及びこれを用いた成膜装置、成膜方法、電子デバイスの製造方法、及び記憶媒体 FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-H01L 21/68 R
2019年10月29日 特許庁 / 特許	基板保持ユニット、基板保持部材、基板保持装置、基板処理装置および電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H05B 33/14 A
2019年10月29日 特許庁 / 特許	基板保持装置、基板処理装置、基板保持方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 16/458, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H05B 33/14 A
2019年10月29日 特許庁 / 特許	基板保持部材、基板保持装置、基板処理装置、基板保持方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 B, FI分類-C23C 14/50 D, FI分類-H01L 21/68 N
2019年10月29日 特許庁 / 特許	基板剥離装置、基板処理装置、及び基板剥離方法 FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 B, FI分類-C23C 14/50 D, FI分類-H01L 21/68 N
2019年10月25日 特許庁 / 特許	成膜装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/34 J, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H02N 13/00 D, FI分類-H05B 33/14 A
2019年10月16日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 16/04, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 16/458, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H05B 33/14 A
2019年10月16日 特許庁 / 特許	成膜装置及び電子デバイスの製造装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/54 Z, FI分類-H05B 33/14 A
2019年10月16日 特許庁 / 特許	成膜装置、電子デバイスの製造装置、成膜方法及び電子デバイスの製造装置 FI分類-C23C 14/52, FI分類-C23C 16/04, FI分類-C23C 16/52, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-H05B 33/14 A
2019年10月07日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/50 E, FI分類-C23C 14/50 J, FI分類-H05B 33/14 A
2019年10月07日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 FI分類-F16L 39/04, FI分類-H05B 33/10, FI分類-F16L 27/093, FI分類-C23C 14/24 L, FI分類-C23C 14/34 L, FI分類-C23C 14/50 E, FI分類-C23C 14/54 D, FI分類-H05B 33/14 A
2019年10月01日 特許庁 / 特許	回転駆動装置 FI分類-C23C 14/50 J, FI分類-H01L 21/68 N
2019年09月27日 特許庁 / 特許	蒸発源装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 B, FI分類-H05B 33/14 A
2019年09月24日 特許庁 / 特許	成膜装置および成膜方法、情報取得装置、アライメント方法、ならびに電子デバイスの製造装置および製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-H05B 33/14 A
2019年09月20日 特許庁 / 特許	吸着装置、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H05B 33/14 A
2019年09月17日 特許庁 / 特許	静電チャックシステム、成膜装置、吸着及び分離方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-H05B 33/14 A
2019年09月02日 特許庁 / 特許	シャッタ装置、成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H01L 27/32, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-H05B 33/14 A
2019年08月09日 特許庁 / 特許	ティーチング装置、基板搬送装置、基板処理装置、ティーチング方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-B25J 13/08 A, FI分類-H01L 21/68 F
2019年07月29日 特許庁 / 特許	ノズルユニット,坩堝,蒸発源及び蒸着装置 FI分類-C23C 14/24 A
2019年07月10日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-H05B 33/14 A
2019年07月05日 特許庁 / 特許	マスク保持機構、蒸着装置、および電子デバイスの製造装置 FI分類-C23C 16/04, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-H05B 33/14 A
2019年07月02日 特許庁 / 特許	磁気吸着機構、蒸着装置、および電子デバイスの製造装置 FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/56 G
2019年06月20日 特許庁 / 特許	ヒーターサポート及びヒーター装置 FI分類-C30B 23/08 M, FI分類-H01L 21/203 S
2019年05月28日 特許庁 / 特許	蒸発源装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 FI分類-H01L 27/32, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 B, FI分類-C23C 14/24 U, FI分類-H05B 33/14 A
2019年05月28日 特許庁 / 特許	加熱装置、蒸発源装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 B, FI分類-C23C 14/24 U, FI分類-H05B 33/14 A
2019年05月28日 特許庁 / 特許	加熱装置、蒸発源装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 B, FI分類-C23C 14/24 U, FI分類-H05B 33/14 A
2019年04月26日 特許庁 / 特許	アライメント方法、これを用いた蒸着方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/12, FI分類-H01L 27/32, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-H05B 33/14 A, FI分類-G09F 9/00 338, FI分類-G09F 9/30 365
2019年04月26日 特許庁 / 特許	アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、成膜方法および電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-H05B 33/14 A
2019年04月26日 特許庁 / 特許	マスク、マスクの製造方法および電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-H05B 33/14 A
2019年04月11日 特許庁 / 特許	アライメントシステム、成膜装置、アライメント方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-H05B 33/14 A
2019年04月10日 特許庁 / 特許	吸着システム、成膜装置、吸着方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-H05B 33/14 A
2019年03月29日 特許庁 / 特許	成膜装置及び成膜方法 FI分類-C23C 14/24 C, FI分類-C23C 14/24 U
2019年03月15日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜システム FI分類-C23C 14/12, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 T, FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-H05B 33/14 A
2019年03月14日 特許庁 / 特許	静電チャックシステム、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-H05B 33/14, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 A
2019年03月05日 特許庁 / 特許	真空チャンバ内へのユーティリティライン導入機構、成膜装置、成膜システム FI分類-H05B 33/10, FI分類-B25J 19/00 F, FI分類-C23C 14/24 C, FI分類-H05B 33/14 A
2018年12月27日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/34 J, FI分類-C23C 14/34 L, FI分類-C23C 14/34 S, FI分類-C23C 14/35 B
2018年12月27日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/34 S, FI分類-C23C 14/35 B
2018年12月27日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/34 M, FI分類-C23C 14/34 U, FI分類-C23C 14/54 B
2018年12月27日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/34 M, FI分類-C23C 14/34 U, FI分類-C23C 14/54 B
2018年12月27日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/34 C, FI分類-C23C 14/34 U, FI分類-C23C 14/54 F
2018年12月26日 特許庁 / 特許	基板載置方法、成膜方法、成膜装置、および有機ELパネルの製造システム FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H01L 21/68 F, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H05B 33/14 A
2018年12月25日 特許庁 / 特許	静電チャックシステム、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H01L 21/68 P, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H02N 13/00 D, FI分類-H05B 33/14 A
2018年12月25日 特許庁 / 特許	静電チャックシステム、成膜装置、被吸着体分離方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H02N 13/00 D, FI分類-H05B 33/14 A
2018年12月21日 特許庁 / 特許	静電チャックシステム、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 16/04, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 16/458, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H02N 13/00 D, FI分類-H05B 33/14 A
2018年12月21日 特許庁 / 特許	静電チャックシステム、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 16/04, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 16/458, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H02N 13/00 D, FI分類-H05B 33/14 A
2018年12月19日 特許庁 / 特許	蒸発レート測定装置、蒸発レート測定装置の制御方法、成膜装置、成膜方法及び電子デバイスを製造する方法 FI分類-C23C 14/52, FI分類-H01L 27/32, FI分類-H05B 33/10, FI分類-H03H 9/19 D, FI分類-C23C 14/24 C, FI分類-H05B 33/14 A
2018年12月19日 特許庁 / 特許	静電チャックシステム、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H02N 13/00 D, FI分類-H05B 33/14 A
2018年12月18日 特許庁 / 特許	基板載置方法、成膜方法、成膜装置、および有機ELパネルの製造システム FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H01L 21/68 F, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H05B 33/14 A
2018年12月14日 特許庁 / 特許	アライメント装置、蒸着装置、および、電子デバイスの製造装置 FI分類-C23C 16/04, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-C23C 14/56 J, FI分類-C23C 16/44 F, FI分類-H05B 33/14 A
2018年12月14日 特許庁 / 特許	搬送キャリア、蒸着装置、および電子デバイスの製造装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/68 G, FI分類-H01L 21/68 T, FI分類-H05B 33/14 A
2018年12月14日 特許庁 / 特許	蒸着装置、電子デバイスの製造装置、および、蒸着方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H05B 33/14 A
2018年12月14日 特許庁 / 特許	基板載置方法、成膜方法、成膜装置、有機ELパネルの製造システム FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H05B 33/14 A
2018年12月13日 特許庁 / 特許	成膜装置、有機ELパネルの製造システム、及び成膜方法 FI分類-C23C 14/12, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-H05B 33/14 A
2018年11月28日 特許庁 / 特許	基板搬送システム、電子デバイスの製造装置及び電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 16/54, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/50 K, FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-C23C 16/44 F, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/68 F, FI分類-H01L 21/68 K, FI分類-H05B 33/14 A
2018年11月28日 特許庁 / 特許	基板検査システム、電子デバイスの製造装置、基板検査方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-G01B 11/30 A, FI分類-G01N 21/89 T, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/68 F, FI分類-G01N 21/956 Z
2018年11月28日 特許庁 / 特許	デバイス製造装置、及びデバイス製造システム FI分類-C23C 14/54 B, FI分類-F04B 37/16 D
2018年11月28日 特許庁 / 特許	真空システム、基板搬送システム、電子デバイスの製造装置及び電子デバイスの製造方法 FI分類-F04B 37/08, FI分類-H05B 33/10, FI分類-F04B 37/16 B, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/68 F, FI分類-H05B 33/14 A
2018年11月28日 特許庁 / 特許	ロボットシステム、デバイス製造装置、及びデバイス製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-B25J 9/22 A, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H05B 33/14 A
2018年11月28日 特許庁 / 特許	成膜装置及びティーチングデータの補正方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-B25J 9/10 A, FI分類-C23C 14/50 K, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H05B 33/14 A
2018年11月28日 特許庁 / 特許	ロボットシステム、デバイス製造装置、デバイス製造方法 FI分類-B25J 9/22 Z, FI分類-H01L 21/68 A
2018年11月27日 特許庁 / 特許	成膜装置、有機デバイスの製造装置および有機デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/02, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/06 Q, FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-H05B 33/14 A, FI分類-H05B 33/22 B, FI分類-H05B 33/26 Z
2018年11月27日 特許庁 / 特許	成膜装置及び成膜方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H05B 33/14 A
2018年11月27日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法および電子デバイスを製造する方法 FI分類-H01L 27/32, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 C, FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-H05B 33/14 A, FI分類-G09F 9/00 338
2018年11月27日 特許庁 / 特許	静電チャックシステム、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H05B 33/14 A
2018年11月07日 特許庁 / 特許	成膜装置、製造システム、有機ELパネルの製造システム FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-H05B 33/14 A
2018年10月29日 特許庁 / 特許	搬送装置、成膜装置、有機EL素子の製造システム、および有機EL素子の製造方法 FI分類-C23C 16/54, FI分類-H05B 33/02, FI分類-H05B 33/10, FI分類-B25J 15/08 A, FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H05B 33/14 A
2018年10月24日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法、及び有機EL表示装置の製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-C23C 14/24 R, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H05B 33/14 A
2018年10月24日 特許庁 / 特許	成膜装置及びそれを用いた有機EL表示装置の製造方法 FI分類-H01L 27/32, FI分類-H05B 33/10, FI分類-H01L 21/205, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H05B 33/14 A, FI分類-G09F 9/00 338, FI分類-G09F 9/30 365
2018年10月24日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法及びそれを用いられる有機EL表示装置の製造方法 FI分類-H01L 27/32, FI分類-H05B 33/10, FI分類-H01L 21/205, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H05B 33/14 A, FI分類-G09F 9/00 338, FI分類-G09F 9/30 365
2018年10月24日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法、及び有機EL表示装置の製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-C23C 14/24 R, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H05B 33/14 A
2018年10月24日 特許庁 / 特許	静電チャック、成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/00 A, FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H02N 13/00 D, FI分類-H05B 33/14 A
2018年10月24日 特許庁 / 特許	成膜装置及びこれを用いる有機EL表示装置の製造方法 FI分類-H01L 27/32, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H05B 33/14 A, FI分類-G09F 9/00 342, FI分類-G09F 9/30 365
2018年10月24日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H02N 13/00 D, FI分類-H05B 33/14 A
2018年10月24日 特許庁 / 特許	基板支持装置および成膜装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H05B 33/14 A
2018年10月24日 特許庁 / 特許	基板支持装置および成膜装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-H05B 33/14 A
2018年10月24日 特許庁 / 特許	成膜装置、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H05B 33/14 A
2018年10月24日 特許庁 / 特許	真空装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H02N 13/00 D, FI分類-H05B 33/14 A
2018年10月22日 特許庁 / 特許	成膜装置、下地膜形成方法、および成膜方法 FI分類-C23C 14/24 U, FI分類-C23C 14/54 F, FI分類-G01B 17/02 Z
2018年10月15日 特許庁 / 特許	成膜装置、製造システム、有機ELパネルの製造システム、成膜方法、及び有機EL素子の製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 C, FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H05B 33/14 A
2018年09月28日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/00 B, FI分類-H05B 33/14 A, FI分類-H01L 31/04 184, FI分類-H01L 31/04 420
2018年09月28日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/54 G, FI分類-H05B 33/14 A, FI分類-H01L 31/04 184, FI分類-H01L 31/04 420
2018年09月27日 特許庁 / 特許	基板支持構造体と、これを含む真空蒸着装置及び蒸着方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 16/458, FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-C23C 14/50 D, FI分類-H01L 21/68 T, FI分類-H05B 33/14 A
2018年09月27日 特許庁 / 特許	基板支持構造体と、これを含む真空蒸着装置及び蒸着方法 FI分類-H01L 27/32, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/50 D, FI分類-H05B 33/14 A
2018年09月25日 特許庁 / 特許	アライメント装置、アライメント方法、成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H01L 21/68 F, FI分類-H01L 21/68 S, FI分類-H05B 33/14 A
2018年09月25日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法、及び電子デバイス製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 K, FI分類-H05B 33/14 A
2018年09月25日 特許庁 / 特許	水晶振動子の寿命判定方法、膜厚測定装置、成膜方法、成膜装置、及び電子デバイス製造方法 FI分類-C23C 14/52, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 U, FI分類-H05B 33/14 A
2018年09月25日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H05B 33/14 A
2018年09月25日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法、及び電子デバイス製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-H05B 33/14 A
2018年09月25日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法、及び電子デバイス製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H01L 21/68 F, FI分類-H01L 21/68 K, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H05B 33/14 A
2018年08月31日 特許庁 / 特許	成膜装置及び成膜装置の制御方法 FI分類-C23C 14/24 U, FI分類-C23C 14/54 F
2018年08月31日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/34 M, FI分類-C23C 14/34 U
2018年08月31日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/34 M, FI分類-C23C 14/34 U
2018年08月31日 特許庁 / 特許	成膜装置及び成膜装置の制御方法 FI分類-C23C 14/24 U, FI分類-C23C 14/54 F
2018年08月30日 特許庁 / 特許	静電チャック、これを含む成膜装置、基板の保持及び分離方法、これを含む成膜方法、及びこれを用いる電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H02N 13/00 D
2018年08月30日 特許庁 / 特許	静電チャック、成膜装置、基板吸着方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H02N 13/00 D
2018年08月29日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法及びこれを用いる有機EL表示装置の製造方法 FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/68 R
2018年08月27日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H01L 21/68 R, FI分類-H05B 33/14 A
2018年08月24日 特許庁 / 特許	アライメント方法、アライメント装置、これを含む真空蒸着方法及び真空蒸着装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-G01B 11/00 H, FI分類-H05B 33/14 A
2018年08月24日 特許庁 / 特許	アライメントマーク位置検出装置、蒸着装置および電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-H05B 33/14 A
2018年08月08日 特許庁 / 特許	成膜レートモニタ装置及び成膜装置 FI分類-G01B 21/08, FI分類-C23C 14/24 U, FI分類-C23C 14/54 G, FI分類-G01B 17/02 A
2018年07月31日 特許庁 / 特許	成膜装置、および、電子デバイスの製造方法 FI分類-H05H 1/46 A, FI分類-C23C 14/00 B, FI分類-C23C 14/35 Z
2018年07月31日 特許庁 / 特許	成膜装置、および、電子デバイスの製造方法 FI分類-H05H 1/46 A, FI分類-C23C 14/00 B, FI分類-C23C 14/34 E
2018年07月31日 特許庁 / 特許	成膜装置及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/35 A, FI分類-C23C 14/54 F, FI分類-H05B 33/14 A
2018年07月31日 特許庁 / 特許	蒸発源及び蒸着装置 FI分類-C23C 14/24 B, FI分類-C23C 14/24 C
2018年07月31日 特許庁 / 特許	成膜装置及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/35 A, FI分類-C23C 14/54 A, FI分類-H05B 33/14 A
2018年06月29日 特許庁 / 特許	蒸発源及び蒸着装置 FI分類-C23C 14/24 A, FI分類-C23C 14/24 B
2018年06月28日 特許庁 / 特許	蒸発源及び蒸着装置 FI分類-C23C 14/24 A, FI分類-C23C 14/24 B, FI分類-H05B 3/00 345
2018年06月19日 特許庁 / 特許	ディスプレイ製造装置及びこれを用いたデバイス製造方法 FI分類-F16C 29/08, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/00 B, FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-H05B 33/14 A
2018年06月19日 特許庁 / 特許	移動体支持装置と、これを含む真空蒸着装置及び蒸着方法 FI分類-F16J 15/43, FI分類-F16J 3/04 Z, FI分類-C23C 14/24 C
2018年05月31日 特許庁 / 特許	蒸着方法,電子デバイスの製造方法及び蒸着装置 FI分類-C23C 14/12, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 C, FI分類-H05B 33/14 A
2018年05月30日 特許庁 / 特許	真空蒸着装置及びそれを用いたデバイス製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 C, FI分類-C23C 14/24 T, FI分類-H05B 33/14 A
2018年05月29日 特許庁 / 特許	蒸発源装置、蒸着装置、および蒸着システム FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 A, FI分類-C23C 14/24 B, FI分類-H05B 33/14 A
2018年05月24日 特許庁 / 特許	成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/12, FI分類-H05B 33/04, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H05B 33/14 A
2018年05月09日 特許庁 / 特許	電子部品の製造方法 FI分類-C23C 14/54 B
2018年03月27日 特許庁 / 特許	基板処理装置及びその制御方法、成膜装置、電子部品の製造方法 FI分類-H05K 3/14 B, FI分類-C23C 14/02 Z
2018年01月17日 特許庁 / 特許	減圧容器、処理装置、処理システム及びフラットパネルディスプレイの製造方法 FI分類-H01L 27/32, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/00 C, FI分類-H05B 33/14 A, FI分類-G09F 9/00 338
2017年12月27日 特許庁 / 特許	スパッタ成膜装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-H05H 1/46 A, FI分類-C23C 14/34 B, FI分類-C23C 14/34 C, FI分類-C23C 14/34 V, FI分類-H05B 33/14 A, FI分類-H05B 33/26 Z
2017年12月27日 特許庁 / 特許	蒸発源及び蒸着装置 FI分類-C23C 14/24 A
2017年12月26日 特許庁 / 特許	スパッタ成膜装置およびスパッタ成膜方法 FI分類-H05B 33/00, FI分類-H05B 33/10, FI分類-H05H 1/46 A, FI分類-C23C 14/34 B, FI分類-C23C 14/34 C, FI分類-C23C 14/34 V, FI分類-H05B 33/14 A, FI分類-H05B 33/26 Z
2017年12月26日 特許庁 / 特許	基板処理方法、基板処理装置、及び、成膜装置 FI分類-C23C 14/02 A, FI分類-H01L 21/304 645 C
2017年12月26日 特許庁 / 特許	基板ホルダ及び成膜装置 FI分類-C23C 16/458, FI分類-C23C 14/50 D, FI分類-H01L 21/68 N
2017年12月26日 特許庁 / 特許	基板ホルダ、基板処理装置及び成膜装置 FI分類-C23C 16/458, FI分類-C23C 14/50 D, FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-H01L 21/68 U
2017年12月20日 特許庁 / 特許	スパッタ装置及びその使用方法 FI分類-C23C 14/34 L
2017年12月12日 特許庁 / 特許	蒸発源装置及び蒸着装置 FI分類-C23C 14/24 A, FI分類-C23C 14/24 U
2017年12月12日 特許庁 / 特許	蒸発源装置及び蒸着装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 A, FI分類-H05B 33/14 A
2017年12月05日 特許庁 / 特許	スパッタ装置及びその制御方法 FI分類-C23C 14/35 A, FI分類-F16H 19/02 D, FI分類-F16H 19/02 H
2017年11月21日 特許庁 / 特許	スパッタリング装置 FI分類-C23C 14/34 B, FI分類-C23C 14/35 C, FI分類-H01L 21/285 S
2017年11月15日 特許庁 / 特許	スパッタ装置および有機ELパネルの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/00 B, FI分類-C23C 14/34 G, FI分類-C23C 14/35 Z, FI分類-H05B 33/14 A, FI分類-H01L 21/285 S
2017年11月13日 特許庁 / 特許	スパッタ装置 FI分類-C23C 14/35 Z
2017年11月01日 特許庁 / 特許	基板処理装置及び成膜装置 FI分類-C23C 14/02 Z, FI分類-C23C 14/34 C, FI分類-C23C 14/34 J, FI分類-H01L 21/28 A, FI分類-H01L 21/285 S
2017年10月26日 特許庁 / 特許	測定装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 U, FI分類-H05B 33/14 A
2017年10月13日 特許庁 / 特許	真空装置、蒸着装置及びゲートバルブ FI分類-C23C 14/56, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 16/44 B, FI分類-F16K 51/02 A, FI分類-H05B 33/14 A
2017年08月28日 特許庁 / 特許	蒸発源容器及び蒸発源装置 FI分類-C23C 14/12, FI分類-C23C 14/24 A
2017年08月07日 特許庁 / 特許	蒸発源装置およびその制御方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 B, FI分類-H05B 33/14 A
2017年07月14日 特許庁 / 特許	アライメント装置、および、成膜装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-B65G 49/07 F, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H05B 33/14 A
2017年07月14日 特許庁 / 特許	アライメント方法、成膜方法、それを用いた電子デバイスの製造方法、アライメント装置、及び、それを備えた電子デバイスの製造装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H05B 33/14 A
2017年06月22日 特許庁 / 特許	基板載置方法、成膜方法、電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/12, FI分類-H01L 27/32, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-C23C 14/50 D, FI分類-C23C 14/50 K, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H05B 33/14 A, FI分類-G09F 9/00 338
2017年05月22日 特許庁 / 特許	基板の挟持方法、基板の挟持装置、成膜方法、成膜装置、及び電子デバイスの製造方法、基板載置方法、アライメント方法、基板載置装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H05B 33/14 A
2017年05月22日 特許庁 / 特許	基板載置装置、成膜装置、基板載置方法、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H05B 33/14 A
2017年05月22日 特許庁 / 特許	基板搬送機構、基板載置機構、成膜装置及びそれらの方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H05B 33/14 A
2017年05月22日 特許庁 / 特許	基板載置装置、基板載置方法、成膜装置、成膜方法、アライメント装置、アライメント方法、および、電子デバイスの製造方法 FI分類-H01L 27/32, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/50 D, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H05B 33/14 A
2017年05月22日 特許庁 / 特許	基板載置方法、基板載置機構、成膜方法、成膜装置及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-B65G 49/07 F, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H05B 33/14 A
2017年05月22日 特許庁 / 特許	基板載置装置、成膜装置、基板載置方法、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 FI分類-C23C 14/04, FI分類-C23C 14/12, FI分類-H01L 27/32, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/50 A, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H05B 33/14 A, FI分類-G09F 9/00 342
2017年05月22日 特許庁 / 特許	成膜装置、制御方法、及び電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H05B 33/14 A
2016年12月26日 特許庁 / 特許	圧力容器 FI分類-F16J 15/48, FI分類-B65D 90/54 Z, FI分類-F16J 12/00 D, FI分類-F16J 15/10 C, FI分類-F16J 15/10 T, FI分類-F16J 15/10 Y
2016年12月26日 特許庁 / 特許	スパッタ装置及び電極膜の製造方法 FI分類-C23C 14/34 C, FI分類-H01L 21/285 S
2016年11月07日 特許庁 / 特許	成膜システム、磁性体部及び膜の製造方法 FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 F
2016年09月07日 特許庁 / 特許	基板引張装置、成膜装置、膜の製造方法及び有機電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 D, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H05B 33/14 A
2016年07月08日 特許庁 / 特許	真空成膜装置 FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/50 F, FI分類-H01L 21/68 N
2016年07月08日 特許庁 / 特許	アライメントマークの検出方法、アライメント方法及び蒸着方法 FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-H01L 21/68 F
2016年07月08日 特許庁 / 特許	基板処理装置及びアライメント方法 FI分類-C23C 16/52, FI分類-C23C 14/56 J, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/68 F
2016年07月08日 特許庁 / 特許	マスク支持体、成膜装置及び成膜方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-H05B 33/14 A
2016年07月05日 特許庁 / 特許	蒸着装置及び蒸発源 FI分類-C23C 14/24 A
2016年07月05日 特許庁 / 特許	蒸着装置及び蒸発源 FI分類-C23C 14/24 A
2016年07月05日 特許庁 / 特許	蒸着装置及び蒸発源 FI分類-C23C 14/24 A
2016年07月01日 特許庁 / 特許	基板挟持装置、成膜装置及び成膜方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-B65G 49/07 F, FI分類-C23C 14/50 D, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H05B 33/14 A
2016年07月01日 特許庁 / 特許	マスク吸着装置 FI分類-C23C 14/04 A
2016年07月01日 特許庁 / 特許	成膜装置及び成膜装置の制御方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 16/458, FI分類-C23C 14/50 B, FI分類-H01L 21/31 F, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H05B 33/14 A
2016年05月27日 特許庁 / 特許	蒸着装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/00 B, FI分類-C23C 14/24 T, FI分類-H05B 33/14 A
2016年05月18日 特許庁 / 特許	真空蒸着装置、蒸着膜の製造方法および有機電子デバイスの製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 C, FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-C23C 14/24 L, FI分類-H05B 33/14 A
2016年05月18日 特許庁 / 特許	基板搬送装置 FI分類-B25J 15/08 Z, FI分類-C23C 14/56 G, FI分類-C23C 16/44 F, FI分類-H01L 21/68 A
2016年04月28日 特許庁 / 特許	真空蒸着装置並びに蒸発源の冷却方法 FI分類-C23C 14/24 B
2016年04月15日 特許庁 / 特許	蒸着パターンの形成方法、押さえ板一体型の押し込み部材、蒸着装置及び有機半導体素子の製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-H05B 33/14 A
2016年03月28日 特許庁 / 特許	真空用リニアモータの可動子 FI分類-H02K 9/19 B, FI分類-H02K 41/02 C
2015年07月15日 特許庁 / 特許	蒸着方法及び蒸着装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 A, FI分類-C23C 14/24 C, FI分類-H05B 33/14 A
2015年04月03日 特許庁 / 特許	蒸着装置並びに蒸着方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 C, FI分類-H05B 33/14 A
2014年12月26日 特許庁 / 特許	真空蒸着装置 FI分類-C23C 14/24 A
2014年09月30日 特許庁 / 特許	真空蒸着装置 FI分類-C23C 14/12, FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 N, FI分類-C23C 14/24 U, FI分類-H05B 33/14 A
2014年08月01日 特許庁 / 特許	蒸着装置、蒸着方法、及び有機EL素子の製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 C, FI分類-H05B 33/14 A
2014年06月26日 特許庁 / 特許	有機エレクトロルミネッセンス素子製造用マスク、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造装置、及び、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-H05B 33/14 A
2014年06月06日 特許庁 / 特許	成膜装置 FI分類-C23C 14/50 B, FI分類-C23C 16/44 B, FI分類-H01L 21/68 N
2014年05月23日 特許庁 / 特許	水晶発振式膜厚モニタによる膜厚制御方法 FI分類-G01N 5/02 A, FI分類-C23C 14/54 Z, FI分類-G01B 17/02 A
2014年05月15日 特許庁 / 特許	水晶発振式膜厚計 FI分類-C23C 14/52, FI分類-C23C 14/24 U, FI分類-G01B 17/02 A
2014年05月13日 特許庁 / 特許	蒸着装置用マスク、蒸着装置、蒸着方法、及び、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-H05B 33/14 A
2014年05月01日 特許庁 / 特許	有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-C23C 14/24 J, FI分類-H05B 33/14 A
2014年01月29日 特許庁 / 特許	蒸着装置、蒸着方法、及び、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/24 U, FI分類-H05B 33/14 A
2014年01月22日 特許庁 / 特許	蒸着ユニットおよび蒸着装置 FI分類-H05B 33/10, FI分類-C23C 14/04 A, FI分類-C23C 14/24 G, FI分類-C23C 14/24 S, FI分類-H05B 33/14 A

キヤノントッキ株式会社の職場情報

項目	データ
事業概要	有機ELディスプレイ、薄膜太陽電池、真空技術関連の製造装置を設計・開発・製造・販売
企業規模	498人 男性 399人 / 女性 99人
平均勤続年数 範囲 正社員	男性 10.2年 / 女性 9.7年
女性労働者の割合 範囲 その他	12.5%
管理職全体人数	75人 男性 74人 / 女性 1人
役員全体人数	3人

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