株式会社東京精密

株式会社東京精密とは

名称の「株式会社」について(β版)

株式会社東京精密の基本情報

項目	内容
商号又は名称	株式会社東京精密
商号又は名称（読み仮名）フリガナ	-
法人番号	5010101009430
会社法人等番号	0101-01-009430
登記所	東京法務局八王子支局 ※法人設立時に登記が提出された登記所を表示しています。
インボイス登録番号 ※2024年08月31日更新 インボイス番号	T5010101009430 ※2023年10月01日に適格請求書発行事業者として登録されました。 (2024年08月31日現在)
法人種別	株式会社
郵便番号	〒192-0032 ※地方自治体コードは 13201
国内所在地（都道府県）都道府県	東京都 ※東京都の法人数は 1,315,123件
国内所在地（市区町村）市区町村	八王子市 ※八王子市の法人数は 21,591件
国内所在地（丁目番地等）丁目番地	石川町2968番地2
国内所在地（1行表示）1行表示	東京都八王子市石川町2968番地2
国内所在地（読み仮名）読み仮名	-
英語表記	TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
国内所在地（英語表示）英語表示	2968-2, Ishikawa-machi, Hachioji-shi, Tokyo
代表者	代表取締役 木村 龍一
設立日	1949年03月28日
資本金	114億5,000万円 (2024年06月25日現在)
従業員数	1,200人 (2024年06月25日現在)
電話番号TEL	042-642-0381
FAX番号FAX	042-642-0386
ホームページHP	https://www.accretech.com/jp/sustainability/esg/work_life_balance.html
更新年月日更新日	2025年06月16日
変更年月日変更日	2015年10月05日
法人番号指定年月日指定日	2015年10月05日 ※2015年10月05日以前に設立された法人は、全て2015年10月05日で表示されます。
管轄の労働局労働局	東京労働局 〒102-8305～〒102-8307 東京都千代田区九段南1丁目2番1号 九段第3合同庁舎12階～14階
管轄の労働基準監督署労働基準監督署	八王子労働基準監督署 〒192-0046 東京都八王子市明神町3-8-10

株式会社東京精密の場所

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株式会社東京精密の補足情報

項目	内容
企業名 読み仮名	カブシキガイシャトウキョウセイミツ
企業名 英語	TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
上場・非上場	上場
資本金	110億円
業種	精密機器
証券コード	77290

株式会社東京精密の登録履歴

日付	内容
2015年10月05日	【新規登録】 名称が「株式会社東京精密」で、「東京都八王子市石川町2968番地2」に新規登録されました。

株式会社東京精密と同じ名称の法人

件数	リンク
2件	※「株式会社東京精密」と同じ名称の法人を探す

株式会社東京精密の法人活動情報

株式会社東京精密の届出情報(2件)

日付 公表組織	活動名称 / 活動対象
2017年11月29日 経済産業省	支店:株式会社東京精密 半導体社八王子工場 PRTR届出データ / PRTR - 精密機械器具製造業(経済産業大臣)
- デジタル庁	代表者:代表取締役 木村 龍一 全省庁統一資格 / -

株式会社東京精密の特許情報(773件)

日付 公表組織 / 種類	活動対象 / 分類等
2023年04月11日 特許庁 / 特許	電磁石、及び磁場印加システム FI分類-H01F 7/14 E
2023年02月07日 特許庁 / 特許	温度制御システム及び温度制御方法 FI分類-G01N 25/00 P, FI分類-H01L 21/66 B
2022年12月06日 特許庁 / 特許	温度制御装置、温度制御方法、プログラム、プローバ及び学習モデル生成方法 FI分類-H01L 21/66 B
2022年11月30日 特許庁 / 特許	レーザ光の光軸調整方法及び装置 FI分類-B23K 26/042
2022年11月30日 特許庁 / 特許	レーザ光の光軸調整方法及び装置 FI分類-B23K 26/042
2022年11月30日 特許庁 / 特許	ビームエキスパンダの良否判定方法 FI分類-B23K 26/035, FI分類-G02B 7/00 A, FI分類-G02B 7/00 D, FI分類-B23K 26/00 Q
2022年03月28日 特許庁 / 特許	ツールホルダ装着状態検出方法及び装置、並びに工作機械 FI分類-B23Q 17/00 B, FI分類-B23Q 3/155 F
2021年04月28日 特許庁 / 特許	形状測定機及びその制御方法 FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 21/00 G, FI分類-G01B 21/20 C
2021年03月19日 特許庁 / 特許	レーザ加工装置 FI分類-B23K 26/082, FI分類-B23K 26/364, FI分類-B23K 26/064 G, FI分類-H01L 21/268 J
2021年03月19日 特許庁 / 特許	ウエハエッジ部の改質装置及び改質方法 FI分類-G02B 26/12, FI分類-H01L 21/304 601 B
2021年03月19日 特許庁 / 特許	ウエハエッジ部の改質装置及び改質方法 FI分類-G02B 26/12, FI分類-B23K 26/082, FI分類-B23K 26/352, FI分類-H01L 21/304 601 B
2021年02月22日 特許庁 / 特許	測定装置 FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 5/28 102
2020年09月04日 特許庁 / 特許	ダイシング装置及び方法 FI分類-H01L 21/78 C, FI分類-H01L 21/78 F
2020年09月04日 特許庁 / 特許	ダイシング装置及び方法 FI分類-H01L 21/78 F, FI分類-H01L 21/78 L
2020年08月28日 特許庁 / 特許	レーザ加工装置 FI分類-B23K 26/364, FI分類-H01L 21/78 B
2020年08月28日 特許庁 / 特許	レーザ加工装置 FI分類-B23K 26/067, FI分類-B23K 26/364, FI分類-H01L 21/78 B
2020年08月28日 特許庁 / 特許	レーザ加工装置 FI分類-B23K 26/067, FI分類-B23K 26/364, FI分類-H01L 21/78 B
2020年08月19日 特許庁 / 特許	ステータコイル端末の姿勢検査装置及び姿勢検査方法 FI分類-H02K 15/085, FI分類-H02K 15/02 Z
2020年07月14日 特許庁 / 特許	検査用ウェーハの検査方法及び検査装置並びに検査用ウェーハ FI分類-B23K 26/03, FI分類-B23K 26/53, FI分類-G01N 21/95 Z, FI分類-H01L 21/78 B
2020年07月07日 特許庁 / 特許	レーザ加工システム及びレーザ加工方法 FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/364, FI分類-B23Q 17/24 C, FI分類-H01L 21/78 B, FI分類-H01L 21/78 Q
2020年06月24日 特許庁 / 特許	ワーク処理システム FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/78 N
2020年05月14日 特許庁 / 特許	形状測定機及びその制御方法 FI分類-G01B 21/20
2020年05月14日 特許庁 / 特許	形状測定機及びその制御方法 FI分類-G01B 5/20 C
2020年04月30日 特許庁 / 特許	測定装置 FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 5/28 102
2020年04月28日 特許庁 / 特許	測定装置及びその制御方法 FI分類-G01B 5/28 102
2020年04月28日 特許庁 / 特許	測定装置及び測定方法 FI分類-G01B 5/008, FI分類-G01B 5/28 102
2020年04月03日 特許庁 / 特許	位置決め治具 FI分類-B23Q 3/18 Z, FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-B23Q 3/06 303 E
2020年04月01日 特許庁 / 特許	保持治具、表面形状測定装置、及び保持治具ユニット FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 5/20 R
2020年03月31日 特許庁 / 特許	真直度測定装置 FI分類-G01B 11/00 C, FI分類-G01B 11/00 G
2020年03月30日 特許庁 / 特許	三次元測定機、及び三次元測定機の測定方法、 FI分類-G01B 5/008
2020年03月27日 特許庁 / 特許	ワーク加工システム及びワーク加工方法 FI分類-B23Q 15/24, FI分類-B23Q 7/04 A, FI分類-B23Q 7/04 B, FI分類-B25J 9/22 Z, FI分類-B23Q 17/20 A, FI分類-B23Q 17/22 A, FI分類-G01B 21/00 A, FI分類-G05B 19/404 H
2020年03月27日 特許庁 / 特許	測定器 FI分類-G01B 3/20 101 Z
2020年03月25日 特許庁 / 特許	ウェハの再研削方法 FI分類-H01L 21/68 M, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 621 E, FI分類-H01L 21/304 622 Y
2020年03月18日 特許庁 / 特許	ブラシ摩耗監視装置及び回転電機 FI分類-H01R 39/58, FI分類-H02K 13/00 X
2020年03月17日 特許庁 / 特許	内面形状測定機、及び内面形状測定機のアライメント方法 FI分類-G01B 21/00 L, FI分類-G01B 21/20 D
2020年03月13日 特許庁 / 特許	加工装置 FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 622 L
2020年03月13日 特許庁 / 特許	チャックテーブル FI分類-H01L 21/68 N
2020年03月13日 特許庁 / 特許	研磨パッドの厚み測定装置 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 37/005 Z, FI分類-H01L 21/304 622 F
2020年03月13日 特許庁 / 特許	加工システム FI分類-B24B 55/06, FI分類-B23Q 3/08 A, FI分類-B24B 7/00 A, FI分類-B23Q 11/00 N, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-H01L 21/68 P, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 622 H
2020年03月10日 特許庁 / 特許	亀裂検出装置及び方法 FI分類-G01B 11/22 Z, FI分類-G01N 21/88 H, FI分類-H01L 21/78 B, FI分類-H01L 21/78 R, FI分類-H01L 21/78 V, FI分類-G01N 21/956 A
2020年03月09日 特許庁 / 特許	オートフォーカス光学系及び加工光学装置 FI分類-G03B 13/36, FI分類-B23K 26/046, FI分類-G02B 7/28 H
2020年03月09日 特許庁 / 特許	加工装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-H01L 21/304 631
2020年03月04日 特許庁 / 特許	三次元測定システム及び三次元測定方法 FI分類-G01B 5/008, FI分類-G01B 21/00 E
2020年03月04日 特許庁 / 特許	三次元測定システム及び三次元測定方法 FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 21/00 H
2020年03月04日 特許庁 / 特許	三次元測定システム及び三次元測定方法 FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 21/00 H
2020年03月04日 特許庁 / 特許	加工装置 FI分類-B24B 7/00 Z, FI分類-B24B 45/00 Z
2020年03月04日 特許庁 / 特許	三次元測定システム及び三次元測定方法 FI分類-G01B 5/008, FI分類-G01B 21/00 E
2020年03月03日 特許庁 / 特許	ワーク加工装置及び方法 FI分類-B24B 19/02, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 41/06 J, FI分類-B24B 49/02 Z
2020年03月03日 特許庁 / 特許	加工装置 FI分類-B24B 47/12, FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 622 K, FI分類-H01L 21/304 622 R
2020年03月03日 特許庁 / 特許	ワーク加工装置及び方法 FI分類-B23Q 17/20 A, FI分類-B23Q 17/22 A, FI分類-B23Q 17/24 C, FI分類-G05B 19/19 H, FI分類-G05B 19/404 H
2020年03月03日 特許庁 / 特許	ワーク加工装置及び方法 FI分類-B23C 3/30, FI分類-B24B 19/02, FI分類-B24B 47/22, FI分類-B23Q 17/20 Z, FI分類-B23Q 17/22 A, FI分類-B24B 41/06 Z, FI分類-B24B 49/04 Z
2020年03月02日 特許庁 / 特許	ウェーハ表面の改質装置および方法 FI分類-B23K 26/354, FI分類-H01L 21/268 F, FI分類-H01L 21/304 622 P
2020年02月28日 特許庁 / 特許	シリコンウエハ表面状態診断方法及び表面改質方法 FI分類-H01L 21/66 L, FI分類-H01L 21/268 F, FI分類-H01L 21/304 621 B, FI分類-H01L 21/304 622 P
2020年02月28日 特許庁 / 特許	測定装置及び測定システム FI分類-G01B 11/00 G
2020年02月18日 特許庁 / 特許	ワークの径測定方法及び真円度測定機 FI分類-G01B 5/08, FI分類-G01B 5/20 R
2020年02月18日 特許庁 / 特許	真円度測定機 FI分類-G01B 5/08, FI分類-G01B 5/20 R
2020年02月06日 特許庁 / 特許	三次元座標測定方法及び三次元座標測定機 FI分類-G01B 5/008, FI分類-G01B 21/00 E
2020年02月06日 特許庁 / 特許	レーザ加工装置及び加工方法 FI分類-B23K 26/03, FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/00 M, FI分類-H01L 21/78 B
2020年01月29日 特許庁 / 特許	測定装置 FI分類-G01B 11/24 D, FI分類-G01B 11/30 102 G
2020年01月27日 特許庁 / 特許	物理量測定装置 FI分類-G01D 5/20 K, FI分類-G01D 5/20 110 F
2020年01月17日 特許庁 / 特許	ウェハ加工システム及びウェハ加工方法 FI分類-H01L 21/78 B, FI分類-H01L 21/78 C, FI分類-H01L 21/78 F
2020年01月16日 特許庁 / 特許	接触式板厚測定器における自己診断装置 FI分類-G01B 5/06, FI分類-G01B 5/00 P, FI分類-H01L 21/66 P
2020年01月09日 特許庁 / 特許	亀裂検出装置 FI分類-B23K 26/03, FI分類-B23K 26/53, FI分類-G01B 11/00 C
2019年12月16日 特許庁 / 特許	回転塗布装置 FI分類-B05C 9/10, FI分類-B05C 11/08, FI分類-H01L 21/30 564 C
2019年12月13日 特許庁 / 特許	プローバ及びプローブ検査方法 FI分類-G01R 31/28 K, FI分類-H01L 21/66 B
2019年12月13日 特許庁 / 特許	亀裂検出装置及び亀裂検出装置の制御方法 FI分類-G01B 11/22 Z, FI分類-H01L 21/78 B, FI分類-G01N 21/956 A
2019年12月11日 特許庁 / 特許	レーザ加工装置及びレーザ加工装置の制御方法 FI分類-B23K 26/067, FI分類-B23K 26/364, FI分類-H01L 21/78 B, FI分類-H01L 21/78 C
2019年12月03日 特許庁 / 特許	シート剥離装置 FI分類-H01L 21/68 N
2019年11月28日 特許庁 / 特許	液だれ防止機構及び塗布装置 FI分類-B05C 11/08, FI分類-B05C 11/10
2019年11月27日 特許庁 / 特許	検出器、表面性状測定装置及び測定方法 FI分類-G01B 5/20 C
2019年11月27日 特許庁 / 特許	表面性状測定装置及び測定方法 FI分類-G01B 5/20 Z
2019年11月22日 特許庁 / 特許	表面形状測定機、及び表面形状測定方法 FI分類-G01B 5/20 C
2019年11月20日 特許庁 / 特許	ワーク加工装置及びワーク加工方法 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 7/16 Z, FI分類-B24B 27/06 J, FI分類-B24B 45/00 Z, FI分類-H01L 21/304 601 Z
2019年11月19日 特許庁 / 特許	プローバの組立方法及びティーチング治具 FI分類-H01L 21/66 B
2019年11月18日 特許庁 / 特許	表面性状測定方法及び表面性状測定装置 FI分類-G01B 5/20 R
2019年11月06日 特許庁 / 特許	相関関係生成方法、測定力調整方法及び表面性状測定装置 FI分類-G01B 5/20 R
2019年10月29日 特許庁 / 特許	レーザ加工装置、レーザ加工装置の収差調整方法、レーザ加工装置の収差制御方法、及びレーザ加工方法 FI分類-B23K 26/53, FI分類-H01L 21/78 B, FI分類-B23K 26/064 N
2019年10月29日 特許庁 / 特許	レーザ加工装置の収差調整方法及び収差制御方法 FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/00 M, FI分類-H01L 21/78 B
2019年10月29日 特許庁 / 特許	レーザ加工装置の収差制御方法 FI分類-H01L 21/78 B, FI分類-B23K 26/064 Z
2019年10月21日 特許庁 / 特許	シート剥離装置 FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/78 M, FI分類-H01L 21/304 622 P
2019年10月03日 特許庁 / 特許	加工装置及び方法 FI分類-B23K 26/10, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/78 B, FI分類-H01L 21/78 N
2019年09月27日 特許庁 / 特許	ダイシング装置及び方法 FI分類-B24B 47/22, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-H01L 21/78 C, FI分類-H01L 21/78 F
2019年09月20日 特許庁 / 特許	フレーム洗浄機構 FI分類-H01L 21/78 L, FI分類-H01L 21/304 644 A, FI分類-H01L 21/304 648 E
2019年09月20日 特許庁 / 特許	レーザ加工装置及びレーザ加工装置の診断方法 FI分類-B23K 26/03, FI分類-B23K 26/53, FI分類-H01L 21/78 B
2019年08月23日 特許庁 / 特許	形状測定装置 FI分類-G01B 5/28 102
2019年08月23日 特許庁 / 特許	形状測定装置 FI分類-G01B 5/28 102
2019年07月17日 特許庁 / 特許	測定装置 FI分類-G01B 5/008, FI分類-G12B 5/00 A, FI分類-F16D 63/00 R, FI分類-F16H 25/22 Z
2019年07月16日 特許庁 / 特許	形状測定装置 FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 5/28 102
2019年06月14日 特許庁 / 特許	ブレード診断方法及びブレード診断装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-H01L 21/78 F
2019年06月10日 特許庁 / 特許	亀裂検出装置及び方法 FI分類-G01B 11/22 Z
2019年05月17日 特許庁 / 特許	CMP装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/005 Z, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 R
2019年04月16日 特許庁 / 特許	変位検出器、表面性状測定機、及び真円度測定機 FI分類-G01B 5/20 R
2019年04月09日 特許庁 / 特許	パターン測定方法及び装置 FI分類-G01B 11/14 G, FI分類-G01B 11/24 D, FI分類-G01B 11/26 G
2019年03月29日 特許庁 / 特許	切断用ブレード FI分類-B24D 3/18, FI分類-B28D 1/24, FI分類-B24D 3/34 A, FI分類-B24D 5/12 Z, FI分類-B24D 3/00 310 D
2019年03月28日 特許庁 / 特許	ワーク搬送装置 FI分類-B23Q 7/04 K, FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/78 N
2019年03月28日 特許庁 / 特許	形状測定機及びその制御方法 FI分類-G01B 11/24 D, FI分類-G01B 11/24 R, FI分類-G01B 11/26 Z
2019年03月28日 特許庁 / 特許	三次元座標測定機及び三次元座標測定方法 FI分類-G01B 21/20 101
2019年03月27日 特許庁 / 特許	ブラストユニット付き面取り装置 FI分類-B24C 3/22, FI分類-B24C 1/04 E, FI分類-B24C 3/32 Z, FI分類-B24C 5/02 A, FI分類-B24C 5/04 B, FI分類-B24B 9/00 601 G, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 601 B
2019年03月27日 特許庁 / 特許	真円度測定装置およびそれを備えた工作機械ならびに測定方法 FI分類-G01D 5/26 K, FI分類-B23Q 17/20 A, FI分類-B23Q 3/155 Z, FI分類-G01B 11/30 101, FI分類-B23Q 5/04 520 Z, FI分類-G01B 21/30 101 Z
2019年03月27日 特許庁 / 特許	基板加工装置 FI分類-B24B 47/12, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-H01L 21/304 631
2019年03月27日 特許庁 / 特許	基板加工装置 FI分類-B24B 47/12, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-H01L 21/304 631
2019年03月27日 特許庁 / 特許	基板加工装置 FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 41/06 L
2019年03月27日 特許庁 / 特許	測定方法及び装置 FI分類-G01B 11/06 G
2019年03月27日 特許庁 / 特許	回転塗布装置及び回転塗布方法 FI分類-B05B 7/26, FI分類-B05C 9/14, FI分類-B05C 11/08, FI分類-B05C 11/10, FI分類-B05D 1/02 H, FI分類-B05D 3/00 B, FI分類-B05D 3/00 C, FI分類-B05D 3/00 D, FI分類-H01L 21/30 567, FI分類-H01L 21/30 564 C
2019年03月27日 特許庁 / 特許	回転塗布装置及び回転塗布方法 FI分類-B05B 7/26, FI分類-B05C 11/08, FI分類-B05C 11/10, FI分類-B05D 1/02 H, FI分類-B05D 1/40 A, FI分類-B05D 3/00 B, FI分類-B05D 3/00 C, FI分類-H01L 21/30 564 C
2019年03月27日 特許庁 / 特許	基板加工装置 FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 622 H
2019年03月26日 特許庁 / 特許	ウエハ搬送装置 FI分類-B23Q 7/04 B, FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-B65G 49/07 G, FI分類-H01L 21/68 C
2019年03月25日 特許庁 / 特許	画像処理方法及び測定装置 FI分類-G01B 11/24 D
2019年03月15日 特許庁 / 特許	偏心量検出装置及び偏心量検出方法 FI分類-G01B 11/00 D, FI分類-G01B 11/00 H, FI分類-H01L 21/68 F
2019年03月14日 特許庁 / 特許	ニッケル電鋳ブレードおよびニッケル電鋳ブレードの製造方法 FI分類-B24D 3/06 B, FI分類-B24D 5/12 Z, FI分類-B24D 3/00 340, FI分類-C25D 1/00 311, FI分類-C25D 1/00 351
2019年03月13日 特許庁 / 特許	レンズ倍率認識方法及び測定装置 FI分類-G02B 21/24, FI分類-G01B 11/00 H, FI分類-G01B 11/24 K, FI分類-G03B 15/00 T
2019年03月12日 特許庁 / 特許	ウェハチャックの洗浄方法及び装置 FI分類-B08B 1/04, FI分類-B24B 55/06, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-H01L 21/304 631
2019年03月12日 特許庁 / 特許	研削装置 FI分類-B24B 49/18, FI分類-B24B 53/02, FI分類-B24B 53/00 A, FI分類-B24B 53/12 A, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 622 M
2019年03月11日 特許庁 / 特許	レーザー加工装置及びレーザー加工方法 FI分類-B23K 26/03, FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/046, FI分類-H01L 21/78 B
2019年03月07日 特許庁 / 特許	レーザ加工装置及びレーザ加工方法 FI分類-B23K 26/046
2019年03月07日 特許庁 / 特許	レーザー加工装置及びレーザー加工方法 FI分類-B23K 26/03, FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/046, FI分類-H01L 21/78 B
2019年03月06日 特許庁 / 特許	ウエハ保持装置 FI分類-B23Q 3/08 A, FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 622 H
2019年03月06日 特許庁 / 特許	レーザ加工装置及び撮像装置 FI分類-B23K 26/03, FI分類-B23K 26/53, FI分類-H01L 21/78 B, FI分類-H01L 21/78 C
2019年03月01日 特許庁 / 特許	シリコンウェハの表面の研削修復装置及び研削修復方法 FI分類-B23K 26/03, FI分類-B23K 26/354, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 601 B
2019年02月25日 特許庁 / 特許	ブラシ洗浄装置 FI分類-B08B 1/00, FI分類-B08B 3/02 A, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 644 Z
2019年02月19日 特許庁 / 特許	ワーク検査方法及び装置並びにワーク加工方法 FI分類-B23K 26/03, FI分類-H01L 21/78 B
2019年02月18日 特許庁 / 特許	ダイシング装置及びダイシング方法 FI分類-B24B 47/22, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-B24B 27/06 X, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-H01L 21/78 F
2019年02月15日 特許庁 / 特許	加工中における砥石目詰まり非接触検知装置及び検知方法 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 53/00 A
2019年02月15日 特許庁 / 特許	シリコンウェハの研削後表面のレーザー照射修復装置及び修復方法 FI分類-B23K 26/03, FI分類-B23K 26/361, FI分類-B23K 26/00 M, FI分類-B23K 26/08 F, FI分類-H01L 21/304 622 P
2019年02月15日 特許庁 / 特許	平面加工装置 FI分類-B24B 7/00 A, FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-H01L 21/68 T, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 621 B
2019年02月15日 特許庁 / 特許	シリコンウェハの研削後表面のレーザー照射修復装置及び修復方法 FI分類-B23K 26/352, FI分類-H01L 21/304 601 B
2019年02月13日 特許庁 / 特許	ウェーハの在荷検知装置 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B23Q 17/00 B, FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-H01L 21/68 L, FI分類-H01L 21/304 621 B
2019年02月05日 特許庁 / 特許	加工装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-H01L 21/78 F
2019年02月05日 特許庁 / 特許	加工装置 FI分類-B24B 41/04, FI分類-B24B 47/22, FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/14, FI分類-B23Q 17/22 E, FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-H01L 21/78 F
2019年02月04日 特許庁 / 特許	ウェーハ剥離洗浄装置 FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/304 611 A, FI分類-H01L 21/304 642 A, FI分類-H01L 21/304 644 E, FI分類-H01L 21/304 648 A
2019年02月04日 特許庁 / 特許	ウェーハ剥離洗浄装置 FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/304 611 A, FI分類-H01L 21/304 644 E, FI分類-H01L 21/304 648 A
2019年02月04日 特許庁 / 特許	ウェーハ剥離洗浄装置 FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/304 611 A, FI分類-H01L 21/304 642 A, FI分類-H01L 21/304 644 E, FI分類-H01L 21/304 648 A
2019年02月04日 特許庁 / 特許	ワークの固定用治具 FI分類-G02B 6/25, FI分類-B26D 7/02 Z, FI分類-B23Q 3/06 301 M
2019年01月30日 特許庁 / 特許	被搬送物の位置決め装置及び位置決め方法 FI分類-B23Q 3/18 B, FI分類-B23Q 11/00 P, FI分類-B24B 45/00 A, FI分類-H01L 21/78 F
2019年01月30日 特許庁 / 特許	ワーク載置台 FI分類-H01L 21/68 U
2019年01月16日 特許庁 / 特許	ウェーハチャック及びウェーハ保持装置 FI分類-H01L 21/68 P, FI分類-H01L 21/78 N
2019年01月16日 特許庁 / 特許	平面加工装置 FI分類-B24B 41/047, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 45/00 Z, FI分類-H01L 21/304 631
2019年01月16日 特許庁 / 特許	CMP装置 FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-B24B 37/005 A, FI分類-H01L 21/304 622 K
2019年01月15日 特許庁 / 特許	ウェーハ検出装置、ウェーハ検出方法、及びプローバ FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/68 L
2019年01月15日 特許庁 / 特許	ウェーハ検出装置、ウェーハ検出方法、及びプローバ FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/68 L
2019年01月11日 特許庁 / 特許	空気圧シリンダ及びそれを備えた測定装置 FI分類-G01B 21/00 P, FI分類-F15B 15/14 335 A, FI分類-F15B 15/14 340 Z, FI分類-F15B 15/14 345 Z, FI分類-F15B 15/14 380 A, FI分類-F15B 15/14 380 Z
2019年01月09日 特許庁 / 特許	レーザダイシング装置 FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/00 P, FI分類-H01L 21/78 B
2019年01月09日 特許庁 / 特許	電子部品のポッティング方法及びそれを用いた電子装置 FI分類-H05K 5/00 B, FI分類-H05K 5/02 L, FI分類-H01L 23/30 D, FI分類-G01D 5/347 110 X
2018年12月28日 特許庁 / 特許	レーザ加工装置及びレーザ加工方法 FI分類-B23K 26/03, FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/046, FI分類-H01L 21/78 B
2018年12月28日 特許庁 / 特許	レーザ加工装置及びレーザ加工方法 FI分類-B23K 26/03, FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/046
2018年12月28日 特許庁 / 特許	レーザ加工装置及びその制御方法 FI分類-B23K 26/03, FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/02 A, FI分類-H01L 21/78 B, FI分類-H01L 21/78 C
2018年12月27日 特許庁 / 特許	形状測定装置 FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 21/00 L
2018年12月19日 特許庁 / 特許	光回転プローブ及び形状測定装置 FI分類-G01B 11/24 D
2018年12月19日 特許庁 / 特許	距離測定装置及びその制御方法 FI分類-G01B 9/02, FI分類-G01B 11/00 G
2018年12月17日 特許庁 / 特許	補助方法及び補助装置 FI分類-B24B 47/22, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B23Q 3/18 C, FI分類-B23Q 17/22 A, FI分類-B23Q 17/24 C, FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-H01L 21/68 F, FI分類-H01L 21/78 N, FI分類-B23Q 3/06 304 K
2018年12月17日 特許庁 / 特許	ウエハ研磨装置 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-H01L 21/68 G, FI分類-H01L 21/304 622 L
2018年12月17日 特許庁 / 特許	ウェハ保持装置及びウェハ搬送保持装置 FI分類-B25J 15/06 A, FI分類-H01L 21/68 B, FI分類-H01L 21/304 631
2018年12月14日 特許庁 / 特許	貼り合わせウェーハのエッジトリミング加工方法 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 601 B
2018年12月14日 特許庁 / 特許	貼り合わせウェーハのエッジトリミング加工方法 FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 601 B
2018年12月14日 特許庁 / 特許	貼り合わせウェーハのエッジトリミング加工方法、及びエッジトリミング加工装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 601 Z
2018年11月28日 特許庁 / 特許	多軸レーザ干渉測長器 FI分類-G01B 9/02, FI分類-G01B 11/00 G
2018年11月28日 特許庁 / 特許	多軸レーザ干渉測長器、及び、変位検出方法 FI分類-G01B 11/00 G, FI分類-G01B 9/02015, FI分類-G01B 9/02055
2018年11月20日 特許庁 / 特許	ウエハ受け渡し装置 FI分類-B65G 49/07 F, FI分類-H01L 21/68 A
2018年11月20日 特許庁 / 特許	ウエハ受け渡し装置 FI分類-B65G 49/07 F, FI分類-H01L 21/68 A
2018年11月20日 特許庁 / 特許	ウエハ位置決め装置 FI分類-B65G 49/07 F, FI分類-H01L 21/68 A
2018年11月20日 特許庁 / 特許	ウエハ位置決め装置 FI分類-B65G 49/07 F, FI分類-H01L 21/68 A
2018年11月19日 特許庁 / 特許	レーザ加工装置及びその制御方法 FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/354, FI分類-B23K 26/02 A, FI分類-H01L 21/78 B
2018年11月09日 特許庁 / 特許	ダイシング装置及びダイシング方法 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-B24B 49/03 Z, FI分類-H01L 21/78 F
2018年11月09日 特許庁 / 特許	ダイシング方法及び装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-B24B 49/03 Z, FI分類-H01L 21/78 F
2018年11月09日 特許庁 / 特許	ダイシング装置及びダイシング方法並びにダイシングテープ FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-B24B 41/06 Z, FI分類-B24B 49/03 Z, FI分類-H01L 21/78 F
2018年11月08日 特許庁 / 特許	亀裂検出装置及び方法 FI分類-G01B 11/02 H, FI分類-H01L 21/78 B, FI分類-H01L 21/78 V
2018年11月08日 特許庁 / 特許	レーザー加工方法及び装置 FI分類-B23K 26/03, FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/00 M, FI分類-G01B 11/02 Z, FI分類-H01L 21/78 B, FI分類-H01L 21/78 V
2018年11月08日 特許庁 / 特許	研削装置 FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 55/02 B, FI分類-H01L 21/304 631
2018年11月02日 特許庁 / 特許	半導体基板切断用レジンブレード及び半導体基板切断用レジンブレード製造方法 FI分類-B24D 3/28, FI分類-B24D 5/12 Z, FI分類-H01L 21/78 F, FI分類-B24D 3/00 340
2018年10月31日 特許庁 / 特許	亀裂検出装置及び亀裂検出方法 FI分類-G01B 11/02 Z, FI分類-G01B 11/22 Z
2018年10月29日 特許庁 / 特許	リニアモータ駆動装置及び表面形状測定装置 FI分類-G01B 5/20 R, FI分類-G01B 5/28 102
2018年10月29日 特許庁 / 特許	リニアモータ駆動装置及び表面形状測定装置 FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-H02K 41/02 C
2018年10月10日 特許庁 / 特許	三次元測定結果の処理方法及び処理装置並びに三次元測定機 FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 21/20 101
2018年10月10日 特許庁 / 特許	レーザー加工装置及びレーザー加工方法 FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/067, FI分類-H01L 21/78 B, FI分類-B23K 26/064 Z
2018年10月10日 特許庁 / 特許	光変調装置及び光変調方法 FI分類-B23K 26/067, FI分類-G02F 1/01 D, FI分類-H01L 21/78 B
2018年09月25日 特許庁 / 特許	ダイシング装置及びカッターセット方法 FI分類-B28D 1/04 Z, FI分類-B28D 5/02 A, FI分類-B23Q 17/09 C, FI分類-H01L 21/78 F
2018年09月25日 特許庁 / 特許	ダイシング装置及びカッターセット方法 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/18, FI分類-B23D 45/02 D, FI分類-B23Q 17/09 C, FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-B24B 55/02 D, FI分類-H01L 21/78 F
2018年09月13日 特許庁 / 特許	異常検出方法及び三次元測定機 FI分類-G01B 5/008, FI分類-G01B 5/00 P
2018年09月13日 特許庁 / 特許	異常検出方法及び三次元測定機 FI分類-G01B 21/00 Z
2018年09月10日 特許庁 / 特許	加工システム及び方法 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B23K 15/00 508, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 622 P
2018年08月27日 特許庁 / 特許	三次元測定機及び三次元測定方法 FI分類-G01B 11/24 A, FI分類-G01B 21/20 101
2018年08月23日 特許庁 / 特許	ファイバーケーブル切断装置 FI分類-B26D 1/15, FI分類-G02B 6/25, FI分類-B26D 1/14 F, FI分類-B26D 7/06 Z
2018年08月23日 特許庁 / 特許	ファイバーケーブル切断装置 FI分類-B26D 1/15, FI分類-G02B 6/46, FI分類-B26D 1/14 F, FI分類-B26D 3/16 A, FI分類-B24B 27/06 M
2018年08月07日 特許庁 / 特許	三次元測定機の作動方法及び三次元測定機 FI分類-G01B 21/00 Z
2018年08月07日 特許庁 / 特許	三次元測定機の作動方法及び三次元測定機 FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 21/20 101
2018年06月28日 特許庁 / 特許	補助装置及び補助方法 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B23Q 17/22 A, FI分類-B23Q 17/24 Z, FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-H01L 21/78 C
2018年06月11日 特許庁 / 特許	CMP装置及び方法 FI分類-B24B 55/06, FI分類-B24B 37/30 A, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-B24B 37/005 A, FI分類-H01L 21/304 622 G, FI分類-H01L 21/304 622 H, FI分類-H01L 21/304 622 K
2018年05月24日 特許庁 / 特許	CMP装置 FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-H01L 21/304 622 K
2018年05月08日 特許庁 / 特許	補助方法及び補助装置 FI分類-H01L 21/78 C
2018年05月08日 特許庁 / 特許	補助方法及び補助装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B23Q 17/00 A, FI分類-B23Q 17/00 E, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-H01L 21/78 C
2018年04月20日 特許庁 / 特許	テープ付きウェーハの加工装置及びその加工方法 FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-H01L 21/304 601 Z
2018年04月20日 特許庁 / 特許	テープ付きウェーハの加工装置及びその加工方法 FI分類-B24B 9/00 601 G, FI分類-H01L 21/304 601 B
2018年04月19日 特許庁 / 特許	ハブ型ブレード及びハブ型ブレード製造方法 FI分類-B24D 5/04, FI分類-B24D 5/00 E, FI分類-B24D 5/12 Z, FI分類-B24D 3/00 340
2018年04月19日 特許庁 / 特許	ハブ型ブレード FI分類-B24D 5/12 Z, FI分類-H01L 21/78 F
2018年04月19日 特許庁 / 特許	ハブ型ブレード FI分類-B24D 5/12 Z, FI分類-H01L 21/78 F
2018年04月18日 特許庁 / 特許	ギヤ間に生じるミスアライメントの温度変化を評価する評価方法 FI分類-G01M 13/02
2018年03月29日 特許庁 / 特許	導通検査装置、プローバ FI分類-G01R 31/02, FI分類-H01L 21/66 B
2018年03月29日 特許庁 / 特許	形状測定機 FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 5/28 102
2018年03月29日 特許庁 / 特許	校正ユニット、及び形状測定機校正装置 FI分類-G01B 3/56, FI分類-G01B 5/00 P
2018年03月29日 特許庁 / 特許	測定機管理装置及び方法 FI分類-G05B 19/418 Z, FI分類-G01B 21/20 101
2018年03月29日 特許庁 / 特許	形状測定機及び測定力調整方法 FI分類-G01B 5/20 C
2018年03月29日 特許庁 / 特許	校正ユニット FI分類-G01B 5/00 P
2018年03月29日 特許庁 / 特許	導通検査装置、プローバ FI分類-G01R 31/54, FI分類-H01L 21/66 B
2018年03月28日 特許庁 / 特許	エンコーダ FI分類-G01D 5/347 110 D
2018年03月28日 特許庁 / 特許	測定ヘッド及びその温度特性を調整する方法 FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-B23Q 17/20 A, FI分類-B24B 49/04 A
2018年03月28日 特許庁 / 特許	焼成前セラミックス積層体の切断方法およびそれに用いる装置 FI分類-H01G 4/30 517, FI分類-H01G 4/30 311 A, FI分類-H01G 13/00 391 H
2018年03月28日 特許庁 / 特許	貼り合せ基板の測定方法および加工方法並びにそれらに用いる装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-G01B 11/24 K, FI分類-B24B 9/00 601 G, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 601 B, FI分類-H01L 21/304 622 W
2018年03月28日 特許庁 / 特許	内径測定装置およびそれを用いた測定方法 FI分類-G01B 5/12, FI分類-G01B 5/00 L
2018年03月28日 特許庁 / 特許	光学式測定器およびそれを用いた測定方法 FI分類-G01B 5/12, FI分類-G01D 5/347 110 D
2018年03月28日 特許庁 / 特許	板厚の測定装置及び板厚の測定方法 FI分類-G01B 5/06
2018年03月28日 特許庁 / 特許	プローバシステム FI分類-G01R 31/26 J, FI分類-H01L 21/66 B
2018年03月28日 特許庁 / 特許	貼り合せ基板の測定方法および加工方法並びにそれらに用いる装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-G01B 11/00 H, FI分類-G01B 11/08 H, FI分類-H01L 21/68 F, FI分類-H01L 21/304 621 C
2018年03月28日 特許庁 / 特許	光学式測定器およびそれを用いた測定方法 FI分類-G01B 21/10
2018年03月28日 特許庁 / 特許	内径測定装置 FI分類-G01B 5/12, FI分類-G01B 5/00 L
2018年03月28日 特許庁 / 特許	測定ヘッド及びその温度特性を調整する方法 FI分類-G01B 5/02, FI分類-B23Q 17/20 A, FI分類-B24B 49/04 A
2018年03月28日 特許庁 / 特許	積層体の切断方法およびそれに用いる装置 FI分類-H01G 13/00 391 H
2018年03月28日 特許庁 / 特許	板厚の測定装置及び板厚の測定方法 FI分類-G01B 5/06, FI分類-B23Q 17/20 A
2018年03月28日 特許庁 / 特許	接続装置 FI分類-G01R 31/26 J, FI分類-H01L 21/66 B
2018年03月28日 特許庁 / 特許	板厚の測定装置及び板厚の測定方法 FI分類-G01B 5/06
2018年03月27日 特許庁 / 特許	ウェーハ分割装置及び方法 FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/78 V, FI分類-H01L 21/78 W
2018年03月27日 特許庁 / 特許	異常検出方法及び三次元測定器 FI分類-G01B 5/00 P
2018年03月26日 特許庁 / 特許	外径測定器及びその温度特性を調整する方法、並びに研削装置 FI分類-B24B 5/42, FI分類-G01B 5/08, FI分類-B23Q 17/20 A, FI分類-B24B 49/04 A
2018年03月26日 特許庁 / 特許	面取り加工システム及びそれに用いられるツルーイング装置 FI分類-B24B 49/18, FI分類-B24B 53/00 J, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 601 B, FI分類-H01L 21/304 622 M
2018年03月26日 特許庁 / 特許	面取り加工システム FI分類-B24B 53/00 A, FI分類-B24B 53/00 J, FI分類-B24B 53/12 Z, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 621 E
2018年03月26日 特許庁 / 特許	外径測定器 FI分類-G01B 5/08
2018年03月23日 特許庁 / 特許	ウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法 FI分類-B24B 53/00 J, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 601 B, FI分類-H01L 21/304 622 E, FI分類-H01L 21/304 622 F, FI分類-H01L 21/304 622 M
2018年03月23日 特許庁 / 特許	表面形状測定装置 FI分類-G01B 5/20 C
2018年03月23日 特許庁 / 特許	ウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法 FI分類-B24B 53/02, FI分類-B24D 3/06 B, FI分類-B24B 53/12 Z, FI分類-B24B 9/00 601 G, FI分類-H01L 21/304 601 B
2018年03月22日 特許庁 / 特許	プローバのウェーハ搬送装置 FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 C
2018年03月22日 特許庁 / 特許	プローバの冷却システム FI分類-G01R 31/28 H, FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 N
2018年03月22日 特許庁 / 特許	プローバの冷却システム FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/66 H, FI分類-H01L 21/68 N
2018年03月22日 特許庁 / 特許	プローバの冷却システム FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 N
2018年03月22日 特許庁 / 特許	搬送装置 FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 C
2018年03月22日 特許庁 / 特許	冷却システム FI分類-G01R 31/319, FI分類-G01R 31/28 H, FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 N
2018年03月20日 特許庁 / 特許	研磨装置 FI分類-B24B 37/34, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 57/02, FI分類-B24B 37/013, FI分類-B24B 37/00 K, FI分類-H01L 21/304 622 E, FI分類-H01L 21/304 622 S
2018年03月20日 特許庁 / 特許	研磨装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/013, FI分類-B24B 37/005 Z, FI分類-H01L 21/304 622 S
2018年03月20日 特許庁 / 特許	研磨装置 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/16, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-B24B 37/005 A, FI分類-H01L 21/304 622 R
2018年03月20日 特許庁 / 特許	研磨装置 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/013, FI分類-B24B 37/12 D, FI分類-H01L 21/304 622 F
2018年03月19日 特許庁 / 特許	表面形状測定装置 FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 21/00 L, FI分類-G01B 21/20 C
2018年03月16日 特許庁 / 特許	ウェハ分断装置及び方法 FI分類-B24B 1/00 Z, FI分類-B24B 7/22 Z, FI分類-H01L 21/78 Q, FI分類-H01L 21/78 V, FI分類-H01L 21/304 631
2018年03月16日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/68 F, FI分類-H01L 21/68 P
2018年03月13日 特許庁 / 特許	研磨装置 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 41/047, FI分類-B24B 37/12 D, FI分類-B24B 37/005 A, FI分類-H01L 21/304 622 K
2018年03月13日 特許庁 / 特許	研磨装置 FI分類-B24B 37/10, FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-H01L 21/304 622 K, FI分類-H01L 21/304 622 R
2018年03月12日 特許庁 / 特許	形状解析装置、形状解析方法、およびプログラム FI分類-G01B 5/20 C
2018年03月12日 特許庁 / 特許	加工装置 FI分類-B24B 7/04 B, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 622 H
2018年03月12日 特許庁 / 特許	加工装置 FI分類-B24B 7/00 A, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-H01L 21/304 631
2018年03月12日 特許庁 / 特許	研削装置 FI分類-B24B 7/00 A, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-H01L 21/304 631
2018年03月07日 特許庁 / 特許	研削盤 FI分類-B24B 53/02, FI分類-B24B 7/04 B, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 622 M, FI分類-H01L 21/304 622 R, FI分類-H01L 21/304 622 S
2018年03月07日 特許庁 / 特許	研磨装置 FI分類-B24B 41/047, FI分類-B24B 7/22 Z, FI分類-B24B 37/005 A, FI分類-H01L 21/304 622 R
2018年03月02日 特許庁 / 特許	接触式の外径測定装置及び外径測定方法 FI分類-G01B 5/08
2018年03月02日 特許庁 / 特許	エアマイクロ FI分類-G01B 13/08, FI分類-G01B 13/10
2018年03月02日 特許庁 / 特許	球面内径測定装置および測定方法 FI分類-G01B 5/12
2018年03月02日 特許庁 / 特許	絶対距離測定装置及びその方法 FI分類-G01S 17/10, FI分類-G01B 11/06 Z, FI分類-G01C 3/06 120 Q
2018年03月02日 特許庁 / 特許	ウエハ搬送保持装置 FI分類-B25J 15/06 A, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/68 B, FI分類-H01L 21/68 P
2018年03月02日 特許庁 / 特許	形状測定装置 FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 5/20 R
2018年03月02日 特許庁 / 特許	形状測定装置 FI分類-G01B 5/20 C
2018年03月02日 特許庁 / 特許	形状測定装置 FI分類-G01B 5/20 Z
2018年03月02日 特許庁 / 特許	球面内径測定装置および測定方法 FI分類-G01B 5/12
2018年03月02日 特許庁 / 特許	絶対距離測定装置及びその方法 FI分類-G01S 17/10, FI分類-G01S 7/4865, FI分類-G01B 11/06 Z, FI分類-G01C 3/06 120 Q
2018年03月01日 特許庁 / 特許	測定プログラムの管理方法 FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 21/20 101
2018年03月01日 特許庁 / 特許	設計公差の修正方法及び測定システム FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 21/20 C
2018年02月27日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-G01R 1/073 E, FI分類-G01R 31/28 K, FI分類-H01L 21/66 B
2018年02月26日 特許庁 / 特許	荷重分散板 FI分類-H01L 21/66 B
2018年02月23日 特許庁 / 特許	チャック装置及び表面形状測定機 FI分類-B23Q 7/04 J, FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 21/00 L, FI分類-G01B 21/20 C
2018年02月19日 特許庁 / 特許	ウェハ分断装置及び方法 FI分類-B23K 26/53, FI分類-B24B 1/00 Z, FI分類-B24B 1/04 D, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-H01L 21/78 Q, FI分類-H01L 21/78 V, FI分類-H01L 21/304 631
2018年02月19日 特許庁 / 特許	ウェハ分断装置及び方法 FI分類-B23K 26/53, FI分類-B24B 1/00 Z, FI分類-B24B 1/04 E, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 7/22 Z, FI分類-H01L 21/78 Q, FI分類-H01L 21/78 V, FI分類-H01L 21/304 631
2018年02月19日 特許庁 / 特許	研削装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 7/22 Z, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-B24B 55/02 B, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 622 S
2018年02月19日 特許庁 / 特許	研削装置 FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 49/04 Z
2018年02月07日 特許庁 / 特許	表面形状測定機 FI分類-G01B 5/28, FI分類-G01B 5/012, FI分類-G01B 5/20 C
2018年02月07日 特許庁 / 特許	表面形状測定機 FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 5/28 102
2018年02月02日 特許庁 / 特許	リニア駆動機構及び形状測定機 FI分類-H02K 7/102, FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 21/00 L, FI分類-G01B 21/20 C, FI分類-H02K 41/02 Z
2018年02月02日 特許庁 / 特許	リニア駆動機構 FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 21/00 L
2018年02月01日 特許庁 / 特許	検出器及び真円度測定機 FI分類-G01B 5/00 B, FI分類-G01B 5/20 R
2018年02月01日 特許庁 / 特許	検出器及び真円度測定機 FI分類-G01B 5/012, FI分類-G01B 5/20 R
2018年01月19日 特許庁 / 特許	ワークの搬送装置、及び、ワークの搬送方法 FI分類-H01L 21/68 A
2018年01月19日 特許庁 / 特許	ワークの保持装置、及び、ワークの保持方法 FI分類-B23Q 3/18 C, FI分類-B23Q 7/04 B, FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/68 G
2018年01月11日 特許庁 / 特許	ワーク分割装置及びワーク分割方法 FI分類-H01L 21/78 X
2018年01月11日 特許庁 / 特許	ワーク分割装置及びワーク分割方法 FI分類-H01L 21/78 W
2018年01月11日 特許庁 / 特許	ワーク分割装置及びワーク分割方法 FI分類-H01L 21/78 X
2018年01月11日 特許庁 / 特許	ワーク分割装置及びワーク分割方法 FI分類-H01L 21/78 X
2017年12月28日 特許庁 / 特許	CMP装置 FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-B24B 37/32 A, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 G
2017年12月28日 特許庁 / 特許	CMP装置 FI分類-B24B 37/30 C, FI分類-H01L 21/304 622 G, FI分類-H01L 21/304 622 K
2017年12月26日 特許庁 / 特許	旋回動作に追従する配線・配管の保護装置 FI分類-B23Q 1/00 E, FI分類-H01L 21/304 622 H
2017年12月25日 特許庁 / 特許	ブレード加工装置及びブレード加工方法 FI分類-B24B 53/00 C, FI分類-B24B 53/00 D, FI分類-B24B 53/00 K, FI分類-H01L 21/78 F
2017年12月18日 特許庁 / 特許	洗浄装置 FI分類-H01L 21/304 643 Z
2017年12月15日 特許庁 / 特許	測定装置及び測定方法 FI分類-G01R 33/032, FI分類-G01B 11/00 G
2017年12月12日 特許庁 / 特許	プローバ及びプローブ検査方法 FI分類-H01L 21/66 B
2017年12月12日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-H01L 21/66 B
2017年11月30日 特許庁 / 特許	プローバ及びプローブ検査方法 FI分類-H01L 21/66 B
2017年11月30日 特許庁 / 特許	プローバ及びプローブ検査方法 FI分類-G01R 31/26 J, FI分類-H01L 21/66 B
2017年11月30日 特許庁 / 特許	プローバ及びプローブ検査方法 FI分類-H01L 21/66 B
2017年11月30日 特許庁 / 特許	プローバ及びプローブ検査方法 FI分類-G01R 31/26 J, FI分類-G01R 31/28 H, FI分類-H01L 21/66 B
2017年11月06日 特許庁 / 特許	ウェーハの加工方法 FI分類-B23K 26/53, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/78 B, FI分類-H01L 21/78 M, FI分類-H01L 21/78 Q, FI分類-H01L 21/78 V, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 J
2017年10月24日 特許庁 / 特許	ワーク分割装置及びワーク分割方法 FI分類-H01L 21/78 X
2017年10月24日 特許庁 / 特許	ワーク分割装置及びワーク分割方法 FI分類-H01L 21/78 X
2017年09月22日 特許庁 / 特許	レーザー加工装置及びレーザー加工方法 FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/00 M
2017年09月22日 特許庁 / 特許	レーザー加工装置及びレーザー加工方法 FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/046
2017年09月11日 特許庁 / 特許	校正装置及び校正方法 FI分類-G01B 9/02, FI分類-G01B 11/00 G
2017年09月08日 特許庁 / 特許	測定器及びそれに用いる衝突退避機構並びに衝突退避方法 FI分類-G01B 5/06, FI分類-G01B 5/12, FI分類-G01B 5/18
2017年09月08日 特許庁 / 特許	測定器、衝突退避方法、工作機械、及び、ワークの加工方法 FI分類-B23Q 17/20 A, FI分類-G01B 21/00 Z
2017年08月24日 特許庁 / 特許	外径測定装置及びその調整方法 FI分類-G01B 5/08
2017年08月24日 特許庁 / 特許	外径測定装置及びその調整方法 FI分類-G01B 5/08
2017年08月15日 特許庁 / 特許	断線検出装置、断線検出方法、及びプローブ先端検出装置 FI分類-G01R 31/02, FI分類-G01D 5/22 B, FI分類-G01R 31/28 K, FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-G01B 7/00 101 E
2017年08月01日 特許庁 / 特許	レーザー加工装置及び亀裂検出方法 FI分類-B23K 26/03, FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/00 P, FI分類-G01B 11/02 Z
2017年08月01日 特許庁 / 特許	亀裂検出装置及び亀裂検出方法 FI分類-G01B 11/22 Z
2017年07月18日 特許庁 / 特許	非破壊検査装置及びその方法 FI分類-G01N 29/07
2017年05月30日 特許庁 / 特許	ブレード検査装置及びブレード検査方法 FI分類-B28D 1/24, FI分類-B24D 5/12 Z, FI分類-G01N 3/58 Z, FI分類-H01L 21/78 F, FI分類-B24D 3/00 340
2017年05月15日 特許庁 / 特許	宅配ボックスシステム及びインターホン装置 FI分類-H04M 9/00 H, FI分類-A47G 29/122 Z
2017年05月09日 特許庁 / 特許	ハブ型ブレード取付け構造及び基板切断装置 FI分類-B24D 5/16, FI分類-B24D 5/12 Z, FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-H01L 21/78 F
2017年04月27日 特許庁 / 特許	切刃ブレード、ハブ型ブレード及び切刃ブレード製造方法 FI分類-B24D 3/06 B, FI分類-B24D 5/12 Z, FI分類-B28D 5/02 A, FI分類-H01L 21/78 F, FI分類-B24D 3/00 340, FI分類-B24D 3/00 310 F
2017年04月27日 特許庁 / 特許	切刃ブレード FI分類-B24D 3/06 B, FI分類-B24D 5/12 Z, FI分類-H01L 21/78 F
2017年03月31日 特許庁 / 特許	レーザ加工装置及びレーザ加工方法 FI分類-B23K 26/03, FI分類-B23K 26/146, FI分類-H01L 21/78 B
2017年03月31日 特許庁 / 特許	レーザ加工装置及びレーザ加工方法 FI分類-B23K 26/073, FI分類-B23K 26/082, FI分類-B23K 26/146, FI分類-B23K 26/00 P
2017年03月31日 特許庁 / 特許	レーザ加工装置及びレーザ加工方法 FI分類-B23K 26/073, FI分類-B23K 26/146, FI分類-B23K 26/00 M, FI分類-H01L 21/78 B
2017年03月31日 特許庁 / 特許	表面形状測定機の校正装置 FI分類-G01B 5/00 P, FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 21/20 C
2017年03月31日 特許庁 / 特許	レーザ加工装置及びレーザ加工方法 FI分類-B23K 26/073, FI分類-B23K 26/146, FI分類-H01L 21/78 B
2017年03月30日 特許庁 / 特許	超音波計測装置及び超音波計測方法 FI分類-G01S 7/52 F, FI分類-G01B 17/00 B, FI分類-G01S 7/524 R, FI分類-G01S 7/526 J
2017年03月30日 特許庁 / 特許	液面高さ測定装置、該液面高さ測定装置を有する液注入装置、および液面高さ測定装置を用いた液面高さ測定方法 FI分類-G01B 11/02 G, FI分類-G01F 23/292 B
2017年03月30日 特許庁 / 特許	渦電流式変位計 FI分類-G01D 5/20 Q, FI分類-B23Q 17/00 B, FI分類-G01B 7/00 101 F
2017年03月30日 特許庁 / 特許	検出器及び表面粗さ測定機 FI分類-G01B 5/28 102
2017年03月30日 特許庁 / 特許	スピンナー洗浄装置 FI分類-B08B 3/02 B, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 651 B
2017年03月30日 特許庁 / 特許	三次元測定機、測定方法、及び測定プログラム FI分類-G01B 5/00 A, FI分類-G05B 19/401, FI分類-G01B 21/00 E
2017年03月30日 特許庁 / 特許	三次元測定機、測定方法、及び測定プログラム FI分類-G01B 21/00 E
2017年03月30日 特許庁 / 特許	超音波計測装置及び超音波計測方法 FI分類-G01S 7/52 F, FI分類-G01B 17/00 B, FI分類-G01S 7/524 R, FI分類-G01S 7/526 J
2017年03月30日 特許庁 / 特許	スピンナー洗浄装置 FI分類-B08B 3/02 B, FI分類-B08B 3/02 D, FI分類-H01L 21/304 643 A, FI分類-H01L 21/304 651 B, FI分類-H01L 21/304 651 L
2017年03月30日 特許庁 / 特許	三次元測定機、測定方法、及び測定プログラム FI分類-G01B 21/00 E
2017年03月30日 特許庁 / 特許	三次元測定機、測定方法、及び測定プログラム FI分類-G01B 5/00 A
2017年03月30日 特許庁 / 特許	液面高さ測定装置、および液面高さ測定方法 FI分類-G01B 11/03 G, FI分類-G01F 23/292 B
2017年03月29日 特許庁 / 特許	内径測定装置およびそれを用いた内径測定方法 FI分類-G01B 5/12
2017年03月29日 特許庁 / 特許	ウェーハの表裏判定装置及びそれを用いた面取り装置 FI分類-H03H 3/08, FI分類-C30B 29/30 A, FI分類-C30B 29/30 B, FI分類-G01R 29/22 Z, FI分類-B24B 9/00 601 G
2017年03月29日 特許庁 / 特許	ウェーハの位置決め装置及びそれを用いた面取り装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-H01L 21/68 F, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 601 B
2017年03月29日 特許庁 / 特許	ツルーイング方法及び面取り装置 FI分類-B24B 49/18, FI分類-B24B 53/00 J, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 601 B
2017年03月29日 特許庁 / 特許	ウェーハ及びウェーハの薄化方法並びにウェーハの薄化装置 FI分類-B24B 7/22 Z, FI分類-B24B 21/00 D, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 601 B, FI分類-H01L 21/304 621 E
2017年03月29日 特許庁 / 特許	表面形状測定装置の角度補正方法及び角度補正装置 FI分類-G01B 5/20 C
2017年03月29日 特許庁 / 特許	内径測定装置およびそれを用いた内径測定方法 FI分類-G01B 5/12
2017年03月29日 特許庁 / 特許	ウェーハの表裏判定装置及びそれを用いた面取り装置 FI分類-H03H 3/08, FI分類-G01R 29/22 F
2017年03月29日 特許庁 / 特許	ウェーハの位置決め装置及びそれを用いた面取り装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-H01L 21/68 F, FI分類-B24B 9/00 601 G, FI分類-H01L 21/304 601 B
2017年03月29日 特許庁 / 特許	ウェーハ及びウェーハの薄化方法並びにウェーハの薄化装置 FI分類-H01L 21/304 631
2017年03月29日 特許庁 / 特許	ツルーイング方法及び面取り装置 FI分類-B24B 53/07, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 601 B
2017年03月29日 特許庁 / 特許	内径測定装置およびそれを用いた内径測定方法 FI分類-G01B 5/12
2017年03月29日 特許庁 / 特許	ウェーハ及びウェーハの薄化方法並びにウェーハの薄化装置 FI分類-B24B 1/00 A, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 21/00 A, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 621 E
2017年03月29日 特許庁 / 特許	ウェーハの位置決め装置及びそれを用いた面取り装置 FI分類-H01L 21/68 G, FI分類-H01L 21/68 N
2017年03月29日 特許庁 / 特許	ツルーイング方法及び面取り装置 FI分類-B24B 53/06 B, FI分類-B24B 53/12 Z, FI分類-H01L 21/304 601 B, FI分類-H01L 21/304 622 M
2017年03月28日 特許庁 / 特許	表面異物検出装置およびそれを用いた表面異物検出方法 FI分類-G01N 21/94, FI分類-G01B 11/02 H
2017年03月28日 特許庁 / 特許	三次元座標測定装置 FI分類-G01B 5/008, FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 21/00 E, FI分類-G01B 21/00 L
2017年03月28日 特許庁 / 特許	形状測定装置及び形状測定方法 FI分類-G01B 21/10, FI分類-G01B 11/08 Z, FI分類-G01B 11/24 A, FI分類-G01B 11/24 B, FI分類-G01B 11/24 R, FI分類-G01B 21/20 C
2017年03月28日 特許庁 / 特許	表面形状測定機の校正方法及び校正装置 FI分類-G01B 5/00 P, FI分類-G01B 5/20 C
2017年03月28日 特許庁 / 特許	研削装置 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/18, FI分類-B24B 53/02, FI分類-B24B 7/22 Z, FI分類-B24B 53/00 A, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 622 M
2017年03月28日 特許庁 / 特許	三次元座標測定装置 FI分類-G01B 5/00 L
2017年03月28日 特許庁 / 特許	研削装置 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/18, FI分類-B24B 53/02, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 53/00 A, FI分類-B24B 53/12 Z, FI分類-H01L 21/304 631
2017年03月28日 特許庁 / 特許	表面異物検出装置およびそれを用いた表面異物検出方法 FI分類-G01N 21/952
2017年03月28日 特許庁 / 特許	駆動装置 FI分類-G01B 5/00 L
2017年03月27日 特許庁 / 特許	ワーク分割方法 FI分類-H01L 21/78 X
2017年03月27日 特許庁 / 特許	表面形状測定装置及びそのスティッチング測定方法 FI分類-G01B 9/02, FI分類-G01B 11/24 D
2017年03月27日 特許庁 / 特許	プローバおよびプリアライメント方法 FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/68 F
2017年03月27日 特許庁 / 特許	検出器、表面性状測定機、及び真円度測定機 FI分類-G01B 5/016, FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 5/20 R
2017年03月27日 特許庁 / 特許	検出器、輪郭形状測定機及び触針の接触制御方法 FI分類-G01B 5/20 C
2017年03月27日 特許庁 / 特許	検出器、輪郭形状測定機及び触針の接触制御方法 FI分類-G01B 5/20 C
2017年03月27日 特許庁 / 特許	ワーク分割方法 FI分類-H01L 21/78 W
2017年03月27日 特許庁 / 特許	プローバおよびプリアライメント方法 FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/68 F
2017年03月24日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 A
2017年03月24日 特許庁 / 特許	表面測定機用手動送り機構 FI分類-F16H 1/28, FI分類-F16H 19/06, FI分類-F16D 25/08 Z, FI分類-F16H 25/20 Z, FI分類-F16H 37/12 Z, FI分類-G01B 21/00 L, FI分類-H02K 41/02 Z
2017年03月24日 特許庁 / 特許	プローブカードの傾き検出方法及びプローバ FI分類-G01R 31/26 J, FI分類-H01L 21/66 B
2017年03月24日 特許庁 / 特許	プローバ及びプローバの操作方法 FI分類-G01R 31/26 J, FI分類-H01L 21/66 B
2017年03月24日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-G01R 31/26 J, FI分類-G01R 31/28 K, FI分類-H01L 21/66 B
2017年03月24日 特許庁 / 特許	表面測定機用手動送り機構 FI分類-F16H 1/28, FI分類-F16H 1/32 B, FI分類-G12B 5/00 Z, FI分類-G01B 21/00 L
2017年03月24日 特許庁 / 特許	手動送り機構 FI分類-F16H 1/32 B, FI分類-G12B 5/00 T, FI分類-G01B 21/00 L
2017年03月23日 特許庁 / 特許	プローバおよびウェーハチャック FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 P
2017年03月23日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-H01L 21/66 B
2017年03月23日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-H01L 21/66 B
2017年03月23日 特許庁 / 特許	プローバおよびウェーハチャック FI分類-B65G 49/07 G, FI分類-B65G 49/07 H, FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 P
2017年03月10日 特許庁 / 特許	ブレード製造方法 FI分類-B23B 1/00 Z, FI分類-B24C 1/00 Z, FI分類-B24D 5/12 Z, FI分類-B23P 15/28 Z, FI分類-H01L 21/78 F, FI分類-B24D 3/00 340
2017年03月10日 特許庁 / 特許	真円度測定装置 FI分類-G01B 5/00 L
2017年03月09日 特許庁 / 特許	ブレード固定装置及びダイシング装置 FI分類-B24B 45/00 Z, FI分類-H01L 21/78 F
2017年03月09日 特許庁 / 特許	ブレード固定装置及びダイシング装置 FI分類-B24D 5/16, FI分類-B24D 5/12 Z, FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-H01L 21/78 F
2017年03月09日 特許庁 / 特許	ブレード固定装置及びダイシング装置 FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-B24B 45/00 Z, FI分類-H01L 21/78 F
2017年03月08日 特許庁 / 特許	表面形状測定方法 FI分類-G01B 9/02, FI分類-G01B 11/24 D
2017年03月08日 特許庁 / 特許	表面形状測定方法および表面形状測定装置 FI分類-G01B 9/02, FI分類-G01B 11/24 D
2017年03月08日 特許庁 / 特許	表面形状測定方法 FI分類-G01B 11/24 D
2017年03月08日 特許庁 / 特許	表面形状測定方法 FI分類-G01B 9/02, FI分類-G01B 11/24 D
2017年03月07日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-G01R 1/073 E, FI分類-G01R 31/26 J, FI分類-H01L 21/66 B
2017年03月06日 特許庁 / 特許	表面形状測定装置及び表面形状測定方法 FI分類-G01B 11/24 K
2017年03月06日 特許庁 / 特許	切断用ブレード及びその製造方法 FI分類-B24D 3/18, FI分類-B24D 3/34 A, FI分類-B24D 5/12 Z, FI分類-H01L 21/78 F, FI分類-B24D 3/00 340
2017年03月06日 特許庁 / 特許	表面形状測定装置及び表面形状測定方法 FI分類-G01B 11/24 K
2017年03月06日 特許庁 / 特許	表面形状測定装置及び表面形状測定方法 FI分類-G01B 11/245, FI分類-G01B 9/0209, FI分類-G01B 11/24 A, FI分類-G01B 11/24 D, FI分類-G01B 11/25 H
2017年02月27日 特許庁 / 特許	ウエハ搬送保持装置 FI分類-B65G 49/07 G, FI分類-H01L 21/68 B
2017年02月27日 特許庁 / 特許	ウエハ加工装置 FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-B24B 55/02 B, FI分類-H01L 21/68 P, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 622 H
2017年02月27日 特許庁 / 特許	研削装置 FI分類-B24B 53/02, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 621 C
2017年02月27日 特許庁 / 特許	研削装置 FI分類-B24B 53/02, FI分類-B24B 53/12 A, FI分類-H01L 21/304 631
2017年02月27日 特許庁 / 特許	研削装置 FI分類-B24B 49/18, FI分類-B24B 53/02, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-H01L 21/304 622 M
2017年02月27日 特許庁 / 特許	研削装置 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 53/02, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 55/02 B, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 621 C
2017年02月27日 特許庁 / 特許	研削装置 FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-B24B 53/00 A, FI分類-B24B 53/12 Z, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 622 M
2017年02月24日 特許庁 / 特許	表面測定機用検出器 FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 5/28 102
2017年02月20日 特許庁 / 特許	表面粗さ測定システム FI分類-G01B 5/28 102, FI分類-G01B 21/30 102
2017年02月17日 特許庁 / 特許	CMP装置及び方法 FI分類-B24B 37/30 C, FI分類-B24B 37/30 E, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 H, FI分類-H01L 21/304 622 L
2017年02月17日 特許庁 / 特許	CMP装置及び方法 FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-B24B 37/005 A, FI分類-H01L 21/304 622 H, FI分類-H01L 21/304 622 L
2017年02月16日 特許庁 / 特許	CMP装置 FI分類-B24B 37/005 A, FI分類-H01L 21/304 622 K
2017年02月13日 特許庁 / 特許	ハブ型ブレード及びハブ型ブレード製造方法 FI分類-B24D 5/12 Z, FI分類-B28D 5/02 A, FI分類-B24B 45/00 A, FI分類-H01L 21/78 F
2017年02月13日 特許庁 / 特許	ハブ型ブレード及びハブ型ブレード製造方法 FI分類-B24D 3/06 B, FI分類-B24D 5/00 E, FI分類-H01L 21/78 F, FI分類-B24D 3/00 340, FI分類-B24D 3/00 320 B
2017年02月13日 特許庁 / 特許	ハブ型ブレード FI分類-B24D 5/12 Z, FI分類-B28D 5/02 A, FI分類-B24B 45/00 A, FI分類-H01L 21/78 F
2017年02月13日 特許庁 / 特許	ハブ型ブレード FI分類-B24D 3/06 B, FI分類-B24D 5/12 Z, FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-H01L 21/78 F, FI分類-B24D 3/00 320 B
2017年02月13日 特許庁 / 特許	ハブ型ブレード FI分類-B24D 3/06 B, FI分類-B24D 5/12 Z, FI分類-H01L 21/78 F, FI分類-B24D 3/00 320 B
2017年02月13日 特許庁 / 特許	ハブ型ブレード FI分類-B24D 5/16, FI分類-B24D 3/06 B, FI分類-B24D 5/12 Z, FI分類-H01L 21/78 F, FI分類-B24D 3/00 320 B
2017年02月03日 特許庁 / 特許	チャック装置 FI分類-H01M 2/10 M, FI分類-H01M 2/10 Y, FI分類-H01M 2/30 A
2017年01月30日 特許庁 / 特許	研削装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-B24B 49/03 Z, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 621 C
2017年01月23日 特許庁 / 特許	形状測定装置および形状測定方法 FI分類-G01B 11/24 D
2017年01月20日 特許庁 / 特許	プローバ及びプローブ針の接触方法 FI分類-G01R 1/073 E, FI分類-G01R 31/26 J, FI分類-G01R 31/28 K, FI分類-H01L 21/66 B
2017年01月20日 特許庁 / 特許	プローバ及びプローブ針の接触方法 FI分類-G01R 1/073 E, FI分類-G01R 31/26 J, FI分類-G01R 31/28 K, FI分類-H01L 21/66 B
2017年01月19日 特許庁 / 特許	表面形状測定装置の測定準備アライメント方法及び表面形状測定装置 FI分類-G01B 9/02, FI分類-G01B 11/24 D
2017年01月13日 特許庁 / 特許	ワーク分割装置及びワーク分割方法 FI分類-H01L 21/78 X
2017年01月13日 特許庁 / 特許	加温装置及び加温方法 FI分類-H01L 21/78 X
2016年12月28日 特許庁 / 特許	ワーク識別装置及び識別方法 FI分類-B23Q 7/14, FI分類-G01B 17/00 Z, FI分類-B23P 19/00 302 U
2016年12月28日 特許庁 / 特許	ワーク分割装置及びワーク分割方法 FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/78 X
2016年12月28日 特許庁 / 特許	超音波式変位センサ及びそれを用いたワーク識別装置 FI分類-B25J 19/02, FI分類-B23Q 17/00 F, FI分類-G01B 17/00 A
2016年12月28日 特許庁 / 特許	超音波式変位センサ及びそれを用いたワーク識別装置 FI分類-B23Q 7/12, FI分類-G01S 15/87, FI分類-B23Q 41/00 A, FI分類-G01S 7/521 Z
2016年12月28日 特許庁 / 特許	ワーク分割装置及びワーク分割方法 FI分類-H01L 21/78 W
2016年12月28日 特許庁 / 特許	ワーク分割装置及びワーク分割方法 FI分類-H01L 21/78 X
2016年12月28日 特許庁 / 特許	ワーク分割装置及びワーク分割方法 FI分類-H01L 21/78 V, FI分類-H01L 21/78 X
2016年12月26日 特許庁 / 特許	無線通信装置における消費電力の低減方法および無線通信装置 FI分類-H04B 1/401, FI分類-B23Q 17/00 A, FI分類-B23Q 5/04 520 Z
2016年12月26日 特許庁 / 特許	無線測定システム及び工作機械の測定装置 FI分類-H04B 1/713, FI分類-B23Q 17/22 B, FI分類-B23Q 3/155 Z, FI分類-G08C 15/00 E, FI分類-G08C 17/00 Z
2016年12月26日 特許庁 / 特許	無線通信装置における消費電力の低減方法および無線通信装置 FI分類-B23Q 17/12, FI分類-H04B 1/401, FI分類-B23Q 17/00 A, FI分類-B23Q 17/09 A, FI分類-B23Q 17/20 A, FI分類-B23Q 3/155 F
2016年12月26日 特許庁 / 特許	工作機械 FI分類-H04B 1/713, FI分類-B23Q 17/22 B, FI分類-B23Q 3/155 Z, FI分類-G08C 15/00 E, FI分類-G08C 17/00 Z
2016年12月20日 特許庁 / 特許	切断用ブレードの製造方法、及び切断用ブレード FI分類-B24D 3/06 A, FI分類-B24D 5/12 Z, FI分類-H01L 21/78 F, FI分類-B24D 3/00 340
2016年12月09日 特許庁 / 特許	測定システム FI分類-G08C 19/00 301 B
2016年12月09日 特許庁 / 特許	測定システム及びデータ送信方法 FI分類-G08C 19/00 301 B
2016年12月09日 特許庁 / 特許	プログラム FI分類-G08C 19/00 301 B
2016年12月02日 特許庁 / 特許	自動工具交換装置付き工作機械及び自動測定方法 FI分類-B23Q 17/00 A, FI分類-B23Q 3/155 Z
2016年11月28日 特許庁 / 特許	加工装置 FI分類-B24B 41/047, FI分類-B24B 7/00 A, FI分類-H01L 21/304 631
2016年11月28日 特許庁 / 特許	加工装置 FI分類-B24B 41/047, FI分類-B24B 7/00 A, FI分類-H01L 21/304 631
2016年11月28日 特許庁 / 特許	加工装置 FI分類-B23Q 1/52, FI分類-B24B 47/20, FI分類-B23Q 1/01 H, FI分類-B24B 41/047, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-H01L 21/304 631
2016年11月28日 特許庁 / 特許	加工装置 FI分類-B24B 41/047, FI分類-B24B 7/00 A, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 631
2016年11月21日 特許庁 / 特許	測定装置及び測定方法 FI分類-G01B 9/02, FI分類-G01B 11/00 G, FI分類-G01B 11/06 G
2016年11月04日 特許庁 / 特許	ウエハの搬送保持装置 FI分類-B65G 49/07 E, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/68 N
2016年11月04日 特許庁 / 特許	ウエハの搬送保持装置 FI分類-B65G 49/07 G, FI分類-H01L 21/68 B
2016年11月04日 特許庁 / 特許	ウエハの搬送保持装置 FI分類-B65G 49/07 G, FI分類-H01L 21/68 B, FI分類-H01L 21/68 P
2016年11月04日 特許庁 / 特許	ウエハの搬送保持装置 FI分類-B65G 49/07 G, FI分類-H01L 21/68 B
2016年10月31日 特許庁 / 特許	光学式測定器の回り止め FI分類-F16C 29/02, FI分類-G01B 11/00 Z, FI分類-G01D 5/347 110 X
2016年10月31日 特許庁 / 特許	外径測定装置及び測定方法 FI分類-G01B 5/08
2016年10月31日 特許庁 / 特許	形状測定方法及び形状測定装置 FI分類-G01B 21/00 G, FI分類-G01B 21/20 Z
2016年10月31日 特許庁 / 特許	光学式測定器の回り止め FI分類-G01D 5/347 110 X
2016年10月31日 特許庁 / 特許	光学式測定器の回り止め FI分類-G01D 5/347 110 X
2016年10月28日 特許庁 / 特許	ワーク分割装置及びワーク分割方法 FI分類-H01L 21/78 X
2016年10月28日 特許庁 / 特許	ワーク分割装置及びワーク分割方法 FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/78 X
2016年10月28日 特許庁 / 特許	ワーク分割装置 FI分類-H01L 21/78 X
2016年10月28日 特許庁 / 特許	ワーク分割装置及びワーク分割方法 FI分類-H01L 21/78 X
2016年10月28日 特許庁 / 特許	ワーク分割装置及びワーク分割方法 FI分類-H01L 21/68 E, FI分類-H01L 21/78 X
2016年10月27日 特許庁 / 特許	軸連結調整機構 FI分類-B23Q 3/12 A, FI分類-B23B 31/02 Z, FI分類-B23B 31/36 B
2016年10月18日 特許庁 / 特許	プローバ及びプローブ検査方法 FI分類-G01R 31/28 K, FI分類-H01L 21/66 B
2016年10月18日 特許庁 / 特許	プローバ及びプローブ検査方法 FI分類-G01R 31/26 H, FI分類-G01R 31/28 K, FI分類-H01L 21/66 B
2016年10月03日 特許庁 / 特許	面取り研削方法及び面取り研削装置 FI分類-B24B 1/04 B, FI分類-B24D 5/00 P, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 621 E, FI分類-H01L 21/304 622 Y
2016年10月03日 特許庁 / 特許	面取り研削方法及び面取り研削装置 FI分類-B24B 1/04 B, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 601 B
2016年09月29日 特許庁 / 特許	研削盤 FI分類-B24B 49/16, FI分類-B24B 41/047, FI分類-B24B 7/04 B, FI分類-B24B 7/22 Z, FI分類-H01L 21/304 631
2016年09月28日 特許庁 / 特許	加工装置のセッティング方法 FI分類-B24B 7/04 B, FI分類-H01L 21/304 631
2016年09月28日 特許庁 / 特許	加工装置のセッティング方法 FI分類-B24B 7/04 B, FI分類-H01L 21/304 631
2016年09月21日 特許庁 / 特許	白色干渉装置及び白色干渉装置の計測方法 FI分類-G01B 11/02 H, FI分類-G01N 21/45 Z
2016年09月20日 特許庁 / 特許	表面形状測定装置 FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 5/20 R
2016年09月07日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-G01R 31/26 J, FI分類-G01R 31/28 K, FI分類-H01L 21/66 B
2016年08月31日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-G01R 31/26 J, FI分類-H01L 21/66 B
2016年08月26日 特許庁 / 特許	ウェハの表面処理装置 FI分類-B24B 37/04 G, FI分類-H01L 21/322 M, FI分類-H01L 21/304 621 B
2016年08月26日 特許庁 / 特許	ウェハの表面処理装置 FI分類-B24B 37/00 H, FI分類-B24B 37/00 L, FI分類-H01L 21/322 M, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 F
2016年08月26日 特許庁 / 特許	ウェハの表面処理装置 FI分類-H01L 21/304 621 D
2016年08月24日 特許庁 / 特許	ウェハの表面処理装置 FI分類-B24B 37/00 A, FI分類-B24B 37/00 C, FI分類-B24B 37/00 H, FI分類-B24B 37/00 P, FI分類-B24B 37/00 X, FI分類-H01L 21/304 621 B, FI分類-H01L 21/304 622 F, FI分類-H01L 21/304 622 P
2016年08月24日 特許庁 / 特許	ウェハの表面処理装置 FI分類-B24B 53/02, FI分類-H01L 21/322 M, FI分類-H01L 21/304 622 M
2016年08月24日 特許庁 / 特許	ウェハの表面処理方法 FI分類-B24B 37/04 G, FI分類-H01L 21/304 621 D, FI分類-H01L 21/304 622 M, FI分類-H01L 21/304 622 Q
2016年08月22日 特許庁 / 特許	レーザ加工装置及びレーザ加工方法 FI分類-B23K 26/04, FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/067, FI分類-B23K 26/146, FI分類-B23K 26/364, FI分類-H01L 21/78 B, FI分類-B23K 26/064 Z
2016年08月22日 特許庁 / 特許	レーザ加工装置及びレーザ加工方法 FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/067, FI分類-H01L 21/78 B
2016年08月05日 特許庁 / 特許	外径測定装置及び測定方法 FI分類-G01B 5/08
2016年08月05日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 A
2016年08月03日 特許庁 / 特許	超音波変位計測装置及び超音波変位計測方法 FI分類-G01S 5/28, FI分類-G01S 11/14, FI分類-G01B 17/00 B
2016年08月03日 特許庁 / 特許	超音波変位計測装置及び超音波変位計測方法 FI分類-G01S 11/14, FI分類-G01B 17/00 B
2016年07月29日 特許庁 / 特許	ワーク分割装置及びワーク分割方法 FI分類-H01L 21/78 X
2016年07月29日 特許庁 / 特許	温度付与装置及び温度付与方法 FI分類-H01L 21/78 X
2016年07月29日 特許庁 / 特許	温度付与装置及び温度付与方法 FI分類-H01L 21/52 F, FI分類-H01L 21/78 X
2016年07月29日 特許庁 / 特許	温度付与装置及び温度付与方法 FI分類-H01L 21/52 F, FI分類-H01L 21/78 X
2016年07月07日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-G01R 31/28 K, FI分類-H01L 21/66 B
2016年07月07日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-G01R 31/28 K, FI分類-H01L 21/66 B
2016年07月07日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-G01R 31/28 K, FI分類-H01L 21/66 B
2016年07月06日 特許庁 / 特許	距離測定装置及び距離測定方法 FI分類-G01B 9/02, FI分類-G01S 17/32, FI分類-G01B 11/00 G
2016年07月06日 特許庁 / 特許	距離測定装置及び距離測定方法 FI分類-G01B 9/02, FI分類-G01S 17/32, FI分類-G01B 11/00 G
2016年07月05日 特許庁 / 特許	表面形状測定装置の心ずれ量算出方法、及び表面形状測定装置 FI分類-G01B 5/08, FI分類-G01B 5/00 A, FI分類-G01B 5/20 C
2016年07月05日 特許庁 / 特許	真円度測定機の心ずれ量算出方法及び真円度測定機 FI分類-G01B 5/00 P, FI分類-G01B 5/20 R, FI分類-G01B 21/00 F
2016年07月05日 特許庁 / 特許	表面形状測定方法、心ずれ量算出方法、及び表面形状測定装置 FI分類-G01B 5/08, FI分類-G01B 5/20 C
2016年07月05日 特許庁 / 特許	表面形状測定装置 FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 5/20 R
2016年05月09日 特許庁 / 特許	ダイシング装置及びダイシング方法 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-H01L 21/78 F
2016年04月06日 特許庁 / 特許	ワークの支持装置 FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 21/00 L
2016年04月06日 特許庁 / 特許	ワークの支持装置 FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 21/00 L
2016年03月31日 特許庁 / 特許	表面形状測定装置及び表面形状測定方法 FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 21/20 C
2016年03月30日 特許庁 / 特許	ウェーハの面取り方法 FI分類-H01L 21/02 B, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 601 B
2016年03月30日 特許庁 / 特許	ウェーハの面取り方法 FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 601 B
2016年03月30日 特許庁 / 特許	ウェーハの面取り装置 FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 601 B
2016年03月30日 特許庁 / 特許	ウェーハの面取り装置 FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 601 B
2016年03月29日 特許庁 / 特許	部品の調芯組立て方法及びロータリ圧縮機の組立て方法並びにそれに用いられる治具 FI分類-F04C 29/00 B
2016年03月29日 特許庁 / 特許	小型デジタル測長器 FI分類-G08C 19/16, FI分類-G01D 5/244 E, FI分類-G08C 19/00 J, FI分類-H04L 25/02 F, FI分類-H04L 25/02 V, FI分類-G01D 5/347 110 X, FI分類-H03K 19/00 101 Q
2016年03月29日 特許庁 / 特許	超音波ツールおよびその製作方法 FI分類-B24B 1/04 C, FI分類-B24D 7/18 Z
2016年03月29日 特許庁 / 特許	面取り装置及び面取り方法 FI分類-B24B 1/04 C, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 601 B
2016年03月29日 特許庁 / 特許	ダイシング装置 FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-H01L 21/78 F
2016年03月29日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-G01R 31/26 J, FI分類-H01L 21/66 B
2016年03月29日 特許庁 / 特許	プローバ及びプローブコンタクト方法 FI分類-G01R 31/28 K, FI分類-H01L 21/66 B
2016年03月29日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-G01R 31/26 J, FI分類-G01R 31/28 K, FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 P
2016年03月29日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-G01R 31/26 J, FI分類-H01L 21/66 B
2016年03月29日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-G01R 31/26 J, FI分類-G01R 31/28 K, FI分類-H01L 21/66 B
2016年03月29日 特許庁 / 特許	ダイシング装置 FI分類-B24B 49/10, FI分類-B23Q 17/00 F, FI分類-B24B 27/06 J, FI分類-H01L 21/78 F
2016年03月29日 特許庁 / 特許	超音波ツールおよびその製作方法 FI分類-B24D 3/14, FI分類-B24D 3/28, FI分類-B24D 7/16, FI分類-B23H 9/00 C, FI分類-B24B 1/04 C, FI分類-B24D 3/06 Z, FI分類-B24D 3/00 340
2016年03月29日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-G01R 31/26 J, FI分類-G01R 31/28 K, FI分類-H01L 21/66 B
2016年03月29日 特許庁 / 特許	面取り装置及び面取り方法 FI分類-B24D 5/06, FI分類-B24D 7/06, FI分類-B24B 1/04 B, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 9/00 601 G, FI分類-H01L 21/304 601 B, FI分類-H01L 21/304 601 Z
2016年03月29日 特許庁 / 特許	ダイシング装置 FI分類-H01L 21/78 F
2016年03月29日 特許庁 / 特許	超音波ツールおよびその製作方法 FI分類-B24D 3/14, FI分類-B24D 3/18, FI分類-B24D 5/16, FI分類-B24B 1/04 C, FI分類-B24D 3/06 A, FI分類-B24D 3/00 340
2016年03月29日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-G01R 31/26 J, FI分類-H01L 21/66 B
2016年03月29日 特許庁 / 特許	面取り装置及び面取り方法 FI分類-B24B 1/04 B, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 601 B
2016年03月28日 特許庁 / 特許	ウェーハ研削方法及びウェーハ研削装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 7/22 Z, FI分類-H01L 21/78 Q, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 622 S
2016年03月22日 特許庁 / 特許	面取り装置及び面取り方法 FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 601 B, FI分類-H01L 21/304 622 W, FI分類-H01L 21/304 622 Y
2016年03月18日 特許庁 / 特許	振動計測装置及び振動計測方法 FI分類-G01H 9/00 C, FI分類-G01B 11/00 G
2016年03月18日 特許庁 / 特許	ダイシング装置及びダイシング方法 FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-H01L 21/78 F
2016年03月18日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-B65G 49/07, FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 A
2016年03月18日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-H01L 21/66 B
2016年03月18日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-H01L 21/66 B
2016年03月18日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-G01R 31/26 G, FI分類-H01L 21/66 B
2016年03月18日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-H01L 21/66 B
2016年03月18日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-H01L 21/66 B
2016年03月18日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-H01L 21/66 B
2016年03月17日 特許庁 / 特許	光学スケールを有する測長器およびタッチ・プローブ FI分類-G01B 5/00 B, FI分類-G01B 11/00 Z
2016年03月17日 特許庁 / 特許	リニア・スケールを有するエンコーダ及びその原点決定方法 FI分類-G01D 5/36 X, FI分類-G01D 5/347 110 B
2016年03月17日 特許庁 / 特許	三次元測定機、測定方法、及び測定プログラム FI分類-G01B 5/008, FI分類-G01B 21/00 E
2016年03月17日 特許庁 / 特許	リニア・スケールを有するエンコーダ FI分類-G01D 5/36 X, FI分類-G01D 5/347 110 B
2016年03月16日 特許庁 / 特許	ダイシング装置、ブレード診断装置、ブレード診断方法及びプログラム FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-H01L 21/78 F
2016年03月16日 特許庁 / 特許	ブレード診断方法、ブレード診断装置、ブレード先端形状算出方法及びブレード先端形状算出装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-H01L 21/78 F
2016年03月14日 特許庁 / 特許	ダイシング装置 FI分類-H01L 21/78 F
2016年03月11日 特許庁 / 特許	面取り加工装置 FI分類-B24B 55/02 Z, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 601 B, FI分類-H01L 21/304 622 Y
2016年03月11日 特許庁 / 特許	面取り加工装置 FI分類-B24B 53/00 Z, FI分類-B24B 55/02 Z, FI分類-B24B 9/00 601 G, FI分類-H01L 21/304 601 B
2016年03月10日 特許庁 / 特許	ウェハ加工装置及びウェハ加工方法 FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 622 S
2016年03月07日 特許庁 / 特許	平面度測定方法 FI分類-G01B 5/20 R, FI分類-G01B 5/28 101
2016年03月03日 特許庁 / 特許	真円度測定装置 FI分類-G01B 5/20 R
2016年03月03日 特許庁 / 特許	平面度測定装置 FI分類-G01B 5/28 101, FI分類-G01B 21/30 101 F
2016年03月01日 特許庁 / 特許	穴径計測装置及びそれを用いた計測方法 FI分類-G01B 11/12
2016年02月26日 特許庁 / 特許	搬送ユニット及びプローバ FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 A
2016年02月26日 特許庁 / 特許	搬送ユニット及びプローバ FI分類-G01R 31/26 H, FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 A
2016年02月26日 特許庁 / 特許	搬送ユニット及びプローバ FI分類-G01R 31/26 J, FI分類-G01R 31/26 Z, FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 A
2016年02月26日 特許庁 / 特許	内挿方法及び内挿装置 FI分類-G01D 5/244 H
2016年02月26日 特許庁 / 特許	表面形状測定装置及び表面形状測定方法 FI分類-G01B 9/02, FI分類-G02B 21/00, FI分類-G01B 11/24 D
2016年02月26日 特許庁 / 特許	表面形状測定装置及び表面形状測定方法 FI分類-G01B 11/24 D
2016年02月26日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-B65G 49/07 E, FI分類-G01R 31/26 J, FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 A
2016年02月26日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-G01R 31/26 H, FI分類-G01R 31/28 K, FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 A
2016年02月26日 特許庁 / 特許	搬送ユニット FI分類-G01R 31/26 H, FI分類-G01R 31/26 Z, FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 A
2016年02月26日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-G01R 31/26 Z, FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 A
2016年02月26日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-B65G 49/07 C, FI分類-G01R 31/26 Z, FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/68 P
2016年02月26日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-G01R 31/26 H, FI分類-G01R 31/26 J, FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 N
2016年02月26日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 A
2016年02月26日 特許庁 / 特許	搬送ユニット FI分類-G01R 31/26 H, FI分類-G01R 31/26 Z, FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 A
2016年02月26日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 A
2016年02月26日 特許庁 / 特許	搬送ユニット FI分類-G01R 31/26 Z, FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 A
2016年02月25日 特許庁 / 特許	ダイシング装置及びダイシング方法 FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/046, FI分類-H01L 21/78 B
2016年02月25日 特許庁 / 特許	制御装置及び制御方法 FI分類-G02B 7/36, FI分類-G03B 13/36, FI分類-B23K 26/382, FI分類-G02B 7/28 H, FI分類-G03B 15/00 T, FI分類-H01L 21/78 B, FI分類-H01L 21/78 C
2016年02月18日 特許庁 / 特許	位置決め測定システム FI分類-G01B 5/00 A
2016年02月16日 特許庁 / 特許	ウエハ研磨装置 FI分類-B24B 57/02, FI分類-B24B 37/00 K, FI分類-H01L 21/304 622 E
2016年02月15日 特許庁 / 特許	測定支援方法、三次元測定機、及び測定支援プログラム FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 21/20 101
2016年02月12日 特許庁 / 特許	光学式エンコーダ及びその原点決定方法 FI分類-G01D 5/36 X
2016年02月08日 特許庁 / 特許	ダイシング装置及びダイシング用ブレードのドレッシング方法 FI分類-B24B 53/00 K, FI分類-H01L 21/78 F
2016年02月08日 特許庁 / 特許	研削装置 FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 41/06 Z, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 622 R
2016年02月04日 特許庁 / 特許	研削装置 FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-H01L 21/304 631
2016年02月04日 特許庁 / 特許	ダイシング装置及びその異常検出方法 FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-H01L 21/78 F
2016年02月02日 特許庁 / 特許	ワーク識別装置及び識別方法 FI分類-G01S 15/10, FI分類-G01S 15/88, FI分類-B65G 43/08 F, FI分類-B23P 21/00 303 B, FI分類-B23P 21/00 307 P
2016年02月02日 特許庁 / 特許	識別装置及び識別方法 FI分類-B23Q 7/12, FI分類-G01S 15/10, FI分類-G01S 15/88, FI分類-B23P 21/00 307 P
2016年01月29日 特許庁 / 特許	LVDTセンサ FI分類-G01D 5/20 110 B, FI分類-G01D 5/20 110 Q
2016年01月29日 特許庁 / 特許	亀裂検出装置及び亀裂検出方法 FI分類-G01B 11/22 Z, FI分類-H01L 21/78 B, FI分類-G01N 21/956 A
2016年01月29日 特許庁 / 特許	三次元座標測定装置 FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 21/00 E, FI分類-G01B 21/00 L
2016年01月29日 特許庁 / 特許	三次元座標測定装置 FI分類-G01B 5/008, FI分類-G01B 21/00 E, FI分類-G01B 21/00 L
2016年01月29日 特許庁 / 特許	三次元座標測定装置 FI分類-G01B 5/008, FI分類-G01B 21/00 E
2016年01月29日 特許庁 / 特許	三次元座標測定装置 FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 21/00 L
2016年01月29日 特許庁 / 特許	三次元座標測定装置 FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 21/00 L
2016年01月29日 特許庁 / 特許	三次元座標測定装置 FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 21/00 L
2016年01月29日 特許庁 / 特許	三次元座標測定装置 FI分類-G01B 5/00 L
2016年01月29日 特許庁 / 特許	三次元座標測定装置 FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 21/00 L
2016年01月29日 特許庁 / 特許	三次元座標測定装置 FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 21/00 L
2016年01月29日 特許庁 / 特許	三次元座標測定装置 FI分類-G01B 5/00 L
2016年01月29日 特許庁 / 特許	三次元座標測定装置 FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 21/00 L
2016年01月29日 特許庁 / 特許	三次元座標測定装置 FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 21/00 L
2016年01月29日 特許庁 / 特許	三次元座標測定装置 FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 21/00 L
2016年01月29日 特許庁 / 特許	三次元座標測定装置 FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 21/00 L
2016年01月29日 特許庁 / 特許	亀裂検出装置及び亀裂検出方法 FI分類-G01B 11/22 H
2016年01月29日 特許庁 / 特許	三次元座標測定装置 FI分類-G01B 21/00 L
2016年01月29日 特許庁 / 特許	三次元座標測定装置 FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 21/00 L
2016年01月27日 特許庁 / 特許	三次元測定機の測定方法及び測定制御装置、並びに測定プログラム FI分類-G01B 5/008, FI分類-G01B 21/20 101
2016年01月25日 特許庁 / 特許	レーザーダイシング装置 FI分類-B23K 26/53, FI分類-H01L 21/78 B
2016年01月25日 特許庁 / 特許	位置検出装置及びレーザー加工装置 FI分類-B23K 26/03, FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/046, FI分類-G01B 11/00 B, FI分類-H01L 21/78 B
2016年01月25日 特許庁 / 特許	位置検出装置及びレーザー加工装置 FI分類-B23K 26/53, FI分類-H01L 21/68 F, FI分類-H01L 21/78 B, FI分類-H05K 13/08 P
2016年01月22日 特許庁 / 特許	粗さ測定機 FI分類-G01B 5/28 102, FI分類-G01B 21/30 102
2016年01月22日 特許庁 / 特許	研削装置 FI分類-B24B 49/16, FI分類-B24B 7/04 Z, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 622 R
2016年01月22日 特許庁 / 特許	研削装置 FI分類-B24B 49/16, FI分類-B24B 7/04 Z, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-H01L 21/304 631
2016年01月22日 特許庁 / 特許	測定装置 FI分類-G01B 5/28 102
2016年01月13日 特許庁 / 特許	三次元測定機、測定方法、及び測定プログラム FI分類-G01B 5/008, FI分類-G01B 21/00 Z
2016年01月13日 特許庁 / 特許	三次元測定機、測定方法、及び測定プログラム FI分類-G01B 5/008
2016年01月08日 特許庁 / 特許	渦電流センサ及びそれを備えたツールホルダ装着状態検出装置 FI分類-G01B 7/14, FI分類-G01B 7/00 U
2016年01月08日 特許庁 / 特許	プローバ及びプローブコンタクト方法 FI分類-G01R 31/28 K, FI分類-H01L 21/66 B
2016年01月08日 特許庁 / 特許	プローバ及びプローブコンタクト方法 FI分類-H01L 21/66 B
2015年12月28日 特許庁 / 特許	ダイシング装置及びダイシング方法 FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-H01L 21/78 F
2015年12月28日 特許庁 / 特許	レーザ加工装置及びレーザ加工方法 FI分類-B23K 26/066, FI分類-B23K 26/082, FI分類-B23K 26/146, FI分類-B23K 26/364, FI分類-B23K 26/00 M, FI分類-B23K 26/00 N
2015年12月28日 特許庁 / 特許	切断装置及び切断方法 FI分類-B24B 49/14, FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-B24B 55/02 D, FI分類-H01L 21/78 F
2015年12月28日 特許庁 / 特許	レーザ加工装置 FI分類-B23K 26/146
2015年12月21日 特許庁 / 特許	切断用ブレードの製造方法 FI分類-B24D 5/12 Z, FI分類-H01L 21/78 F, FI分類-B24D 3/00 340
2015年12月21日 特許庁 / 特許	切断用ブレードの製造方法 FI分類-B24D 3/28, FI分類-B24D 5/12 Z, FI分類-H01L 21/78 F, FI分類-B24D 3/00 340, FI分類-B24D 3/02 310 A
2015年12月17日 特許庁 / 特許	光学式エンコーダの原点決定方法及び光学式エンコーダを用いたシステム FI分類-G01D 5/36 X, FI分類-G01D 5/347 D, FI分類-G01D 5/347 110 B
2015年12月11日 特許庁 / 特許	画像生成方法及び画像生成装置 FI分類-G01B 9/02, FI分類-G01J 3/45, FI分類-G01B 11/02 G
2015年12月10日 特許庁 / 特許	研削装置 FI分類-B24B 49/14, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 622 R
2015年12月05日 特許庁 / 特許	接触式変位センサ用コントローラ及びそれを用いた変位ゲージ FI分類-G01D 5/22 B, FI分類-G01D 5/249 Q
2015年12月03日 特許庁 / 特許	ウェーハ分割方法及びウェーハ分割装置 FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-H01L 21/78 Q, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 622 R
2015年12月03日 特許庁 / 特許	光軸調整装置及び光軸調整方法 FI分類-G01B 9/02
2015年11月25日 特許庁 / 特許	ウェハ研磨装置 FI分類-F16C 19/16, FI分類-B24B 37/04 G, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-H01L 21/304 621 D
2015年11月16日 特許庁 / 特許	ウェハ搬送装置 FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-B65G 49/07 H, FI分類-H01L 21/68 C, FI分類-H01L 21/68 N
2015年11月12日 特許庁 / 特許	インライン検査装置及び検査方法 FI分類-G01B 17/06, FI分類-G01N 29/07, FI分類-G01N 29/44, FI分類-G01B 17/00 A
2015年10月22日 特許庁 / 特許	距離測定装置及びその方法 FI分類-G01B 9/02, FI分類-G01S 17/32, FI分類-G01B 11/00 G
2015年09月30日 特許庁 / 特許	収容ボックスシステム、収容ボックスの管理装置及び方法 FI分類-A47G 29/124, FI分類-B65G 61/00 550, FI分類-G06Q 50/16 102
2015年09月30日 特許庁 / 特許	研削盤 FI分類-B24B 49/16, FI分類-B24B 7/04 B, FI分類-H01L 21/304 631
2015年09月30日 特許庁 / 特許	研削盤 FI分類-B24B 49/16, FI分類-B24B 41/047, FI分類-B24B 7/22 Z, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 621 C
2015年09月30日 特許庁 / 特許	収容ボックスシステム、収容ボックス管理装置及び方法 FI分類-A47G 29/124
2015年09月29日 特許庁 / 特許	レーザー加工装置及びレーザー加工方法 FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/066, FI分類-B23K 26/067, FI分類-H01L 21/78 B
2015年09月29日 特許庁 / 特許	レーザー加工装置及びレーザー加工方法 FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/067, FI分類-B23K 26/00 P, FI分類-H01L 21/78 B
2015年09月29日 特許庁 / 特許	レーザー加工装置及びレーザー加工方法 FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/067, FI分類-B23K 26/00 M, FI分類-B23K 26/02 A, FI分類-H01L 21/78 B
2015年09月29日 特許庁 / 特許	レーザー加工装置及びレーザー加工方法 FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/067, FI分類-H01S 3/00 B, FI分類-H01S 3/10 Z, FI分類-B23K 26/00 M, FI分類-B23K 26/064 Z
2015年09月29日 特許庁 / 特許	レーザー加工領域の確認装置及び確認方法 FI分類-B23K 26/03, FI分類-H01L 21/78 B, FI分類-B23K 26/064 Z
2015年09月29日 特許庁 / 特許	レーザー加工装置及びレーザー加工方法 FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/067, FI分類-B23K 26/073, FI分類-H01L 21/78 B, FI分類-B23K 26/064 Z
2015年09月08日 特許庁 / 特許	ウェーハ研磨装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 37/00 T, FI分類-B24B 37/04 K, FI分類-B24B 37/04 Y, FI分類-H01L 21/304 622 F, FI分類-H01L 21/304 622 S
2015年09月08日 特許庁 / 特許	ウェーハ研削方法及びウェーハ研削装置 FI分類-B24B 49/04, FI分類-B24B 49/10, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-H01L 21/78 Q, FI分類-H01L 21/304 631
2015年09月08日 特許庁 / 特許	ウェーハ研削方法及びウェーハ研削装置 FI分類-B24B 1/00 F, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-H01L 21/78 Q, FI分類-H01L 21/304 631
2015年09月02日 特許庁 / 特許	寸法測定装置 FI分類-G02B 26/00, FI分類-G01B 11/02 G
2015年08月31日 特許庁 / 特許	ダイシング方法及びダイシング装置 FI分類-H01L 21/78 F, FI分類-H01L 21/78 Q, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 622 N
2015年08月27日 特許庁 / 特許	非接触内面形状測定装置 FI分類-G01B 11/24 B, FI分類-G01B 11/24 D
2015年08月27日 特許庁 / 特許	非接触内面形状測定装置 FI分類-G01B 11/24 B
2015年08月26日 特許庁 / 特許	距離測定装置及びその方法 FI分類-G01B 9/02, FI分類-G01B 11/00 G
2015年07月23日 特許庁 / 特許	プロービング装置及びプローブコンタクト方法 FI分類-H01L 21/66 B
2015年07月23日 特許庁 / 特許	プロービング装置及びプローブコンタクト方法 FI分類-H01L 21/66 B
2015年07月23日 特許庁 / 特許	プロービング装置及びプローブコンタクト方法 FI分類-G01R 31/26 J, FI分類-G01R 31/28 K, FI分類-H01L 21/66 B
2015年07月22日 特許庁 / 特許	半導体ウェーハの検査装置及び半導体ウェーハの検査方法 FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 A
2015年07月21日 特許庁 / 特許	切断用ブレード及びその製造方法 FI分類-B24D 3/06 B, FI分類-B24D 5/02 B, FI分類-B24D 3/00 340, FI分類-B24D 3/00 320 B, FI分類-B24D 3/00 330 D
2015年07月08日 特許庁 / 特許	形状測定装置 FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 5/28 102
2015年07月08日 特許庁 / 特許	形状測定装置 FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 5/28 102
2015年06月30日 特許庁 / 特許	形状測定装置 FI分類-G01B 5/00 B, FI分類-G01B 5/28 102
2015年06月04日 特許庁 / 特許	ワーク加工装置及びワーク加工方法 FI分類-B23H 9/00 Z, FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-B24B 53/00 D, FI分類-B24B 53/00 K, FI分類-H01L 21/78 F
2015年05月11日 特許庁 / 特許	真円度測定装置及びその測定対象物固定治具 FI分類-G01B 5/20 R
2015年05月11日 特許庁 / 特許	測定装置及び固定治具 FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 21/00 L
2015年04月08日 特許庁 / 特許	ワーク加工装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 7/22 A, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 631
2015年03月31日 特許庁 / 特許	ウェーハ位置決め検出装置、方法およびプログラム FI分類-G01B 11/00 D, FI分類-H01L 21/68 F
2015年03月31日 特許庁 / 特許	面取り基板の製造方法及びそれに用いられる面取り装置 FI分類-B24B 9/00 601 B, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 621 E
2015年03月31日 特許庁 / 特許	研削砥石及びその製造方法並びに該研削砥石を備えた装置 FI分類-B24D 3/02 Z, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 601 B, FI分類-H01L 21/304 622 F
2015年03月31日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 A, FI分類-H01L 21/68 G, FI分類-H01L 21/68 M, FI分類-H01L 21/68 P
2015年03月31日 特許庁 / 特許	ウエハ搭載台の温度制御装置及び温度制御方法並びにプローバ FI分類-F25B 7/00 D, FI分類-G01K 7/00 Z, FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/324 J, FI分類-F25B 29/00 351
2015年03月31日 特許庁 / 特許	形状測定機、及びその制御方法 FI分類-G01B 5/20 C
2015年03月31日 特許庁 / 特許	形状測定装置 FI分類-G01B 5/20 R, FI分類-G01B 5/28 102
2015年03月31日 特許庁 / 特許	光学式センサーの校正方法、及び三次元座標測定機 FI分類-G01B 11/00 Z, FI分類-G01B 21/00 E
2015年03月31日 特許庁 / 特許	形状測定装置 FI分類-G01B 5/20 R, FI分類-G01B 5/28 102
2015年03月31日 特許庁 / 特許	ワーク加工装置 FI分類-B24B 47/22, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-H01L 21/304 622 R
2015年03月31日 特許庁 / 特許	形状測定装置 FI分類-G01B 5/28, FI分類-G01B 5/20 R, FI分類-G01B 21/30 102, FI分類-G01B 21/30 101 Z
2015年03月31日 特許庁 / 特許	形状測定装置及び形状測定方法 FI分類-G01B 5/20 R, FI分類-G01B 21/20 C, FI分類-G01B 5/28 102, FI分類-G01B 21/30 102
2015年03月31日 特許庁 / 特許	面取り基板の製造方法及びそれに用いられる面取り装置 FI分類-B24B 9/00 601 A, FI分類-H01L 21/304 601 B, FI分類-H01L 21/304 621 E
2015年03月30日 特許庁 / 特許	ワーク加工装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 55/06, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 7/22 A, FI分類-H01L 21/304 621 C
2015年03月30日 特許庁 / 特許	形状補正方法及び形状補正装置 FI分類-G01B 5/28 102, FI分類-G01B 21/30 102
2015年03月30日 特許庁 / 特許	非接触形状測定装置及び走査レンズ収差補正方法 FI分類-G01B 11/00 A, FI分類-G01B 11/24 A
2015年03月27日 特許庁 / 特許	カーフ深さ測定装置 FI分類-H01L 21/78 P
2015年03月27日 特許庁 / 特許	溝深さ検出装置及び溝深さ検出方法 FI分類-B24B 49/08, FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-H01L 21/78 F, FI分類-H01L 21/78 P
2015年03月26日 特許庁 / 特許	面取り加工された基板及び液晶表示装置の製造方法 FI分類-B24B 9/10 D, FI分類-B24B 9/00 601 B, FI分類-H01L 21/304 601 B
2015年03月25日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-H01L 21/66 B
2015年03月25日 特許庁 / 特許	研削加工方法 FI分類-B24B 49/05, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-B24B 49/02 Z, FI分類-H01L 21/304 631
2015年03月25日 特許庁 / 特許	研削加工装置 FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 49/03 Z, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 621 C, FI分類-H01L 21/304 622 H
2015年03月25日 特許庁 / 特許	筐体 FI分類-G01R 31/00, FI分類-G01R 31/28 H, FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 T
2015年03月25日 特許庁 / 特許	研削加工装置 FI分類-B24B 47/22, FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 49/04 Z, FI分類-B24B 55/02 B, FI分類-H01L 21/304 631
2015年03月24日 特許庁 / 特許	プローバ及びウエハチャック温度測定方法 FI分類-G01K 1/14 A, FI分類-G01K 7/02 A, FI分類-G01K 7/16 M, FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/66 H
2015年03月24日 特許庁 / 特許	プローブカード型温度センサ FI分類-G01K 1/14 A, FI分類-G01K 1/14 L, FI分類-H01L 21/66 B
2015年03月24日 特許庁 / 特許	プローブカード型温度センサ及びウエハチャック温度測定方法 FI分類-G01K 1/14 A, FI分類-G01K 1/14 L, FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/66 T
2015年03月17日 特許庁 / 特許	真空保持装置及びこれを用いた半導体ウェーハ研磨装置 FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-F04F 5/44 C, FI分類-F15D 1/02 B, FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-H01L 21/68 P, FI分類-H01L 21/304 622 H
2015年03月13日 特許庁 / 特許	ブレード自動交換装置及びブレード自動交換方法 FI分類-B24B 45/00 A, FI分類-H01L 21/78 F
2015年03月13日 特許庁 / 特許	ブレード着脱装置及びブレード着脱方法 FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-B24B 45/00 A, FI分類-H01L 21/78 F
2015年03月12日 特許庁 / 特許	レーザー加工装置及びレーザー加工方法 FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/046, FI分類-H01L 21/78 B, FI分類-B23K 26/064 Z
2015年03月12日 特許庁 / 特許	充放電試験システム、校正ユニットおよび校正方法 FI分類-G01R 31/36 A
2015年03月09日 特許庁 / 特許	ウェーハチャックの目詰まり検査装置及び検査方法 FI分類-H01L 21/68 P, FI分類-H01L 21/78 F
2015年02月27日 特許庁 / 特許	ダイシング装置及びダイシング装置用のテーブル FI分類-B23Q 3/08 A, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-H01L 21/68 P, FI分類-H01L 21/78 N
2015年02月27日 特許庁 / 特許	表面形状測定装置のアライメント方法 FI分類-G01B 9/02, FI分類-G01B 11/24 D
2015年02月27日 特許庁 / 特許	プローバ及びプローブカードのプリヒート方法 FI分類-G01R 1/073 E, FI分類-G01R 31/26 J, FI分類-H01L 21/66 B
2015年02月27日 特許庁 / 特許	半導体製造装置及びその位置決め制御方法 FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 F, FI分類-H01L 21/78 A, FI分類-G05D 3/12 306 R
2015年02月27日 特許庁 / 特許	洗浄装置 FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 C
2015年02月27日 特許庁 / 特許	ウェハ研磨装置 FI分類-B24B 37/04 N, FI分類-H01L 21/304 622 H, FI分類-H01L 21/304 622 K
2015年02月27日 特許庁 / 特許	洗浄装置 FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 C
2015年02月27日 特許庁 / 特許	移動制御装置及び位置決め制御方法 FI分類-H02P 29/00, FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 F, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/78 N, FI分類-G05D 3/12 306 R
2015年02月27日 特許庁 / 特許	洗浄装置 FI分類-H01L 21/68 S, FI分類-H01L 21/304 622 Q, FI分類-H01L 21/304 644 C, FI分類-H01L 21/304 648 D
2015年02月26日 特許庁 / 特許	研削加工装置 FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-H01L 21/304 631
2015年02月26日 特許庁 / 特許	プローバ及びウェーハ剥離方法 FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 P
2015年02月26日 特許庁 / 特許	プローバ及びウェーハ剥離方法 FI分類-G01L 5/00 L, FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-G01L 5/00 101 Z
2015年02月24日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-G01R 31/26 J, FI分類-H01L 21/66 B
2015年02月18日 特許庁 / 特許	測定機の校正方法及び校正用ゲージユニット FI分類-G01B 5/00 P, FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 21/20 C, FI分類-G01B 5/28 102, FI分類-G01B 21/30 102
2015年02月18日 特許庁 / 特許	プローブ装置 FI分類-G01R 1/073 D, FI分類-G01R 31/26 G, FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 N
2015年02月17日 特許庁 / 特許	ウエハの受け渡し装置及び方法 FI分類-B23Q 7/04 K, FI分類-B65G 49/07 E, FI分類-H01L 21/68 A
2015年01月30日 特許庁 / 特許	三次元座標測定装置 FI分類-G01B 5/008, FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 21/00 L
2015年01月30日 特許庁 / 特許	ウェハ研削装置及びウェハ研削方法 FI分類-B24B 47/22, FI分類-B24B 51/00, FI分類-B24B 7/04 A, FI分類-H01L 21/304 631
2015年01月30日 特許庁 / 特許	収容ボックスシステム FI分類-A47G 29/124, FI分類-A47G 29/122 A
2015年01月30日 特許庁 / 特許	三次元座標測定装置 FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 21/00 L
2015年01月30日 特許庁 / 特許	収容ボックスシステム、収容ボックス及び中継ボックス FI分類-A47G 29/124, FI分類-A47G 29/12 D, FI分類-A47G 29/122 A
2015年01月30日 特許庁 / 特許	ウェハ研削装置 FI分類-B24B 47/22, FI分類-B24B 7/00 A, FI分類-B24B 49/02 Z, FI分類-H01L 21/304 631
2015年01月28日 特許庁 / 特許	レーザーダイシング装置 FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/046, FI分類-B23K 26/00 M, FI分類-H01L 21/78 B
2015年01月28日 特許庁 / 特許	レーザーダイシング装置 FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/046, FI分類-B23K 26/00 M, FI分類-H01L 21/78 B
2015年01月28日 特許庁 / 特許	レーザーダイシング装置及びダイシング方法 FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/046, FI分類-H01L 21/78 B
2015年01月28日 特許庁 / 特許	レーザーダイシング装置 FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/046, FI分類-B23K 26/00 M, FI分類-H01L 21/78 B
2015年01月28日 特許庁 / 特許	真円度測定装置 FI分類-G01B 5/20 R, FI分類-G01B 21/00 L, FI分類-G01B 21/20 101, FI分類-G01B 21/30 101 Z
2015年01月28日 特許庁 / 特許	移設検知装置 FI分類-G08B 13/10, FI分類-G01B 21/00 L, FI分類-G01D 5/353 A, FI分類-G08B 13/02 Z
2015年01月28日 特許庁 / 特許	真円度測定装置 FI分類-G01B 5/20 R
2015年01月28日 特許庁 / 特許	レーザーダイシング装置 FI分類-B23K 26/03, FI分類-B23K 26/53, FI分類-H01L 21/78 B
2015年01月28日 特許庁 / 特許	位置検出装置 FI分類-B23K 26/03, FI分類-H01L 21/78 B
2015年01月28日 特許庁 / 特許	レーザーダイシング装置 FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/046, FI分類-B23K 26/02 A, FI分類-H01L 21/78 B
2015年01月27日 特許庁 / 特許	干渉計測装置及び干渉計測方法 FI分類-G01B 9/02
2015年01月23日 特許庁 / 特許	形状測定装置 FI分類-G01B 11/24 A, FI分類-G01B 11/24 D, FI分類-G01B 11/24 K
2014年12月22日 特許庁 / 特許	干渉計 FI分類-G01B 9/02, FI分類-G01B 11/00 G
2014年12月10日 特許庁 / 特許	ウェハ分割方法及びウェハ分割装置 FI分類-B23K 26/03, FI分類-B23K 26/53, FI分類-H01L 21/78 B, FI分類-H01L 21/78 C, FI分類-H01L 21/78 Q
2014年12月03日 特許庁 / 特許	ウェハ研削装置 FI分類-B24B 7/00 A, FI分類-B24B 41/06 A, FI分類-H01L 21/304 631, FI分類-H01L 21/304 622 Z
2014年11月18日 特許庁 / 特許	外径測定装置及び内径測定装置 FI分類-G01B 13/08
2014年11月18日 特許庁 / 特許	測定装置 FI分類-G01B 13/02, FI分類-G01B 5/00 A, FI分類-G01B 21/00 L
2014年11月17日 特許庁 / 特許	形状測定装置及び方法 FI分類-G01B 9/02, FI分類-G01B 11/00 B, FI分類-G01B 11/00 G, FI分類-G01B 11/24 D
2014年11月17日 特許庁 / 特許	形状測定機及び形状測定方法 FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 5/20 R, FI分類-G01B 21/00 L, FI分類-G01B 21/30 101 F
2014年10月20日 特許庁 / 特許	表面形状測定装置における測定対象物アライメント方法及び表面形状測定装置 FI分類-G01B 9/02, FI分類-G01B 11/24 D
2014年10月16日 特許庁 / 特許	計測システム、タッチプローブ、及び受信ユニット FI分類-G01B 5/008, FI分類-B23B 31/00 D, FI分類-B23Q 17/00 B, FI分類-B23Q 17/20 A, FI分類-G01B 7/00 101 F, FI分類-G01B 7/00 102 M
2014年10月16日 特許庁 / 特許	計測システム FI分類-G01B 7/00 S, FI分類-B23Q 17/22 B, FI分類-G01B 21/00 A, FI分類-G01B 21/00 P
2014年10月16日 特許庁 / 特許	計測システム FI分類-B23Q 17/22 B, FI分類-G01B 21/00 P, FI分類-G01B 7/00 101 F
2014年10月06日 特許庁 / 特許	ダイシング装置 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-H01L 21/78 C, FI分類-H01L 21/78 F
2014年10月06日 特許庁 / 特許	撮像装置 FI分類-H01L 21/78 C, FI分類-H01L 21/78 F
2014年10月06日 特許庁 / 特許	撮像装置及び加工制御システム FI分類-B24B 49/12, FI分類-G03B 11/00, FI分類-G03B 19/07, FI分類-B24B 27/06 M, FI分類-G03B 15/00 T, FI分類-H01L 21/78 F
2014年09月26日 特許庁 / 特許	表面粗さ測定機 FI分類-G01B 5/00 L, FI分類-G01B 21/00 H, FI分類-G01B 21/00 L, FI分類-G01B 5/28 102, FI分類-G01B 21/30 102
2014年09月16日 特許庁 / 特許	ウェハプローバ装置 FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 P
2014年07月22日 特許庁 / 特許	距離測定装置、及び距離測定方法 FI分類-G01B 11/00 G, FI分類-G01N 21/45 A, FI分類-A61B 1/00 300 D
2014年07月22日 特許庁 / 特許	距離測定装置、及び距離測定方法 FI分類-G01B 11/00 B, FI分類-G01B 11/00 G, FI分類-G01B 11/24 D
2014年07月15日 特許庁 / 特許	多点距離測定装置及び方法並びに形状測定装置 FI分類-G01S 17/32, FI分類-G01S 17/89, FI分類-G01B 11/25 G, FI分類-G01S 7/481 A, FI分類-G01C 3/06 120 Q
2014年07月15日 特許庁 / 特許	3次元座標測定装置及び3次元座標測定方法 FI分類-G01B 11/00 G
2014年07月10日 特許庁 / 特許	距離測定装置、および距離測定方法 FI分類-G01B 9/02, FI分類-G01S 17/32, FI分類-G01S 7/484, FI分類-G01B 11/00 G
2014年07月10日 特許庁 / 特許	距離測定装置、および距離測定方法 FI分類-G01B 9/02, FI分類-G01S 17/32, FI分類-G01B 11/00 G
2014年07月05日 特許庁 / 特許	距離測定装置及び距離測定方法 FI分類-G01B 5/04
2014年06月12日 特許庁 / 特許	多点距離測定装置及び形状測定装置 FI分類-G01S 17/08, FI分類-G01B 11/00 G, FI分類-G01B 11/24 D, FI分類-G01S 7/481 A
2014年05月22日 特許庁 / 特許	三次元測定機、及びこれを用いた形状測定方法 FI分類-G01B 5/00 P, FI分類-G01B 21/00 E
2014年04月25日 特許庁 / 特許	形状測定・校正装置 FI分類-G01B 5/00 P, FI分類-G01B 5/20 C
2014年04月25日 特許庁 / 特許	形状測定・校正装置 FI分類-G01B 5/00 P, FI分類-G01B 5/20 C
2014年04月25日 特許庁 / 特許	形状測定機 FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 5/28 102
2014年04月25日 特許庁 / 特許	形状測定機 FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 5/28 102
2014年04月25日 特許庁 / 特許	形状測定・校正装置 FI分類-G01B 5/012, FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 21/20 Z
2014年04月25日 特許庁 / 特許	形状測定機 FI分類-G01B 5/20, FI分類-G01B 5/28, FI分類-G01B 5/012
2014年04月11日 特許庁 / 特許	充放電試験装置の校正ユニット FI分類-H02J 7/00 Q, FI分類-H02J 7/10 A, FI分類-G01R 31/36 A, FI分類-H01M 10/42 P
2014年03月31日 特許庁 / 特許	距離測定システム、距離測定装置、及び距離測定方法 FI分類-G01N 21/45 Z, FI分類-G01N 21/17 630
2014年03月31日 特許庁 / 特許	3次元座標測定装置及び方法、並びに校正装置 FI分類-G01B 5/008, FI分類-G01B 11/00 G
2014年03月31日 特許庁 / 特許	温度測定装置及び温度測定方法 FI分類-G01K 5/52
2014年03月31日 特許庁 / 特許	ウエハマーキング・研削装置及びウエハマーキング・研削方法 FI分類-B23K 26/00 B, FI分類-H01L 21/68 F, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 601 B
2014年03月28日 特許庁 / 特許	半導体製造装置及び半導体の製造方法 FI分類-B23K 26/36, FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/00 H, FI分類-B23K 26/38 Z, FI分類-H01L 21/78 B, FI分類-H01L 21/78 V
2014年03月28日 特許庁 / 特許	半導体製造装置及び半導体の製造方法 FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/78 M
2014年03月28日 特許庁 / 特許	半導体製造装置及び半導体の製造方法 FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/78 M
2014年03月14日 特許庁 / 特許	測定機の校正方法及びその装置 FI分類-G01B 5/012, FI分類-G01B 5/00 P, FI分類-G01B 5/20 C, FI分類-G01B 21/00 P, FI分類-G01B 5/28 102
2014年03月14日 特許庁 / 特許	双方向変位検出器 FI分類-G01B 5/00 B
2014年03月14日 特許庁 / 特許	双方向変位検出器 FI分類-G01B 5/00 B
2014年03月11日 特許庁 / 特許	電池用ケースのうねり検査方法 FI分類-H01M 2/02 A
2014年03月07日 特許庁 / 特許	通電チャッキング耐久試験装置 FI分類-H01M 2/30 D, FI分類-H01M 10/04 Z
2014年03月06日 特許庁 / 特許	レーザーダイシング装置及びレーザーダイシング方法 FI分類-B23K 26/53, FI分類-B23K 26/00 P, FI分類-B23K 26/08 D, FI分類-H01L 21/78 B
2014年03月05日 特許庁 / 特許	コンタクト位置制御方法 FI分類-G01R 1/073 Z, FI分類-H01L 21/66 B
2014年03月03日 特許庁 / 特許	2色干渉計測装置 FI分類-G01B 9/02, FI分類-G01B 11/00 G
2014年02月27日 特許庁 / 特許	光学式エンコーダ FI分類-G01D 5/36 X
2014年02月20日 特許庁 / 特許	光信号生成装置、距離測定装置、分光特性測定装置、周波数特性測定装置及び光信号生成方法 FI分類-G01J 3/10, FI分類-G01J 3/26, FI分類-G01S 17/32, FI分類-G01C 3/06 120 Q
2014年02月19日 特許庁 / 特許	半導体の製造方法及び半導体製造装置 FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/78 L, FI分類-H01L 21/78 M
2014年02月19日 特許庁 / 特許	プローブ装置 FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/66 J, FI分類-G06T 1/00 305 C
2014年02月19日 特許庁 / 特許	プローブ装置 FI分類-G01R 31/28 K, FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/68 F
2014年02月19日 特許庁 / 特許	プローブ装置のアライメント支援装置及びアライメント支援方法 FI分類-G01R 31/28 K, FI分類-H01L 21/66 B
2014年02月19日 特許庁 / 特許	プローブ装置及びプローブ方法 FI分類-H01L 21/66 B
2014年02月19日 特許庁 / 特許	プローブ装置及びプローブ方法 FI分類-G01R 31/28 K, FI分類-H01L 21/66 B
2014年02月19日 特許庁 / 特許	半導体の製造方法及び半導体製造装置 FI分類-B23K 26/364, FI分類-B26F 3/00 A, FI分類-B28D 5/00 A, FI分類-B23K 26/38 Z, FI分類-H01L 21/68 N, FI分類-H01L 21/78 B, FI分類-H01L 21/78 P, FI分類-H01L 21/78 Q, FI分類-H01L 21/78 V, FI分類-H01L 21/304 631
2014年02月14日 特許庁 / 特許	接触抵抗測定システム FI分類-H02J 7/00 Q, FI分類-G01R 27/02 R, FI分類-G01R 31/36 A, FI分類-H01M 10/44 P
2014年02月05日 特許庁 / 特許	距離測定装置、及び距離測定方法 FI分類-G01B 9/02, FI分類-G01B 11/00 G, FI分類-G01N 21/45 A, FI分類-G01S 7/481 A
2014年01月31日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-H01L 21/66 B
2014年01月31日 特許庁 / 特許	プローバ FI分類-H01L 21/66 B, FI分類-H01L 21/66 H
2014年01月27日 特許庁 / 特許	ウエハ研削装置及びウエハ製造方法 FI分類-B24B 49/12, FI分類-B24B 9/00 601 H, FI分類-H01L 21/304 621 E
2014年01月23日 特許庁 / 特許	ステージの位置制御装置及び方法 FI分類-G01B 9/02, FI分類-G01S 17/32, FI分類-G01B 11/00 G
2014年01月23日 特許庁 / 特許	ステージの位置制御装置 FI分類-G03F 9/00 H, FI分類-G01B 11/00 G
2014年01月22日 特許庁 / 特許	ウェハ研磨装置 FI分類-B24B 55/00, FI分類-B23Q 11/08 Z, FI分類-B24B 37/00 Z, FI分類-B24B 41/06 L, FI分類-H01L 21/304 621 D
2014年01月21日 特許庁 / 特許	切削装置 FI分類-B24B 55/06, FI分類-B23Q 11/00 E, FI分類-B24B 55/02 D, FI分類-H01L 21/78 F
2014年01月21日 特許庁 / 特許	液体カーテン形成装置 FI分類-B24B 55/06, FI分類-B23Q 11/00 E, FI分類-H01L 21/78 F

株式会社東京精密の商標情報(23件)

日付 公表組織 / 種類	活動対象 / 分類等
2023年02月10日 特許庁 / 商標	CONDITIONING PLATE 07類
2022年12月19日 特許庁 / 商標	PRUVIS 07類, 09類
2022年12月19日 特許庁 / 商標	AltaProv 07類, 09類
2022年08月26日 特許庁 / 商標	§Gammaα 09類
2022年08月26日 特許庁 / 商標	Gammaα 09類
2021年10月28日 特許庁 / 商標	Shaftcom 09類
2021年03月18日 特許庁 / 商標	ACCRETECH 40類, 42類
2021年01月25日 特許庁 / 商標	§SBS＼DYNAMIC BALANCE SYSTEM 07類, 09類
2021年01月25日 特許庁 / 商標	SBS 07類, 09類
2019年07月16日 特許庁 / 商標	XYANA smart 09類, 42類
2019年04月17日 特許庁 / 商標	Opt-BLISK 09類
2019年04月17日 特許庁 / 商標	XYZAX 09類
2018年06月15日 特許庁 / 商標	ACCRETECH∞WIN-WIN RELATIONSHIPS＼CREATE THE WORLD’S No.1 PRODUCTS 07類, 09類
2018年03月30日 特許庁 / 商標	Accretech Saw-NET 09類
2018年03月30日 特許庁 / 商標	Saw-NET 09類
2017年05月18日 特許庁 / 商標	SURFCOM NEX 09類
2017年05月18日 特許庁 / 商標	SURFCOM CREST 09類
2016年11月10日 特許庁 / 商標	東京精密 07類, 09類, 37類
2016年11月10日 特許庁 / 商標	XYZAX AXCEL 09類
2016年03月31日 特許庁 / 商標	Fortia 07類, 09類
2016年03月31日 特許庁 / 商標	DARUMAステージ 07類, 09類
2014年10月22日 特許庁 / 商標	Opt-Scope 09類
2014年01月07日 特許庁 / 商標	Opt-measure 09類

株式会社東京精密の意匠情報(4件)

日付 公表組織 / 種類	活動対象 / 分類等
2023年08月07日 特許庁 / 意匠	測定装置用コントローラ 意匠新分類-N311 W
2023年08月03日 特許庁 / 意匠	測定装置制御用画像 意匠新分類-N311 W
2023年08月01日 特許庁 / 意匠	アイコン用画像 意匠新分類-N312 W
2022年11月07日 特許庁 / 意匠	ロッカー 意匠新分類-D6516

株式会社東京精密の職場情報

項目	データ
企業規模	1,176人
平均勤続年数 範囲 正社員	男性 10.6年 / 女性 6.3年
女性労働者の割合 範囲 正社員	22.2%
管理職全体人数	212人 男性 207人 / 女性 5人
役員全体人数	12人 男性 10人 / 女性 2人

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